摘要 "J_9WUN
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 fJ!R6D
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 e^1Twz3z
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) f
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闪耀光栅—效率与周期 3AN/
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 toC^LZgZ_6
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VirtualLab Fusion一瞥 Z4
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VirtualLab Fusion工作流程 C1 *v,i
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• 设置光栅结构 </*6wpN
−使用界面配置光栅结构[用户案例] I9ep`X6Y
• 分析光栅衍射效率 4@ai6,<
−光栅阶次分析器[用户案例] A^<jy=F&
• 通过参数运行检查不同参数的影响 U&p${IcEm
− 利用参数运行文档[用户案例] 2g! +<YZ~
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VirtualLab Fusion技术 8v%o,"
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