摘要
}f2r!7:x G8Du~h!!U 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Ha)ANAD Jec'`,Y 建模任务
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c*~]zR>s! zl`h~}I 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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: 正弦光栅—透射相位
曲线 {AQ=<RDRF dUsxvho
aM;W$1h A<ynIs< 正弦光栅—透射相位曲线
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b5^OQH{v V dn&c 正弦光栅—衍射效率
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t]e;;q=L. 正弦光栅—效率与周期
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p @$z<i `4 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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9 GQ-Rtn4v 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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!Ta>U^7 .c$316 闪耀光栅—透射相位曲线
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!Xph_SQ!B= KSrx[q 闪耀光栅—衍射效率
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of@#:Qs _(KbiEB{ 闪耀光栅—效率与周期
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&%/7E_j7 3=L.uXVb 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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71{p+3Z& M^]cM(swK5 VirtualLab Fusion一瞥
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y(xJTj Tq4-wE+ VirtualLab Fusion工作流程
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gUAm • 设置光栅
结构 tmtT( −使用界面配置光栅结构[用户案例]
#KiRfx4G • 分析光栅衍射效率
eD#hpl −光栅阶次分析器[用户案例]
zO
MA • 通过
参数运行检查不同参数的影响
lO_UPC\@fw − 利用参数运行文档[用户案例]
IOV(seEY Dmu/RD5X:
<(-hx+^ pLzk VirtualLab Fusion技术
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