摘要 z?PF9QL1
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 _3hEYeh
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建模任务 4P8:aZM
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正弦光栅—效率与高度(TEA) 9g7T~|P
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正弦光栅—透射相位曲线 yZ`\.GgC^&
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正弦光栅—透射相位曲线 Jps!,Mflc
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正弦光栅—衍射效率 u%FA.
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正弦光栅—效率与周期 /O9z-!Jz
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 d/MMPge3
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) 139_\=5|U/
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闪耀光栅—透射相位曲线 CGQ`i
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闪耀光栅—衍射效率 d2pVO]l YZ
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闪耀光栅—效率与周期 N*eZ4s'
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 HJDM\j*5
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VirtualLab Fusion一瞥 &U:;jlST9
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VirtualLab Fusion工作流程 W_%Dg]l
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• 设置光栅结构 XLB7
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] &4LrV+`$V
• 分析光栅衍射效率 {q:6;yzxl
−光栅阶次分析器[用户案例] v81<K*w`P
• 通过参数运行检查不同参数的影响 p~qdkA<
− 利用参数运行文档[用户案例] Zv-#v
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VirtualLab Fusion技术 F.4xi+S_
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