摘要 3FUZTX]Q1
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 N=D
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建模任务 Qm`f5-d
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正弦光栅—效率与高度(TEA) gZM{]GQ
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正弦光栅—透射相位曲线 *(?YgV
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正弦光栅—衍射效率 }/c.>U
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 F!]UaEmV
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 P\2QH@p@t
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VirtualLab Fusion一瞥 0eQ5LG?)
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VirtualLab Fusion工作流程 /o|@]SAe.
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• 设置光栅结构 f2{4Y)
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Ro-Mex2
• 分析光栅衍射效率 ];uvE? 55
−光栅阶次分析器[用户案例] V7lDuiAI
• 通过参数运行检查不同参数的影响 sS-5W-&P{T
− 利用参数运行文档[用户案例] <CA
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VirtualLab Fusion技术 r`S]`&#}(
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