摘要 V^9%+L+E5
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 NlG!_D"(y
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建模任务 cz>`$Zz
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正弦光栅—效率与高度(TEA) pHDPj,lu
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正弦光栅—透射相位曲线 N
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正弦光栅—衍射效率 Tq.%_/@M<
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正弦光栅—效率与周期 9_S>G$9D
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 *(@[E
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) 80ms7 B
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闪耀光栅—透射相位曲线 |[lM2
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闪耀光栅—衍射效率 M%2F7 FY
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闪耀光栅—效率与周期 Z-+p+34ytq
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 &Qdd\h#
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VirtualLab Fusion一瞥 4RqOg1
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VirtualLab Fusion工作流程 ^25[%aJI
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• 设置光栅结构 [
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] ?9801Da#/
• 分析光栅衍射效率 b|*A%?m
−光栅阶次分析器[用户案例] BI] %$rq
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Ot]PH[+
− 利用参数运行文档[用户案例] LPk85E
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VirtualLab Fusion技术 89'XOXl&1
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