摘要
] |nW MXa^g" 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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l<BV{Gl a]T&-#c,} 建模任务
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!~yBzH;K ;}j(x;l>t 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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a5GLbanF EG;E !0 正弦光栅—透射相位
曲线 BqY_N8l&E )+hV+rM jp
(Xcy/QT {BT/P! 正弦光栅—透射相位曲线
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]Ob|!L( qS2Nk.e]o 正弦光栅—衍射效率
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BUJ\[/ _BmObXOp. 正弦光栅—效率与周期
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S k~"-HL| `om+p?j 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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dy&UF,l6 $KO2+^%y 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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M .b8 -`V `x#Ud)g 闪耀光栅—透射相位曲线
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~0a5 ]:59c{O 闪耀光栅—衍射效率
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[d6! #Ub_m@@4 闪耀光栅—效率与周期
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CwA_jOp *h!fqT%9 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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!Qe;oMqy} tcuwGs>_ VirtualLab Fusion一瞥
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GQqGrUQ*} wZiUzS;v VirtualLab Fusion工作流程
mll:rWC) O?JJE8~'] • 设置光栅
结构 ,50 −使用界面配置光栅结构[用户案例]
$*fJKR_N • 分析光栅衍射效率
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C* −光栅阶次分析器[用户案例]
G%<}TI1} • 通过
参数运行检查不同参数的影响
Az`Aa0h]7 − 利用参数运行文档[用户案例]
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G*fo9eu5$ oJz2-PmX VirtualLab Fusion技术
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