[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 P/ug
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Q+uYr-
  
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正弦光栅—效率与高度（TEA） Kh%9Oy  
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正弦光栅—透射相位曲线 T}fo:aB}  
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正弦光栅—透射相位曲线 .YLg^JfZ  
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正弦光栅—衍射效率 *6=[Hmygi  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 HO$s&}t  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） 8thG-  
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闪耀光栅—透射相位曲线 ESb  
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闪耀光栅—衍射效率 [@.%6aD  
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闪耀光栅—效率与周期 b9`MUkGG
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 v#=-  
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VirtualLab Fusion一瞥 ;^t<LhN:  
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VirtualLab Fusion工作流程                                   O`~T:N|D  
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• 设置光栅结构 ZZ?=^g  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] %6dFACv  
• 分析光栅衍射效率 `ag>4?7?  
−光栅阶次分析器[用户案例] }B}?
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 z8jQaI]j  
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VirtualLab Fusion技术 Cc/?-0a2!  
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