[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 VTUSM{TC  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 4A`U [r_>D  
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建模任务 w=_q<1a  
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正弦光栅—效率与高度（TEA） QE|x[?7e,!  
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正弦光栅—透射相位曲线 MQe|\SMd  
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正弦光栅—透射相位曲线 8d?%9# p-)  
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正弦光栅—衍射效率 -d9L  
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正弦光栅—效率与周期 P~#LbUP(  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ;VzdlCZ@  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） NoMlTh(O  
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闪耀光栅—透射相位曲线 f%3MDI  
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闪耀光栅—衍射效率 3&I3ViAH  
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KRX\<@  
*kTj,&x[  
闪耀光栅—效率与周期 .+mP#<mAg  
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t%%zuqF`  
Wv%F^(R7  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 R_9M-RP6*  
M+M ;@3  

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VirtualLab Fusion一瞥 /eT9W[a  
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VirtualLab Fusion工作流程                                   |'lNR)5  
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• 设置光栅结构 U# IPYyV  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] AHMvh 7O?  
• 分析光栅衍射效率 "!& o|!2  
−光栅阶次分析器[用户案例] L8Q/!+K  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 tJ*/5k &  
− 利用参数运行文档[用户案例] \[|X^8j  
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