摘要 2ye^mJ17
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 %JBFG.+
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建模任务 V|.3Z\(
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正弦光栅—效率与高度(TEA) 41luFtE9
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正弦光栅—透射相位曲线 b#h?O}
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正弦光栅—透射相位曲线 6x KbK1W
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正弦光栅—衍射效率 &0*l=!:G^
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正弦光栅—效率与周期 q0Fq7rWP
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Dt,b\6
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) Vm.&JVb
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闪耀光栅—透射相位曲线 5T,Doxo
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闪耀光栅—衍射效率 .J' 8d"+
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 oXwoi!
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VirtualLab Fusion一瞥 D+{h@^C9Z
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VirtualLab Fusion工作流程 r{qM!(T
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• 设置光栅结构 9
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] $Tu%dE(OF
• 分析光栅衍射效率 ^
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−光栅阶次分析器[用户案例] "!<Kmh5
• 通过参数运行检查不同参数的影响 \&]M \
− 利用参数运行文档[用户案例] FH}n]T
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VirtualLab Fusion技术 jEfrxlj
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