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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 PV-B<Y
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建模任务 f=-R<l
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正弦光栅—效率与高度(TEA) V0xO:7G^
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正弦光栅—透射相位曲线 z\>ZgRi~n
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正弦光栅—效率与周期 5:%`&B\
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Xt!wOW
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) Kf`/ Gc!
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闪耀光栅—效率与周期 Uurpho_~
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 bjq.nn<=
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VirtualLab Fusion一瞥 Ss:'HH4
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VirtualLab Fusion工作流程 V-18~+F~"a
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• 设置光栅结构 B/B`=%~5_^
−使用界面配置光栅结构[用户案例] Nhtc^DX
• 分析光栅衍射效率 f7Gs1{
−光栅阶次分析器[用户案例] f/{ClP.
• 通过参数运行检查不同参数的影响 }S{VR(i`J
− 利用参数运行文档[用户案例] [K1z/ea)V
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VirtualLab Fusion技术 CHDt^(oa!B
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