[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 sT"{ e7;F;  
7me1:}4  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Pe7% 9  
?s: 2~Qlu  

图片:1-200423121221J1.png

;#?+i`9'q  
     ,An*w_  
建模任务 cUr'mb  
-Cf< #'x_  

图片:1-200423121253U8.png

MbC&u:@ "v  
$e![^I]`  
正弦光栅—效率与高度（TEA） e+O0l  
H
d=!  

图片:1-2004231214052W.png

[
Uu!:SZ  
CEb .?B  
正弦光栅—透射相位曲线 ^VB_>|UN4  
jQ Of+ZE  

图片:1-20042312143L47.png

{2%@I~US  
_6Fj&mw(u  
正弦光栅—透射相位曲线 YQ<O.E  
?gOZY\[ma  

图片:1-20042312145D28.png

?QCHkhU  
:. a}pgh  
正弦光栅—衍射效率 :ugj+  
o@G <[X|ke  

图片:1-200423121551500.png

d[I}+%{[  
EK}f-Xei  
正弦光栅—效率与周期 vc(6lN9>  
Ot_xeg;7  

图片:1-200423121614403.png

@~<M_63  
ySwvj
P7f  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 AW:WDNQh8n  
{sL(PS.z  

图片:1-200423121639445.png

h+h`0(z  
O hcPlr  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） ^++ec>  
c
o!#.  

图片:1-200423121F1Z8.png

CEos`  
#~^Y2-C#  
闪耀光栅—透射相位曲线 CzZmC]5  
j5;eSL@/  

图片:1-200423121H4Q5.png

E6d0YgfD  
\[w82%U  
闪耀光栅—衍射效率 y2eeE CS]  
-?WhJ.U  

图片:1-200423121K2245.png

D0=H&Z[  
C0F#PXUy  
闪耀光栅—效率与周期 =<,
AzuV  
fu95-)M  

图片:1-200423121Q3949.png

g^DPbpWxu  
P=V=\T<4_  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线  D=nuK25  
vxzOG?Xc:  

图片:1-200423121S6220.png

438+zU  
2*K _RMr~  
VirtualLab Fusion一瞥 +[ 9
44n  
v/BMzVi  

图片:1-200423121U54Z.png

n1xN:A  
L{\au5-4  
VirtualLab Fusion工作流程                                   @^$Xy<x  
*a7&v3X  
• 设置光栅结构 sCFqz[I  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 3%<xM/#  
• 分析光栅衍射效率 nx >PZb  
−光栅阶次分析器[用户案例] \$Nx`daFi  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 *@r)3  
− 利用参数运行文档[用户案例] q|. X[~e|  
1e>,QX
  

图片:1-200423121956211.png

wU#79:h  
Yl+r>+^  
VirtualLab Fusion技术 PZRm.vC)k  
(:>:tcE  

图片:1-200423122021110.png