摘要
34F;mr"yp G0Y]-*1 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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d+WNg2#v S;^'Ek"Z. 建模任务
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bzv q:MSV{k 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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0.kC| Mc~L%5 正弦光栅—透射相位
曲线 9]%2Yb8SC 3gv@JGt7`
B9dc* 37b6w6{D 正弦光栅—透射相位曲线
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8?hZ5QvA(j 0at['zw 正弦光栅—衍射效率
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\0n<6^y oU|_(p"e| 正弦光栅—效率与周期
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?vP6~$*B VVbFn9+V 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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eD|"?@cE mwutv8? 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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o@L2c3?c5 闪耀光栅—透射相位曲线
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&][R 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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>sZ_I?YDs 8)>4ZNXz VirtualLab Fusion一瞥
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MDZPp;\) KGGnypx` VirtualLab Fusion工作流程
Uz=ol.E .Fx3WryF • 设置光栅
结构 oIniy{ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
$pIo`F _W • 分析光栅衍射效率
DyCkz"1S −光栅阶次分析器[用户案例]
[_`@V4 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
*zMt/d*<& − 利用参数运行文档[用户案例]
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7uf5w0] 4aKppj VirtualLab Fusion技术
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