摘要
|0-5-. Iqo4INGIi 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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~yO.R)4v lWOB!l 建模任务
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yil{RfBEr_ Jnv91*>h8 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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Vr5a:u' OjZ+gl} 正弦光栅—透射相位
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t/q\Ne\\, Gm.v-T$ 正弦光栅—透射相位曲线
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flmcY7ZV r{Fu|aoa;5 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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w|$;$a7) eL-92]]e 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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+/UInAM 9K%E+_7b 闪耀光栅—衍射效率
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"[m% t,RR\S VirtualLab Fusion一瞥
vO"AJ`_ Y.&z $+
1FY^_dvH W]reQ&<Z VirtualLab Fusion工作流程
KXR \)LY_D: • 设置光栅
结构 R':a,6O −使用界面配置光栅结构[用户案例]
9fe~Q%x=u • 分析光栅衍射效率
WlG/7$ −光栅阶次分析器[用户案例]
!q$IB?8 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
m~X:KwK4 − 利用参数运行文档[用户案例]
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(+T|B E3*# TNiFl hq VirtualLab Fusion技术
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