摘要
z Z@L4ZT 8mk}nex 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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.=>\Qq% j|&{e91,? 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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's$A+8;L jN31\)/i 正弦光栅—透射相位曲线
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B`g<Ge~ P3+)pOE-SI 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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Aivu %}_| cxtLy&C 闪耀光栅—透射相位曲线
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a"`g"ZRx =giM@MV 闪耀光栅—衍射效率
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B6tcKh9d, PphR4 sIM VirtualLab Fusion一瞥
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lH#@^i|G /3)YWFZZc VirtualLab Fusion工作流程
OoAr% D%c7JK • 设置光栅
结构 GNhtnB −使用界面配置光栅结构[用户案例]
<.PPs:{8# • 分析光栅衍射效率
7h9 fQ&y −光栅阶次分析器[用户案例]
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xfc-Q • 通过
参数运行检查不同参数的影响
]C}u-B746 − 利用参数运行文档[用户案例]
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,z?<7F1q= Vu|Br VirtualLab Fusion技术
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