[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 5[/*UtB  
t}'Oh}CG  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 @9vz%1B<l  
zyCl`r[}  
^8V]g1]fiG  
     {Ja#pt  
建模任务 Z#4? /'  
p(Qm\g<  
zD)2af  
~"=nt@M]  
正弦光栅—效率与高度（TEA） {mkYW
-4Se  
1YM04*H  
u[d8)+VX  
C'5i>;  
正弦光栅—透射相位曲线 vZXyc*  
t5eux&C  
vn,L),"=  
#;^.&2Lt  
正弦光栅—透射相位曲线 0kC!v,  
MR+ndB<  
RqcX_x(p  

KZDB\T  
正弦光栅—衍射效率 #Va@4<4r  
Gm>8= =c  
.6.oqb  
V (X)Qu@R  
正弦光栅—效率与周期 U 2\{(y  
KgKV(q=  
g7d)YUc  
zo]7#  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 6dg[  
L:B&`,E  
"=/XIM.  
wetkmd  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） t0?BU~f  
L'['7  
cQ+V4cW Z  
l<qxr.X  
闪耀光栅—透射相位曲线 M{z+=c&w  
ZC0F:=/K  
}-8K*A3  
q+LjWZ+O  
闪耀光栅—衍射效率 Ye(0'*-jyc  
Lw!@[;2  
qe\j$Cjy  
\6@}HFH  
闪耀光栅—效率与周期 \ &_ -  
]A'e+RD4k  
]CHMkuP[k  
|t.WPp5,  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Q$RP2&  
{OQ sGyR?  
];Z_S`JR  
a2YdkdjT  
VirtualLab Fusion一瞥 , :kCt=4%  
c?z%z&  
GU"MuW`u2  
v8wN2[fC  
VirtualLab Fusion工作流程                                   j[Et+V?  
eH1Y!&`  
• 设置光栅结构 qLPI^g,  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 8I~H1  
• 分析光栅衍射效率 H[6d@m- Z  
−光栅阶次分析器[用户案例] + ^~n09  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 W6jB!W  
− 利用参数运行文档[用户案例] [vIO  
-98bX]8  
B"{CWH O  
2f~s$I&l#  
VirtualLab Fusion技术 (r7~ccy4  
8(S'g+p