[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 SI"y&[iw  
#)BbW40f6  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 #Y>os3]  
v{2euOFE  

图片:1-200423121221J1.png

~tM+!  
     qZ
=%ru  
建模任务 Y;I>rC(  
\:/~IZdzF  

图片:1-200423121253U8.png

w+_pq6\V  
=G<i6%(^g  
正弦光栅—效率与高度（TEA） ZvVrbj&  
;;{!wA+"D  

图片:1-2004231214052W.png

Ex`!C]sQ  
bf*VY&S-T  
正弦光栅—透射相位曲线 Ho!dtEs  
+=o?&  

图片:1-20042312143L47.png

ba`V`0p-(  
@b]?Gg  
正弦光栅—透射相位曲线 l =`?Im  
qGK -f4  

图片:1-20042312145D28.png

+3wVcL  
uW{;
@ 7N  
正弦光栅—衍射效率 }@Dgr)*+  
D *Hy 2eZ.  

图片:1-200423121551500.png

zQ>|`0&8   
EmFL %++V  
正弦光栅—效率与周期 NpLO_-  
2Y-NxW^]  

图片:1-200423121614403.png

!kG2$/lR  
<RaUs2Q3.  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ?nc:B]=pTY  
nMT"Rp  

图片:1-200423121639445.png

^$VH~i&  
=bgu2#%Z  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） UZDXv=r|  
e{RhMjX<D  

图片:1-200423121F1Z8.png

VX{9g#y$j  
]ML(=7z"  
闪耀光栅—透射相位曲线 qW"  
duT'$}2@>  

图片:1-200423121H4Q5.png

W[4 V#&Z  
Mv%"aFC  
闪耀光栅—衍射效率 +_"AF|  
j8[RDiJ
  

图片:1-200423121K2245.png

(;6vT'hE  
^(c.AYI
 
闪耀光栅—效率与周期 5S/YVRXq  
u+_6V  

图片:1-200423121Q3949.png

T-)lnrs^  
!=SBeq  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 *74VrAo  
ekV|a1)  

图片:1-200423121S6220.png

aEvW<jHh  
VlbS\Y.  
VirtualLab Fusion一瞥 ih\
=mB  
A.wuB  

图片:1-200423121U54Z.png

DYej<T'?3  
`"RT(` m  
VirtualLab Fusion工作流程                                   "x~su?KiA  
b2vCr F;  
• 设置光栅结构 K?$|Y-_D^M  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] X Z4q{^o  
• 分析光栅衍射效率 <Y"h2#M"  
−光栅阶次分析器[用户案例] UV
z}"TRq.  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 XFmTr@\M  
− 利用参数运行文档[用户案例] NO'37d  
d,+a}eTP'  

图片:1-200423121956211.png

8%Eemk>G{  
Zv|TvlyT"  
VirtualLab Fusion技术  U rL|r.  
@{LD_>R  

图片:1-200423122021110.png