摘要
d}Q%I y*%uGG5 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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p(6 sN= 9l(T>B2a 建模任务
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;y_ ]w6|n Zm0' p! 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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Y_K W9T_ Ec2;?pvd%J 正弦光栅—透射相位
曲线 Yt?]0i+ "9 f+F
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#nO 正弦光栅—透射相位曲线
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4 s VHk;:e>x 正弦光栅—衍射效率
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wT`c ]IE Z?+F, 正弦光栅—效率与周期
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2,wwI<=E' Qe{w)e0}` 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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=J4|"z: le]~Cy0 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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^sB0$|DU _&/ {A|n 闪耀光栅—透射相位曲线
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> (9\ cF{ .p, VZ9 闪耀光栅—衍射效率
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N-]/MB8 !3Pbu=(cte 闪耀光栅—效率与周期
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p |1u,N )9:5?,SO 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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Pal=I) Be=rBrI> VirtualLab Fusion一瞥
7oWMjw\ [d8Q AO1;)
}&t>j[ UhpJG O VirtualLab Fusion工作流程
?UZt30|1 4uo`XJuQ • 设置光栅
结构 u}gavG l −使用界面配置光栅结构[用户案例]
M{Z
;7n' • 分析光栅衍射效率
_BmObXOp. −光栅阶次分析器[用户案例]
lU%}_!tp3/ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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^^0 − 利用参数运行文档[用户案例]
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1XMR7liE m&Mupl VirtualLab Fusion技术
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