[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 i_[nW  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 l-~ o&n  
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建模任务 :!c
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正弦光栅—效率与高度（TEA） [f8mh88r  
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正弦光栅—透射相位曲线 =Zt7}V  
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正弦光栅—衍射效率 m})EYs1  
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正弦光栅—效率与周期 ]K^#
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 *D_pFS^l  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） $!m (S&f  
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闪耀光栅—透射相位曲线 O"c@x:i  
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闪耀光栅—衍射效率 4^>FN"Ve`B  
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闪耀光栅—效率与周期 ~4t7Q  
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Obl,Qa:5  
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VirtualLab Fusion一瞥 d7)EzW|I;  
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VirtualLab Fusion工作流程                                   X61p xPa  
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• 设置光栅结构 6%8,OOS  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] p0b2n a !  
• 分析光栅衍射效率 XSDudL  
−光栅阶次分析器[用户案例] DFUW^0N  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 q,
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− 利用参数运行文档[用户案例] +:#x!i;W8[  
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VirtualLab Fusion技术 qL 0{w7  
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