摘要
h0oMTiA @pI5lh 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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"TV(H+1,z GhY1k"; 建模任务
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;VO.!5W@eg e6X[vc|Y} 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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gw`B "c| @\oz4^ 正弦光栅—透射相位
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_ 7PMmW@ B{oU,3U> 正弦光栅—透射相位曲线
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=z{JgD/ _UE)*l m+ 正弦光栅—效率与周期
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%dErnc$ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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%xlqF< .t&R>9cZ^ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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闪耀光栅—衍射效率
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1%M&CX M >:]lpRK VirtualLab Fusion一瞥
9/ SXs0 O_$dI*RK
c8)/:xxl *BD=O@ VirtualLab Fusion工作流程
W$JebW<z( WWwUwUi • 设置光栅
结构 _u"nvgVz9 −使用界面配置光栅结构[用户案例]
f:zFFpP.j@ • 分析光栅衍射效率
{)- .xG −光栅阶次分析器[用户案例]
g#NZ ,~ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
UH@as − 利用参数运行文档[用户案例]
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y#Ht{)C <1w/hy&mWN VirtualLab Fusion技术
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