摘要 (3N/DY1/
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 mPA)G,^
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正弦光栅—效率与高度(TEA) w
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正弦光栅—透射相位曲线 vL _yM
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正弦光栅—衍射效率 E0qJ.v
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正弦光栅—效率与周期 w&IYCYK_
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 4(,.<#
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) uNy-r`vg
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闪耀光栅—透射相位曲线 Q=!QCDO(
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闪耀光栅—衍射效率 Hd4 ~v0eS
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 lYe2;bu
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VirtualLab Fusion一瞥 =l2 @'Y Q
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VirtualLab Fusion工作流程 vy
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• 设置光栅结构 VB^1wm
−使用界面配置光栅结构[用户案例] gT[] "ZT7
• 分析光栅衍射效率 CWZv/>,%
−光栅阶次分析器[用户案例] e8SAjl"}
• 通过参数运行检查不同参数的影响 \B
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− 利用参数运行文档[用户案例] `?&C5*P
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VirtualLab Fusion技术 [)X( Qtk
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