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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 >d#3|;RY
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正弦光栅—透射相位曲线 76_<xUt{
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 x)_r@l`$ix
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闪耀光栅—透射相位曲线 TM-Fu([LMV
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闪耀光栅—衍射效率 x6v,lR
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 @Z q[e
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VirtualLab Fusion一瞥 X3yS5whd(
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VirtualLab Fusion工作流程 zN")elBi
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• 设置光栅结构 ?oKL&I@
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ^V.'^=l
• 分析光栅衍射效率 r]T0+ oQ>
−光栅阶次分析器[用户案例] \0&SI1Yp
• 通过参数运行检查不同参数的影响 9go))&`PJL
− 利用参数运行文档[用户案例] CN\=9Rvs
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VirtualLab Fusion技术 QNpuTZn#Q
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