摘要
AQUl:0! !Q/%N# 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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34D7qR v$WH#;(\ 建模任务
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C >@T+xOZ )s#NQ.T[ 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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_mEW]9Sp @Sik~Mm_h 正弦光栅—透射相位
曲线 mY)Y47iL =6sA49~M
ZaNZUVBh %2S+G?$M? 正弦光栅—透射相位曲线
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`rwzCwA1 p{V_}:|=Q 正弦光栅—衍射效率
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<FkoWN 2\b 2W_ 正弦光栅—效率与周期
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>~%EB?8 rfz\DvVd 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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^S$ Vgj&hdbd 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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'XbrO|% Ala~4_" WL 闪耀光栅—透射相位曲线
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YKWiZ #GlQwk3 闪耀光栅—衍射效率
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1DTA Dh0 pBb fU2p 闪耀光栅—效率与周期
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2~wIHtd 'g@Yra&09 VirtualLab Fusion一瞥
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^p}S5, 2VZdtz VirtualLab Fusion工作流程
}JWLm.e hi.`O+; • 设置光栅
结构 |Y9mre.Y; −使用界面配置光栅结构[用户案例]
f6*6 *= • 分析光栅衍射效率
O/N@Gz[g% −光栅阶次分析器[用户案例]
d41DcgG'j( • 通过
参数运行检查不同参数的影响
6F)^8s02h − 利用参数运行文档[用户案例]
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T`7HQf ; A@?Rj VirtualLab Fusion技术
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