摘要 Ihef$,
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 r,nn~
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建模任务 R6Pz#`n
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正弦光栅—效率与高度(TEA) `q1}6U/k
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正弦光栅—衍射效率 [r~~=b7*[
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 X)FQ%(H<
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) n%Rjt!9
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闪耀光栅—透射相位曲线 \ !6t
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 7YSuB9{M
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VirtualLab Fusion一瞥 *GB$sXF
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VirtualLab Fusion工作流程 puk4D
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• 设置光栅结构 ~p0e=u
−使用界面配置光栅结构[用户案例] +X{cN5Y K
• 分析光栅衍射效率 F5Cqv0HV
−光栅阶次分析器[用户案例] k$Nx6?8E
• 通过参数运行检查不同参数的影响 4h[2C6
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− 利用参数运行文档[用户案例] k{!iDZr&f,
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VirtualLab Fusion技术 t\E-6u
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