摘要
.W?POJT E1VCm[j2 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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{)F-US q9Fc0(&Vf 建模任务
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z<@$$Z=0UF *TMg. 正弦光栅—效率与高度(TEA)
`cZG&R R HF;AX n
#|$7. e 0<i~XN0g 正弦光栅—透射相位
曲线 iY(hGlV Y*"%;e$tg
6`+DBr -=g`7^qa> 正弦光栅—透射相位曲线
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R~c(^.|r TF3Tha] 正弦光栅—衍射效率
s]B^Sz= 2$3BluK
bfa5X<8 e HOm^.gd 正弦光栅—效率与周期
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<[pU rJfTr 29GejLg| 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
=z@'vu$Fh Ufo-AeQo
OTV)#,occ 'TbA^U[ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
uCUBs(iD WUqAPN
auGt>,Zj\Q xds"n5 闪耀光栅—透射相位曲线
=%RDT9T. 1pz6e8p:m
4CN8>J'- ?X:RrZ:/ 闪耀光栅—衍射效率
Q"Bgr&RJ B:^U~s R
1,pg:=N9 OB"QWdh 闪耀光栅—效率与周期
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\64(`6> 134wK]d^ 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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%Z}dY~: ZW\h,8% VirtualLab Fusion一瞥
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TZHqn6 0,/[r/=jT VirtualLab Fusion工作流程
7unu-P<C n*;mFV0s • 设置光栅
结构 -eNi;u −使用界面配置光栅结构[用户案例]
$[]=6.s • 分析光栅衍射效率
S)[2\Z{**T −光栅阶次分析器[用户案例]
7tr.&A^c • 通过
参数运行检查不同参数的影响
N;D+]_;0| − 利用参数运行文档[用户案例]
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:Mt/6} |]B]0J#_ VirtualLab Fusion技术
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