摘要
_^Ds[VAgA IY* ~df 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Y6&B%t<bo <Z0N)0| 建模任务
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TB oN8cB} K3CTxU( 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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h2Kx v/1&V+"^kd 正弦光栅—透射相位
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{j0c)SETN `1 tD&te0 正弦光栅—衍射效率
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96 ozt UK *irYSTA$ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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G"xa"hGF L_k'r\L 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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R Zy<gA > 闪耀光栅—透射相位曲线
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!_ng_,J )`*=P}D 闪耀光栅—衍射效率
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>=WlrmI !^,<nP VirtualLab Fusion一瞥
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I'qIc? 5d4/}o}%" VirtualLab Fusion工作流程
>@mvb@4* y1FE +EX[ • 设置光栅
结构 k4AF
.U`I −使用界面配置光栅结构[用户案例]
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S • 分析光栅衍射效率
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PDx3MS −光栅阶次分析器[用户案例]
Ha}TdQ% • 通过
参数运行检查不同参数的影响
d7*fP S − 利用参数运行文档[用户案例]
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cGE,3dsF[ Vzs_g]V VirtualLab Fusion技术
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