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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ,.}%\GhY
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建模任务 O"Nr$bS(Y
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正弦光栅—效率与高度(TEA) GZ,MC?W
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正弦光栅—透射相位曲线 d9BFeq8
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正弦光栅—效率与周期 [rWBVfm
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 *1{A'`.=\
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) c:u*-lYmK%
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闪耀光栅—透射相位曲线 6PYt>r&TO
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闪耀光栅—衍射效率 cx$h"
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闪耀光栅—效率与周期 L"vrX
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 M,@M5o2u
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VirtualLab Fusion一瞥 Tp?IK_
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VirtualLab Fusion工作流程 cB){b'WJ
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• 设置光栅结构 t!Cz;ajNi
−使用界面配置光栅结构[用户案例] q"<=^vi
• 分析光栅衍射效率 Lw,}wM5X
−光栅阶次分析器[用户案例] m(U.BXo
• 通过参数运行检查不同参数的影响 m;l[flQ~
− 利用参数运行文档[用户案例] Y4 z
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VirtualLab Fusion技术 v4s4D1}
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