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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,CvG 20>
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正弦光栅—效率与高度(TEA) %" D%:
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正弦光栅—透射相位曲线 hR#-u1C
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正弦光栅—透射相位曲线 B* kcNlW
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正弦光栅—衍射效率 Byl^?5
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正弦光栅—效率与周期 kOOGw:/
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 {S/yL[S.
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) 1 `^Rdi0
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闪耀光栅—透射相位曲线 m>USD?i
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 mxor1P#|
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VirtualLab Fusion一瞥 u\&b4=nL
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VirtualLab Fusion工作流程 COH<Tj
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• 设置光栅结构 "KcA
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
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• 分析光栅衍射效率 :#dE:L;T
−光栅阶次分析器[用户案例] R$; n)_H
• 通过参数运行检查不同参数的影响 d%l{V6
− 利用参数运行文档[用户案例] %%(R@kh9
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VirtualLab Fusion技术 P[s8JDqu
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