摘要
IY :iGn8R '2#O{ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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9ft7 {mI95g& 建模任务
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dGHRHXi S .1~# 正弦光栅—效率与高度(TEA)
44b'40 C}W/9_I6Uo
18|H N{E>R&,q 正弦光栅—透射相位
曲线 UWmWouA rTK/WZs8
L2Mcs Yuh t<:` 正弦光栅—透射相位曲线
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DBVe69/S 0M:.Jhp 正弦光栅—衍射效率
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PGfQN >Rx^@yQ!+z 正弦光栅—效率与周期
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,mjwQ6:Ny 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
Qt!l-/flh :?yv0Iu
Z7OWpujCvN OTalR;:]r 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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]<TgBo| p Sc<3OI 闪耀光栅—透射相位曲线
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piY=(y&3 WG(tt. 闪耀光栅—衍射效率
A1Rt TzerAX^
4l>/6LNMF mu|#(u 闪耀光栅—效率与周期
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ZZ?=^g %6dFACv 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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D.U)R7( k}Ahvlq) VirtualLab Fusion一瞥
Dj
#G{X". c,4UnEoCR
@yS zVJwmp^ VirtualLab Fusion工作流程
(fb&5=Wzw 4AzS~5S • 设置光栅
结构 A2$:p$[ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
9`QWqu[ • 分析光栅衍射效率
~vBmW_j −光栅阶次分析器[用户案例]
YD7i6A • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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wQ'=M − 利用参数运行文档[用户案例]
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.B_)w:oF ES}@mO VirtualLab Fusion技术
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