摘要
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pc 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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3-6Lbe9H q>5K:5 光栅详细说明
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HpGI\s '5;
/V •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
{,Z-GJ •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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+ _}R Ef2i#BoZ 光栅阶次分析器设置
T6^H%;G !E.CpfaC •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
kC8M2 |L •可以指定各种输出选项。
kPvR , •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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Bp9_\4 9ymx; 常规设置
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}[mLtv%& Z(wj5;[G •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
H7?Sd(U •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
u6MHdCJ0y ["N_t:9I 单个阶次设置
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F\Q X=n IlfH •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
w:HRzU> •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
3](At%ss )l6(ss!J 单个阶次设置
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ytxe!O ]Il}ymkIZ 探测器标签页中的输出
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9r=yfc!cS vB Vg/ •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
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;u8O •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
z*e`2n#\ DDBf89$\ 极坐标图中的输出
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S5/p3;O\c IylfMwLC •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中
角度的关系。
;U[W $w[ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。
$J9/AFzO" Rg SB? 极坐标图设置
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KMP[Ledr zn#lFPj12 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。
*hlinQKs •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。
9S/X ,|i D!rD-e 阶次汇集输出
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