摘要
j$2rU' +Ce[OG. 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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4r'QP .h f9+J} 建模任务
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bfjC: "!H v|\<N!g 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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yw1D nFRU-D$7 正弦光栅—透射相位
曲线 ySfot`LQ 2kP0//
@D?KS;# U9?fUS 正弦光栅—透射相位曲线
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W^a-K 5=;LHS* 正弦光栅—衍射效率
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>GbCRN~ i~};5j( 正弦光栅—效率与周期
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Y/%(4q*' S]}hh,A 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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cO8':P5Q e;|:W A 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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tzTnFV @r.w+E= 闪耀光栅—透射相位曲线
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Q)/V>QW m1 tYDZ"i 闪耀光栅—衍射效率
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Qkvg85 yt5Sy 闪耀光栅—效率与周期
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A^2n i=b yb-1zF| 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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X7bS{GT & t.G4 VirtualLab Fusion一瞥
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)Ja&Y 9a6ij*# VirtualLab Fusion工作流程
|]Eli%mNe mTj?W$+r • 设置光栅
结构 Q)IL]S −使用界面配置光栅结构[用户案例]
'^{:HR#i • 分析光栅衍射效率
rA\6y6dFs −光栅阶次分析器[用户案例]
t'e\Z2 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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c − 利用参数运行文档[用户案例]
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d:L|BkQ7* hr/H vB VirtualLab Fusion技术
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