摘要
%|* y/m & ~G 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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n# acZ|H 建模任务
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,ZW.P` pG=zGx4 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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G%/cV?18 3lgyX/?o 正弦光栅—透射相位
曲线 FsZEB/c GuDD7~qxY
=,Um;hU3r JkEQ@x 正弦光栅—透射相位曲线
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m,fr?d/; m,_oX1h 正弦光栅—衍射效率
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yG_.|%e 正弦光栅—效率与周期
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l%w|f`B: L7'n<$F 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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goWt!,&f KA[Su0 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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IiU|@f~k z$,hdZ] 闪耀光栅—透射相位曲线
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~_6rD`2cJ #jR?C9&!( 闪耀光栅—衍射效率
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0(.C f.B~ I!%@|[ Ow 闪耀光栅—效率与周期
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#-8/|_* /;J;,G`? VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion工作流程
4cL=f !h;VdCCi# • 设置光栅
结构 w-m2N-"=' −使用界面配置光栅结构[用户案例]
QX/`s3N • 分析光栅衍射效率
U^S0H(> −光栅阶次分析器[用户案例]
xr -scdh2 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
P#]jPW − 利用参数运行文档[用户案例]
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+z_0 ?x 5^i ^? VirtualLab Fusion技术
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