摘要
{3\R|tZh,` 3{7T4p.G 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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\_]En43mg ;iQEkn2T|} 建模任务
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#@.-B,] Ve 3 ; 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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" k 正弦光栅—透射相位
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`FF8ie 8L qv2!grp]*W 正弦光栅—透射相位曲线
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j6:7AH|!)2 h) (*q+a 正弦光栅—衍射效率
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$9!D\N,}]C w`HI]{hE~N 正弦光栅—效率与周期
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0DPxW8Y -` \FmKJ\ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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=Ufr^naA Q\Kx"Y3i 闪耀光栅—透射相位曲线
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1`bl&}6l|E <X7\z 闪耀光栅—衍射效率
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wNJzwC&iQ xJ8%<RR!t VirtualLab Fusion一瞥
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W-~n|PX8+ (7FW9X; VirtualLab Fusion工作流程
Mz]:}qmFA :nY2O • 设置光栅
结构 Kn;D?ioY −使用界面配置光栅结构[用户案例]
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qE> • 分析光栅衍射效率
e$)300 o −光栅阶次分析器[用户案例]
{No L • 通过
参数运行检查不同参数的影响
266oTER]v: − 利用参数运行文档[用户案例]
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6.1)IQkO E.bi05l VirtualLab Fusion技术
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