摘要 V`& O`
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ;^DG P
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建模任务 9g~"Y[ ]
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正弦光栅—效率与高度(TEA) _q
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正弦光栅—透射相位曲线 Ql]+,^kA@
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正弦光栅—衍射效率 rHpxk
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正弦光栅—效率与周期 l|j}Ggen
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Nv5)A=6#AA
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) W|CZA
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闪耀光栅—透射相位曲线 N%Uk/ c'
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闪耀光栅—衍射效率 "I,=L;p
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闪耀光栅—效率与周期 y8j6ttQv=t
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 mX5%6{],
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VirtualLab Fusion一瞥 6~^ M<E
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VirtualLab Fusion工作流程 :Z&<5
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• 设置光栅结构 '.{_
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] P09f
• 分析光栅衍射效率 }D[j6+E
−光栅阶次分析器[用户案例] %%sJ+)
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Sjp ]TWj
− 利用参数运行文档[用户案例] vYg>^!Q
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VirtualLab Fusion技术 Ay0.D FL
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