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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 2/S~l;x
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建模任务 (.\GI D+i
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正弦光栅—效率与高度(TEA) I$0JAy
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正弦光栅—透射相位曲线 6W$ #`N>
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正弦光栅—透射相位曲线 TN3, \qgV
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正弦光栅—衍射效率 06*R)siC
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正弦光栅—效率与周期 wqBGJ
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 *JGm
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) O;
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闪耀光栅—透射相位曲线 I%%\;Dy
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闪耀光栅—衍射效率 btw_k+Fh
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闪耀光栅—效率与周期 `y0ZFh1>X
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Bcrd}'no
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VirtualLab Fusion一瞥 RmO-".$yt
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VirtualLab Fusion工作流程 J[L$8y:
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• 设置光栅结构 IyOujdKa
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 9XF+?
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• 分析光栅衍射效率 vb9G_Pfz
−光栅阶次分析器[用户案例] S#!PDg
• 通过参数运行检查不同参数的影响 X)fj&
− 利用参数运行文档[用户案例] =4
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VirtualLab Fusion技术 U;;vNzcn
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