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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 >".@;
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建模任务 -:Bgp*S
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正弦光栅—效率与高度(TEA) {HjJ9ZGQ
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正弦光栅—效率与周期 NWj4U3x
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 zbfe=J4c
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) ^}lL@Bd|
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闪耀光栅—透射相位曲线 4I2#L+W
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闪耀光栅—衍射效率 TJuS)AZ
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ^ tVIPH.R
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VirtualLab Fusion一瞥 Ld=6'C8ud
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VirtualLab Fusion工作流程 eGo$F2C6E
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• 设置光栅结构 g^^^fKUp )
−使用界面配置光栅结构[用户案例] .[Ny(X/]/}
• 分析光栅衍射效率 @"m+9ZY
−光栅阶次分析器[用户案例] <lWBhrz
• 通过参数运行检查不同参数的影响 <g, 21(bc
− 利用参数运行文档[用户案例] _HkQv6fXpE
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VirtualLab Fusion技术 ~-~iCIaTb
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