摘要
, #nYH D ~zO>Q4-k 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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建模任务
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,~nrNkhp 6+LBs.vl} 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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lK"m|Z m4_ZGjmJM 正弦光栅—透射相位
曲线 (,XbxDfM N/x]-$fl
q445$ndCT e$l*s/"0t 正弦光栅—透射相位曲线
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DcRvZH EGw;IFj) 正弦光栅—衍射效率
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EM 正弦光栅—效率与周期
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^|UD&6 dx ! z6T_;s 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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Am5 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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Id^)WEK4 V {C{y5 闪耀光栅—透射相位曲线
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d=eIsP'h oxNQNJ!X 闪耀光栅—衍射效率
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Vf VirtualLab Fusion一瞥
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oRPvFv D9JHx+Xf> VirtualLab Fusion工作流程
5pH6] $ V*gh"gZ< • 设置光栅
结构 q,T4-
E −使用界面配置光栅结构[用户案例]
_6.Y3+7I • 分析光栅衍射效率
V`m9+<.1 b −光栅阶次分析器[用户案例]
Zg$RiQ^-{J • 通过
参数运行检查不同参数的影响
B &e'n< − 利用参数运行文档[用户案例]
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s"~3.J LnPG+< VirtualLab Fusion技术
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