[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 7.wR"1p#  
nuf@}W>y  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Ez06:]Jd  
@wd!&%yzO  

图片:1-200423121221J1.png

&ui:DZAxj|  
     C-s>1\I  
建模任务 ]4Nvh\/P9  
6V'wQqJ  

图片:1-200423121253U8.png

/[\6oa  
52>[d3I3  
正弦光栅—效率与高度（TEA） >X;xIyRL  
aqcFY8b '  

图片:1-2004231214052W.png

(\Rwf}gyR  
%iK%$  
正弦光栅—透射相位曲线 T{_1c oL  
7[ZkM+z!  

图片:1-20042312143L47.png

[Xxw]C6\>(  
#^5a\XJb  
正弦光栅—透射相位曲线 Cr' !"F  
|$YyjYK  

图片:1-20042312145D28.png

;):8yBMk  
lr9=OlH  
正弦光栅—衍射效率 z[WC7hvU  
IkSX\*  

图片:1-200423121551500.png

oUl=l}qnD  
.i MnWW  
正弦光栅—效率与周期 "V:  
^H'hD  

图片:1-200423121614403.png

Lf5%M|o.)  
/6Y0q9  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 _aVJ$N.  
Zw2jezP@t  

图片:1-200423121639445.png

Bs_S.JP<`  
t[%x}0FP-F  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） "4'kb  
' be P  

图片:1-200423121F1Z8.png

q!ee g  
l*$WX=h6n  
闪耀光栅—透射相位曲线 bBA$}bv  
=Nw2;TkB[  

图片:1-200423121H4Q5.png

\M+MDT&  
fr
8Xoa%1=  
闪耀光栅—衍射效率 pI
&o?n  
`Ac:f5a  

图片:1-200423121K2245.png

YkSuwx@5_q  
[:Be[pLC
 
闪耀光栅—效率与周期 V{43HA10b  
KA`0g=  

图片:1-200423121Q3949.png

+H41]W6  
<#zwKTmK1  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 [.{^"<Z<  
#]@9qPyn  

图片:1-200423121S6220.png

3voW  
g4Y) Bz
 
VirtualLab Fusion一瞥 ]
)eOa%  
<'W=]IAV  

图片:1-200423121U54Z.png

>H$;Z$o*(  
5f8"j$Az  
VirtualLab Fusion工作流程                                   Ft3I>=f{  
}I\-HP8!gv  
• 设置光栅结构 VF\{ra;  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] xsYE=^uv  
• 分析光栅衍射效率 j+$M?Z^  
−光栅阶次分析器[用户案例] I
eZ&7u  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 itw{;j   
− 利用参数运行文档[用户案例] F{;; :  
DTPay1]6  

图片:1-200423121956211.png

e]>/H8  
,`yyR:F  
VirtualLab Fusion技术 9MT? .q  
2%5?Fn=  

图片:1-200423122021110.png