摘要 ]PR|d\O
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ?vZWUWa
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建模任务 *C4~}4WT\
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正弦光栅—效率与高度(TEA) ]{K5zSK
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正弦光栅—透射相位曲线 McT\ R{/
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正弦光栅—透射相位曲线 <8iYL`3
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正弦光栅—衍射效率 h^%GE;N
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正弦光栅—效率与周期 OfD@\;L
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ~@%(RMJm&
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) j'k8^*M6
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闪耀光栅—透射相位曲线 HvAE,0N
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闪耀光栅—衍射效率 O-i4_YdVt
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闪耀光栅—效率与周期 W|lH
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ]t*33
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VirtualLab Fusion一瞥 <[bQo&B2 E
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VirtualLab Fusion工作流程 5n:nZ_D
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• 设置光栅结构 9p5= _
−使用界面配置光栅结构[用户案例] YmOldR9v(
• 分析光栅衍射效率 n4Vwao/9x
−光栅阶次分析器[用户案例] (m6EQoW^s+
• 通过参数运行检查不同参数的影响 3be6p
− 利用参数运行文档[用户案例] $Ru&>D#stK
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VirtualLab Fusion技术 Pv~: gP
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