摘要 /`mks1:pK
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 q
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 OG>}M$Ora
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) xD~5UER
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闪耀光栅—效率与周期
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 \Je0CD=e`
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VirtualLab Fusion一瞥 nrub*BuA
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VirtualLab Fusion工作流程 "n(hfz0y%
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• 设置光栅结构
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] P}n_IV*@
• 分析光栅衍射效率 {?}E^5Z*g
−光栅阶次分析器[用户案例] R3gdLa.
• 通过参数运行检查不同参数的影响 r!_-"~`7E
− 利用参数运行文档[用户案例] xr4*{v
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VirtualLab Fusion技术 G|!Tj X7s
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