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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 7Da`
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建模任务 Y\?"WGL)p
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ]tRu2Ygf
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闪耀光栅—透射相位曲线 3/e.38m|
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VirtualLab Fusion一瞥 QIvVcfM^
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VirtualLab Fusion工作流程 j94=hJVKi
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• 设置光栅结构 a /l)qB#
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Ln<`E|[29
• 分析光栅衍射效率
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−光栅阶次分析器[用户案例] cr?Q[8%t1
• 通过参数运行检查不同参数的影响 L Mbn
− 利用参数运行文档[用户案例] ex9g?*Q
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VirtualLab Fusion技术 #TX/aKr:
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