摘要
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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a^(S!I b'i%B9yU:% 建模任务
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%@)U/G6s} 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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m^(E:6T KX&Od@cQ$ 正弦光栅—透射相位
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1mkQ"E4 WcQZFtW 正弦光栅—透射相位曲线
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,DW0A// !'c6 Hs 正弦光栅—效率与周期
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gDjd{+LUo UwzE'#Q- 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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"fX8xZdS -+Awm{X_@ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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!F}J+N=} P"[l86: 闪耀光栅—衍射效率
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"m\UqQGX 4jue_jsle 闪耀光栅—效率与周期
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I?c& QL|:(QM 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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71.:p,Z@z S'H0nJ3 VirtualLab Fusion一瞥
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.w*{=x0k %V" +}Dr VirtualLab Fusion工作流程
LMhY"/hAXa 1V?Sj • 设置光栅
结构 *j|Tm7C −使用界面配置光栅结构[用户案例]
l%)=s~6z • 分析光栅衍射效率
"Ee/q :` −光栅阶次分析器[用户案例]
hU)f(L • 通过
参数运行检查不同参数的影响
1x<rh\oo − 利用参数运行文档[用户案例]
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Rcm(Y7 hZF&PV5H VirtualLab Fusion技术
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