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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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正弦光栅—透射相位曲线 xv4nYm9
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) F!zZIaB]
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 y}#bCRy~.A
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VirtualLab Fusion一瞥 wond>m
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VirtualLab Fusion工作流程 S1`+r0Fk~n
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• 设置光栅结构 v]_{oj_(-
−使用界面配置光栅结构[用户案例] )O2^?Q quS
• 分析光栅衍射效率 -*?a*q/#nQ
−光栅阶次分析器[用户案例] oleRQ=
• 通过参数运行检查不同参数的影响 fa<83<.D
− 利用参数运行文档[用户案例] OmKT}D~ 4
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VirtualLab Fusion技术 .bnoK
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