摘要 Rut6m5>
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 SxH}/I|W
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正弦光栅—效率与高度(TEA) B:x4H}`vh
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正弦光栅—透射相位曲线 s{iYf :
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正弦光栅—衍射效率 uox;PDK
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正弦光栅—效率与周期 #Ta@A~.L
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 UHCx}LGe
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) H[G EAQO
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闪耀光栅—透射相位曲线 4a646jg)
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 <T&$1 m{
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VirtualLab Fusion一瞥 aY?}4Bx
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VirtualLab Fusion工作流程 =kCpCpET
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• 设置光栅结构 6D+k[oHZm
−使用界面配置光栅结构[用户案例] o^NQ]BdH8
• 分析光栅衍射效率 9wwvh'T&NK
−光栅阶次分析器[用户案例] Y{S/A *X
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ofi']J{R
− 利用参数运行文档[用户案例] =o-qu^T^u
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VirtualLab Fusion技术 -^Lj~O
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