摘要
1#BMc% b7&5>Q/g 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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I6!~(ND7 +zMWIG 建模任务
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RJ+i~;- }',/~T6 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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`a*_b9 K1i@.`na/$ 正弦光栅—透射相位
曲线 oT9dMhx8 l0hcNEj{W
|T!ivd1G 7{0;<@ 正弦光栅—透射相位曲线
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PtP{_9%Dz F\LAw#IJ 正弦光栅—衍射效率
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Vqr#%.N OUo N 正弦光栅—效率与周期
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T["(wPrt X9ua&T2(l 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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YVSAYv_ZG} Ph{7S43 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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nd~cpHQR^ \OR=+\].9 闪耀光栅—透射相位曲线
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Wd9y8z; /=o~7y 闪耀光栅—衍射效率
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2kG(\+\ |DB7o+4 VirtualLab Fusion一瞥
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Y]u
2=?:(e9 0-s[S VirtualLab Fusion工作流程
YTb/ LeuT U;PGBoe • 设置光栅
结构 G0e]PMeFl −使用界面配置光栅结构[用户案例]
1u9*)w • 分析光栅衍射效率
VaV(+X −光栅阶次分析器[用户案例]
-MA/:EB • 通过
参数运行检查不同参数的影响
]H%SGQPn − 利用参数运行文档[用户案例]
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VXfp=JE `]u!4pP" VirtualLab Fusion技术
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