[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 2_n7=&  
\@
8+U;d  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 zA$k0p  
u+'tfFds&  
S{;sUGcu  
     @\|_  
建模任务 NdL,F;^  
V,q](bg  
Svondc 4  
DE%KW:Hug  
正弦光栅—效率与高度（TEA） pQshUm"_  
7on.4/;M  
n` xR5!de  
'+osf'&  
正弦光栅—透射相位曲线 AD1=[I3  
pPcT
rN'  
a
^`rtvT  
|&FkksNAl\  
正弦光栅—透射相位曲线 ;.TRWn#  
n^z]q;IN2.  
&?q/1vLa  
B[V+ND'(  
正弦光栅—衍射效率 &;+-?k|  
LL2=&VK  
+6';1Nb@  
+pR[U4$  
正弦光栅—效率与周期 a#>Yh;FA  
qOSM}ei>s  
xYmxc9)2  
W7 Cc  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 xL{a  
:/Q  
*Eo?k<:zPm  
i(iXD  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） +tVaBhd!  
c&AygqN  
]`kmjn  
s (zL   
闪耀光栅—透射相位曲线 jg.QRny^  
ig/%zA*Bo  
<4P4u*/o  
w)Q0_2p.  
闪耀光栅—衍射效率 #)C[5?{SNq  
*q()f\  
cUA7#1\T=  
3wC' r  
闪耀光栅—效率与周期 hRs&t,{&  
kP-3"ACG  
G&4&-<  
K?BOvDW"`  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 h&--,A >  
K#pNec  
EL(nDv  
1(|'W
yD  
VirtualLab Fusion一瞥 XDFx.)
t  
3?1`D/  
/7}It$|nhy  
D^=J|7e  
VirtualLab Fusion工作流程                                   P;Ga4Q.  
`QyO`y=?[Y  
• 设置光栅结构 ;4.!H,d  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Bh;7C@dq  
• 分析光栅衍射效率 OoA|8!CFa  
−光栅阶次分析器[用户案例] _Em.
 
• 通过参数运行检查不同参数的影响 X22[tqg;&  
− 利用参数运行文档[用户案例] yF"1#{*y  
%?p1d!  
O"F_*  
J2'Nd'  
VirtualLab Fusion技术 ][?G/*k  
oxz OA