摘要
UB(8N7_/ Rhr]ML 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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l?#([(WM E7j]"\~ i 建模任务
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[9$>N `%rqQnVB 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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p%,JWZ[ O0~[]3Y[= 正弦光栅—透射相位
曲线 6i&WF<%D zzPgLE55
2#|Q=rWB Lx(Y= 正弦光栅—透射相位曲线
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vE;s"/ znu?x|mV 正弦光栅—衍射效率
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33
N5> } 3pl.<;9r 正弦光栅—效率与周期
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R#Ss_y ]l&_Pv!! 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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;i Ud3'* c)lMi}/ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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zJtYy4jI) 9I.="b=J) 闪耀光栅—透射相位曲线
E#ti |-Y,:sY:
, gz:2UY# &4p:2,|r9 闪耀光栅—衍射效率
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c 8E& 3<?(1kSo>> 闪耀光栅—效率与周期
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uvZ|6cM IDwneFO VirtualLab Fusion一瞥
kM@8RAxA {6v+
Dz>
%'@&j2j> $40tAes9 VirtualLab Fusion工作流程
6?(*:}Q qI KVu_ • 设置光栅
结构 I?5#Q0,b −使用界面配置光栅结构[用户案例]
keCM}V`?" • 分析光栅衍射效率
eV}Ow`~I5 −光栅阶次分析器[用户案例]
2z&HT SI • 通过
参数运行检查不同参数的影响
7e>n{rl − 利用参数运行文档[用户案例]
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{n2jAR9nq _fa2ntuS=f VirtualLab Fusion技术
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