摘要
<KJ/<0l 7dN*lks 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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cA&9e< gK+4C 建模任务
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d|jNf</` ;RH;OE,A 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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k~(^!R 正弦光栅—透射相位
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hMa]B*o/- o m!!Sl 3 正弦光栅—透射相位曲线
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52Yq 正弦光栅—衍射效率
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I"xo*} S};#+ufgTt 正弦光栅—效率与周期
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''|W9! *$#W]bO 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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wDw[RW3 @<,X0S 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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1eA7>$w}[ 6d:zb;Iz 闪耀光栅—透射相位曲线
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$Y;U[_l# %W'v}p 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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}q`ts=dlGt 1Vsz4P"O $ VirtualLab Fusion一瞥
Fiv3 {. {SOr#{1z*
'SO %)B N1Ng^aY0 VirtualLab Fusion工作流程
vGvf<ra;H LuNc,n% • 设置光栅
结构 >q#rw −使用界面配置光栅结构[用户案例]
@#<D ^" • 分析光栅衍射效率
?fiIwF) −光栅阶次分析器[用户案例]
%}[i'rT> • 通过
参数运行检查不同参数的影响
]99|KQ<s − 利用参数运行文档[用户案例]
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Ut*`:]la ,bXe<L) VirtualLab Fusion技术
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