摘要 eq+o_R}CS
3.0c/v5Go
薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Z
:9VxZ
|Hm'.-
_tReZ(Vw
oGVSy`ku
建模任务 $.N~AA~0
1a$V{Eag
huoKr
q-G|@6O
正弦光栅—效率与高度(TEA) 8$v7|S6 z
%7evPiNB
h*KHEg"+
yUW&Wgc=:
正弦光栅—透射相位曲线 JZ%F
mVK 9NK
6XAr8mw9
U+"=
正弦光栅—透射相位曲线 <VU4rk^=
]pV1T
icul15'i
)h0E$*
正弦光栅—衍射效率 IOkC [([
S@g/Tn
0c61q Q6
o$ce1LO?|N
正弦光栅—效率与周期 uvDoo6'
gc@#O#K~h^
@sHw+to|p)
~Ex.Yp8.
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 &fSc{/
VMIX$#
$XQxWH|
= (gmd>N
闪耀光栅—效率与高度(TEA) bjBeiKH
_`_IUuj$E
8q [c
3rdfg
闪耀光栅—透射相位曲线 p$nK@t}
2-V)>98
o~x39
:pDY
闪耀光栅—衍射效率 6#)Jl
MpA;cw]cI/
cvUut^CdK
'K3s4x($
闪耀光栅—效率与周期 I\upnEKKzZ
>yBxa)
QG|GXp_q`
ls24ccOs
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 6
r.H8
v0C;j(2zb
oKYhE
Z|(c(H2
VirtualLab Fusion一瞥 pf8O`e,Awf
:5S |x/
S&3X~jD(1
&QTeGn
VirtualLab Fusion工作流程 V(2,\+ t
`(,*IK a
• 设置光栅结构 ?7uKP}1|
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Hs%QEvZl
• 分析光栅衍射效率 g. ?*F#2
−光栅阶次分析器[用户案例] xIQ/$[&v
• 通过参数运行检查不同参数的影响 2]D$|M?$~
− 利用参数运行文档[用户案例] `pi-zE)
aZj J]~bO
;tp]^iB#
y|6@-:B.
VirtualLab Fusion技术 [v0ri<