摘要 W..>Ny;'3
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 :Gk~FRA|
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正弦光栅—衍射效率 `2+52q<FO
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ^DJU99
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) p8bTR!rvz
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闪耀光栅—透射相位曲线 yFv3>\
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闪耀光栅—衍射效率 U{m:{'np(H
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 cQb%bmBc5
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VirtualLab Fusion一瞥 l1-FL-1
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VirtualLab Fusion工作流程 }P#gXG
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• 设置光栅结构 9wzYDKN}
−使用界面配置光栅结构[用户案例] pDT6>2t
• 分析光栅衍射效率 -0Ek&"=Z^
−光栅阶次分析器[用户案例] stScz#!
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ,\IZ/1
− 利用参数运行文档[用户案例] L|Iq#QX|
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VirtualLab Fusion技术 N:.bnF(
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