[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 \LM{.gzT  
Z
,,qmwd  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 {'+.?g  
#<-%%  

图片:1-200423121221J1.png

nc#} \  
     lBG"COu  
建模任务 aq^OzKP?  
% )}rQqQ  

图片:1-200423121253U8.png

:*tFW~<*b  
mr XmM<  
正弦光栅—效率与高度（TEA） 'W p~8}i@  
I-/
-k.  

图片:1-2004231214052W.png

2t#[$2mg\0  
*adwCiB  
正弦光栅—透射相位曲线 d!4:nvKx  
R)]+>M-.  

图片:1-20042312143L47.png

l+^4y_  
ebf/cCh  
正弦光栅—透射相位曲线 VzuU0  
Gmmh&Uj  

图片:1-20042312145D28.png

uNvdlY]  
6J3<k(#:  
正弦光栅—衍射效率 {jEEAH)  
x 4`RKv2m  

图片:1-200423121551500.png

edfb7prfTl  
:LTjV"f  
正弦光栅—效率与周期 F<2qwP  
}Y3*X:i7  

图片:1-200423121614403.png

%/%TR@/  
f;3kYh^4  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 %$+bO/f  
34aSRFsk*  

图片:1-200423121639445.png

_Q\<|~  
])Z p|?Y  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） Y]"lcr}  
"'I|#dKoG  

图片:1-200423121F1Z8.png

<
_<?p&  
Pt7yYl&n7^  
闪耀光栅—透射相位曲线 qo:t"x^  
cg}lF9;d  

图片:1-200423121H4Q5.png

&v/R-pz  
=5 $BR<'  
闪耀光栅—衍射效率 VP6_}9:9   
hJ*#t<.<P;  

图片:1-200423121K2245.png

d{c06(#_  
TA!6|)BUW  
闪耀光栅—效率与周期 7_
5-gtD  
'LLpP#(  

图片:1-200423121Q3949.png

m=D9V-P  
8}|!p>  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 D4U<Rn6N_5  
E-HK=D&W/  

图片:1-200423121S6220.png

<-=g)3_  
S+-V16{i  
VirtualLab Fusion一瞥 'M%uw85  
g"X!&$
&  

图片:1-200423121U54Z.png

z_nY>_L83*  
_5v]69C#  
VirtualLab Fusion工作流程                                   vH>s2\V"  
r<_qU3Eaj  
• 设置光栅结构 lQ?_1H~4=  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] O+ J0X*&x  
• 分析光栅衍射效率 W-4R;!42  
−光栅阶次分析器[用户案例] li%A?_/m<&  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 FLaj|Z~#)  
− 利用参数运行文档[用户案例] %[k"A  
23P7%\  

图片:1-200423121956211.png

8>!-|VSn  
!~ZAm3GwL  
VirtualLab Fusion技术 }ZfdjF8N
!  
W%<z|  

图片:1-200423122021110.png