摘要
w%VHq z$ G|'DAj% 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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5(%+8<2 niFX8%<hP 建模任务
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w1rB"rB? {LbcG^k 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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`w@fxv L<J';#BD 正弦光栅—透射相位
曲线 2!-ZNd:(+ c*1t<OAS~
;f^.7| )j4]Y dJ 正弦光栅—透射相位曲线
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?c+_}ja, {uL<$;#i 正弦光栅—衍射效率
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u_E " 正弦光栅—效率与周期
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%njX'7^u bkceR>h% 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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L 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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G+=euK2] ]~U4; 闪耀光栅—透射相位曲线
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5H6m{ng gLsl/G 闪耀光栅—效率与周期
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o*_[3{FU J|W~\(W6i VirtualLab Fusion一瞥
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-n?|,cO `4'v)!? VirtualLab Fusion工作流程
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}4T)k(a • 设置光栅
结构 :2^%^3+V −使用界面配置光栅结构[用户案例]
~=lm91W • 分析光栅衍射效率
#|v\UJ:Pf/ −光栅阶次分析器[用户案例]
@N7X(@O • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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− 利用参数运行文档[用户案例]
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}y(1mzb SpdQ<] VirtualLab Fusion技术
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