摘要 1h&_Q}DM
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 e1 P(-V
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建模任务 HmRmZ3~
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正弦光栅—效率与周期 2p8}6y:}7
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 S)G*+)
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闪耀光栅—透射相位曲线 <'z.3@D
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闪耀光栅—衍射效率 5:X^Q.f;
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 hwd{^
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VirtualLab Fusion一瞥 ~MLBO
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VirtualLab Fusion工作流程 UaV8!Z>
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• 设置光栅结构 2N}h<Yd9
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 2qfKDZ9f^
• 分析光栅衍射效率 q;H5S<]/
−光栅阶次分析器[用户案例] Ai.^~#%X
• 通过参数运行检查不同参数的影响 @1iH4RE*
− 利用参数运行文档[用户案例] `& }C*i"
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VirtualLab Fusion技术 f&L8<ASFo
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