[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 3~I<f^K4  
y5a^xRDw  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 oiO3]P]P  
w,8 M  

图片:1-200423121221J1.png

R ;5w*e}?5  
     \+GXUnkj  
建模任务 ~\<ZWU<BE  
#2yOqUO\  

图片:1-200423121253U8.png

!::k\}DS  
Vu`dEvL?  
正弦光栅—效率与高度（TEA） HT?`PG  
b{sE#m%r  

图片:1-2004231214052W.png

+6<MK;  
3Un/-4uL  
正弦光栅—透射相位曲线 [$[t.
m  
2l5@gDk5  

图片:1-20042312143L47.png

0 {{7"  
Cy6[p  
正弦光栅—透射相位曲线 3{MIBMA  
@T/C<-/:  

图片:1-20042312145D28.png

qx0o,oZN!  

N0 ?O*a  
正弦光栅—衍射效率 ~w]1QHA'f  
fY%Sw7ql<  

图片:1-200423121551500.png

A9l^S|r  
73}k[e7e  
正弦光栅—效率与周期 @D"|Jq=6P  
1b|< 
 

图片:1-200423121614403.png

k})9(Sy~  
$Uewv +  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ;k/0N~  
Kyl(  

图片:1-200423121639445.png

ixKQh};5/  
0l 3RwWj  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） >^InNJd  
Q ;k_q3  

图片:1-200423121F1Z8.png

 iI ^{OD  
BMX x(W]  
闪耀光栅—透射相位曲线
gu:..'V  
|um)vlN;9  

图片:1-200423121H4Q5.png

'!1lK  
GtGToI  
闪耀光栅—衍射效率 A{+ZXu}  
P{>T?-Hj  

图片:1-200423121K2245.png

^Ws~h\{%  
> %Y#(_~a  
闪耀光栅—效率与周期 n,HWVo>([  
}+=@Ci  

图片:1-200423121Q3949.png

=~EQ3uX  
`HJwwKd  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 t]&n_]`{.  
k2+Z7#2n  

图片:1-200423121S6220.png

"V:UQ<a\  
n--`zx-['  
VirtualLab Fusion一瞥 rW6w1  
Xif`gb6`  

图片:1-200423121U54Z.png

qob!!A14p  
_%L3?PpF"  
VirtualLab Fusion工作流程                                   3=K-+dhk|t  
0>?mF]M  
• 设置光栅结构 Sv>aZ  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Z$hxo)|  
• 分析光栅衍射效率 ome>Jbdhe  
−光栅阶次分析器[用户案例] B"B  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 bFJn-g n  
− 利用参数运行文档[用户案例] ^a}{u$<  
d[Fsp7U}  

图片:1-200423121956211.png

2 rBF<z7  
j68Gz5;j  
VirtualLab Fusion技术 8'quQCx*=  
:m~lgb<  

图片:1-200423122021110.png