摘要 ]ev *m&O
NYWG#4D
薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 pw0Px
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) U%mkhWn
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闪耀光栅—透射相位曲线 Q3<bC6$r
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VirtualLab Fusion一瞥 Hrd5p+j
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VirtualLab Fusion工作流程 x'E'jh%
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• 设置光栅结构 2]of SdM
−使用界面配置光栅结构[用户案例] P.[6s$J
• 分析光栅衍射效率 bqw/O`*wfN
−光栅阶次分析器[用户案例] w6WGFQ_ %
• 通过参数运行检查不同参数的影响 %5Q7 #xU
− 利用参数运行文档[用户案例] J)7,&Gc6
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VirtualLab Fusion技术 X7XCZSh#A
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