摘要 /jD'o>
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 )VC) }
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正弦光栅—效率与高度(TEA) 5mU_S\)4:z
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正弦光栅—透射相位曲线 z{\.3G
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正弦光栅—衍射效率 i7FEjjGtG
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正弦光栅—效率与周期 `c(@WK4
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Z>l>@wN m
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) \
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闪耀光栅—透射相位曲线 y_6HQ:
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闪耀光栅—衍射效率 U:Y?2$#
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VirtualLab Fusion一瞥 G.Q+"+*^
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VirtualLab Fusion工作流程 0PN{
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• 设置光栅结构 `)'YU^s
−使用界面配置光栅结构[用户案例] B4 hR3%
• 分析光栅衍射效率 Rh=h{O
−光栅阶次分析器[用户案例] C
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 <%5ny!]
− 利用参数运行文档[用户案例] c0@v`-9
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VirtualLab Fusion技术 fA8 ,wy|>
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