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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 aBT|Q@Y.
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建模任务 pNI=HHx
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正弦光栅—衍射效率 INE8@}e
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正弦光栅—效率与周期 Q\Fgc ;.U
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 'q8T*|/
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VirtualLab Fusion一瞥 9}p?h1NrY
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VirtualLab Fusion工作流程 )HQ':ZE$
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• 设置光栅结构 eme7y
−使用界面配置光栅结构[用户案例] eW,{E)x:
• 分析光栅衍射效率 SKt&]H
−光栅阶次分析器[用户案例] dE~]%fUFy-
• 通过参数运行检查不同参数的影响 mN?y\GB
− 利用参数运行文档[用户案例] D^8]+2r
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VirtualLab Fusion技术 7ESSx"^B
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