摘要
S+4I[|T]Y T(t
<Ay?c 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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C"V?yDy2~ Phk`=:xh 建模任务
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l[ZQ7$kL T% jjs 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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?kG#qt]Q5 Vb"T],N1m 正弦光栅—透射相位
曲线 Hj-<{#, ~50y-
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D| 8sjp4 H_xQ>~b 正弦光栅—衍射效率
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HquB*=^xh e{#a{`?Uez 正弦光栅—效率与周期
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ft.}$8vIT GwU>o:g" 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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OL6xMToP Ot8S'cB1,$ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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Q,`2DHhK o sgS?=8 闪耀光栅—透射相位曲线
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j@_) F^12 c<t3y7 闪耀光栅—衍射效率
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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> Qbc(}w tX`[6` VirtualLab Fusion一瞥
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BC0c c[x E+m"yQp{ VirtualLab Fusion工作流程
0)] C&;}_M MnrGD>M@| • 设置光栅
结构 1b]PCNz −使用界面配置光栅结构[用户案例]
]OCJ~Zw • 分析光栅衍射效率
>7Sl(
UY- −光栅阶次分析器[用户案例]
D``NQ`>A • 通过
参数运行检查不同参数的影响
p31rhe − 利用参数运行文档[用户案例]
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V1fvQ=9 ]ieA?:0Hi VirtualLab Fusion技术
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