摘要
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{H 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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-P|EV|8= Oeua<,]Z~ 建模任务
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~Wh}W((L eY3l^Su1 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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~,z F[q:jY 正弦光栅—透射相位
曲线 Vb${Oy+ 5gZEcJ
rg Q6/3}qc \/ rK0|2A 正弦光栅—透射相位曲线
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ztSP4lW ,vfi]_PK 正弦光栅—衍射效率
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Y{].%xM5 ]= 2wQ8 正弦光栅—效率与周期
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(TufvHC d/Q}I[J.u 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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u{0'"jVJ bM]\mo>z< 闪耀光栅—透射相位曲线
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&!I^m f_`gUMf 闪耀光栅—衍射效率
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VirtualLab Fusion一瞥
\>0F{-cR$ ,BM6s,\
># FO0R A1xY8?#?~c VirtualLab Fusion工作流程
q7}$F]UM" 3z Jbb3e • 设置光栅
结构 {7^7)^@ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
76[O3% • 分析光栅衍射效率
r!eCfV7 −光栅阶次分析器[用户案例]
8fpaY{] • 通过
参数运行检查不同参数的影响
lf3:Z5*&> − 利用参数运行文档[用户案例]
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w7Nb+/,sg 846j<fE VirtualLab Fusion技术
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