摘要
;*H@E(g kK,Ne%}a2K 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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k%|Sl>{Ir 1(q&(p 建模任务
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m!zg 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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#[uDVCM E.'v,GYe 正弦光栅—透射相位
曲线 1 iiQW BidTrO
#80[q3 (2SmB`g 正弦光栅—透射相位曲线
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1Z h4)6x `<"@&N^d 正弦光栅—衍射效率
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G[bWjw86O vGX}zzto 正弦光栅—效率与周期
js$L<^7 v>[U*E
'&;s32']} wDv G5 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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O7Z?y* UqA<rW 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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pnpx`u; Qms,kX 闪耀光栅—透射相位曲线
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:kU-ol$ 'bb*$T0= 闪耀光栅—衍射效率
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D^30R*gV 7:S4 Ur 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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mH,L,3R;R Q`B K
R]/ VirtualLab Fusion一瞥
6/=0RTd LK}*k/eG
&<>NP?j} nkxv,_)ZT VirtualLab Fusion工作流程
g.wDg ~ubcD6f • 设置光栅
结构 #1z/rUh`Cr −使用界面配置光栅结构[用户案例]
(rE.ft5$9 • 分析光栅衍射效率
J/(^Z?/~P! −光栅阶次分析器[用户案例]
S%p.|! • 通过
参数运行检查不同参数的影响
DfsPg':z − 利用参数运行文档[用户案例]
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`Q!#v{ Aw)I:d7F VirtualLab Fusion技术
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