摘要
%T\x~) &N0|tn 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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>t(@?*ZFT ~\,6C1M 建模任务
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Am4(WXVQ +r_[Tj|Er 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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7!;/w;C id'#s 正弦光栅—透射相位
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t@M] ec uD5yw#` 正弦光栅—衍射效率
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yTiqG5r yfQE8v+ 正弦光栅—效率与周期
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b%j:-^0V ulJYJ+CC! 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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n ]}2O4j \RyA}P5S VirtualLab Fusion一瞥
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$OoN/^kv tN> B$sv VirtualLab Fusion工作流程
+ Z2<spqG %v:h]TA • 设置光栅
结构 s/H"Ab −使用界面配置光栅结构[用户案例]
}px] • 分析光栅衍射效率
z>;+'>XXgx −光栅阶次分析器[用户案例]
MPy][^s! • 通过
参数运行检查不同参数的影响
LlY*r+Cgl1 − 利用参数运行文档[用户案例]
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_k.bGYldk r;8z"* VirtualLab Fusion技术
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