摘要 $$i.O}
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 A|#`k{+1-
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闪耀光栅—效率与周期 _!;Me
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 c5q9LQ/
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VirtualLab Fusion一瞥 C$Lu]pIL*
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VirtualLab Fusion工作流程 e+v({^k
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• 设置光栅结构 a)Q!'$"'
−使用界面配置光栅结构[用户案例] &wd;EGGT!q
• 分析光栅衍射效率 j.~!dh$mg
−光栅阶次分析器[用户案例] 6K
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 AT2v!mNyCw
− 利用参数运行文档[用户案例] 2Y}?P+:%>
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VirtualLab Fusion技术 gK#mPcn^
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