摘要 YV!hlYOBi
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 kDI?v6y5
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建模任务 H2+b3y-1a]
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正弦光栅—效率与高度(TEA) G]4Ca5;Z!N
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正弦光栅—效率与周期 ;RRw-|/Wm
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 r
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) _io'8X2K%
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闪耀光栅—透射相位曲线 O~6%Iz`
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闪耀光栅—效率与周期 Z17b=xJw
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 >&KH!:OX|
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VirtualLab Fusion一瞥 ={sjoMW
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VirtualLab Fusion工作流程 gVfFEF.
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• 设置光栅结构
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] mi7?t/D1Z
• 分析光栅衍射效率 _d5:Y
−光栅阶次分析器[用户案例] RI&O@?+U
• 通过参数运行检查不同参数的影响 J
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− 利用参数运行文档[用户案例] z7bJV/f
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VirtualLab Fusion技术 LJ/He[r|[
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