摘要
LH3PgGi, x$ ?{)EY 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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WdnCRFO?l #=q)>+\ 建模任务
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>hk 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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W,}HQ PGOi#x 正弦光栅—透射相位
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*U)!9DvA ~NMal]Fwx 正弦光栅—透射相位曲线
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uy9k^4Cqa mflH &Bx9 正弦光栅—衍射效率
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JD^(L~ n] mh2t ' O 正弦光栅—效率与周期
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!MDg_oHd 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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#e((F,1z wyMj^+ 2m 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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V 闪耀光栅—透射相位曲线
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&~29 %Ns np}F [v 闪耀光栅—衍射效率
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w*Vf{[a' !?`5r)K 闪耀光栅—效率与周期
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Vv~rgNh )q&=x2` VirtualLab Fusion一瞥
+R@5e+auQ. "gADHt=MIR
jhr{JApbJv .iNPLz1 VirtualLab Fusion工作流程
n_Px=s!1p@ 4\H:^U& • 设置光栅
结构 *y9 iuJ} −使用界面配置光栅结构[用户案例]
XO~xbG7>gZ • 分析光栅衍射效率
3@kiUbq7Eu −光栅阶次分析器[用户案例]
o>mZ$ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
;aExEgTq − 利用参数运行文档[用户案例]
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`VCU`Y WHk/Rg%< VirtualLab Fusion技术
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