摘要 :eCwY
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 J]'zIOQ
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建模任务 V1zmG y
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正弦光栅—效率与高度(TEA)
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正弦光栅—透射相位曲线 F/{!tx
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正弦光栅—衍射效率 C}Cs8eUn
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正弦光栅—效率与周期 +O{*M9B
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 M%m4i9~!?
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) KZE,bi:~
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闪耀光栅—透射相位曲线 1Pu~X
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闪耀光栅—衍射效率 R-$!9mnr
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闪耀光栅—效率与周期 m-, x<bM?
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 wIt}dc
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VirtualLab Fusion一瞥 `|q(h Ow2
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VirtualLab Fusion工作流程 rx|pOz,:
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• 设置光栅结构 rey!{3U
−使用界面配置光栅结构[用户案例] evmeqQG=
• 分析光栅衍射效率 > ~O.@|
−光栅阶次分析器[用户案例] 1yhDrpm
• 通过参数运行检查不同参数的影响 bk[!8-b/a
− 利用参数运行文档[用户案例] ym1Y4,
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VirtualLab Fusion技术 O=7CMbS3
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