[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 Ss`LLq0LO  
e(yh[7p=  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ;rS{:  
vv7I_nK?  

图片:1-200423121221J1.png

g .\[o@H  
     ~s{$WL&  
建模任务 ?#fQ~ s  
snJ129}A  

图片:1-200423121253U8.png

g78^9Y*1  
cnLro  
正弦光栅—效率与高度（TEA） oU/5 a>9~  
nP$9CA  

图片:1-2004231214052W.png

(w{j6).3Dj  
y}H!c;  
正弦光栅—透射相位曲线 qWw=8Bq  
YzWz|  

图片:1-20042312143L47.png

p#Bi>/C6  
+v\oOBB)  
正弦光栅—透射相位曲线 j39wA~K  
g+lCMW\  

图片:1-20042312145D28.png

e;jdqF~v!  
v2?ZQeHr_(  
正弦光栅—衍射效率 Xeajxcop#  
/E>e"tvss  

图片:1-200423121551500.png

_Y!IEAU/#  
*](iS  
正弦光栅—效率与周期 P%zK;#8V  
Y0>y8UV  

图片:1-200423121614403.png

M_8{]uo  
g5yJfRLxp  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 [
vgtc.V  
kP"9&R`E  

图片:1-200423121639445.png

:%.D78&  
l,8##7  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） c|%6e(g"L  
m2o0y++TjW  

图片:1-200423121F1Z8.png

hQi2U  
$?Wb}DU7_L  
闪耀光栅—透射相位曲线 <qSC#[xu  
40/Y
\  

图片:1-200423121H4Q5.png

"fI6Cpc  
vbNBLCwug  
闪耀光栅—衍射效率 G?ZXWu.  
xwr8`?]y  

图片:1-200423121K2245.png

q7!{?\T%  
2?5>o!C  
闪耀光栅—效率与周期 E3i4=!Y  
Zh,71Umz  

图片:1-200423121Q3949.png

P%6~&woF  
]A"h&`Cvt  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 TO_e^A#  
yZRzIb_  

图片:1-200423121S6220.png

q@&6#B  
xmX 4qtAL  
VirtualLab Fusion一瞥 /mMV{[  
'7/)Ot(  

图片:1-200423121U54Z.png

OPi

0~s  
n ;Ei\\p!  
VirtualLab Fusion工作流程                                  
Gq6*SaTk  
Th%zn2R B  
• 设置光栅结构 Kgv T"s.  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] <[v[ci  
• 分析光栅衍射效率  <Uur^uB  
−光栅阶次分析器[用户案例] pI[uUu7O  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 \lY_~*J  
− 利用参数运行文档[用户案例] iwq!w6+  
C}X\|J  

图片:1-200423121956211.png

J05e#-)<K  
5bIw?%dk(  
VirtualLab Fusion技术 DqPw#<"H  
/{[o~:'p  

图片:1-200423122021110.png