摘要
r3#H]c =8[HC}s|$ 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
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o xEGI'lt 光栅详细说明
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!qT.D:!@zF haS`V •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
a(!:a+9WOP •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
amOBUD5Ld` s>^*GQw 光栅阶次分析器设置
]e 81O#t3 R/U"]Rc •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
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f-1} •可以指定各种输出选项。
mq>Ag •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
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?H`9*y 常规设置
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=DUsQN! Cj,fP[p#7 •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
ZmU S} •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
3@_je)s Jx(%t<2 单个阶次设置
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rV54-K;`0 32:q' •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
bw ' yX •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
4L(axjMYU 48Z{wV, 单个阶次设置
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