摘要 U*:'/.
-86:PL(I"
薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 z ;Nk& <?
.%Q Ea_\
%ys}Q!gR
",V5*1w
建模任务 HYmUxheN2
32P ]0&_O
^tcBxDC"]
1+}Ud.v3VW
正弦光栅—效率与高度(TEA) =T4w:
NB+O;
k+M-D~@5H
k\%v;3nBK
正弦光栅—透射相位曲线 )_K@ ?rWS
W(4?#lA2W
K)\gbQ|
>!.9g
正弦光栅—透射相位曲线
#de^~
DJ0T5VE W3
}c5`~ LLK
8mLU ~P
|
正弦光栅—衍射效率 (#M$t!'%
P$Ru NF
|UO;StF
7e[\0:Z
正弦光栅—效率与周期 T=dvc}
):ZumG#o
"<a|Q ,!
17MjIX
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 }*R6p?L5
ITlkw~'G
S\!E;p
!OgoV22
闪耀光栅—效率与高度(TEA) Lo9?,^S
lIP<`6=4
.Kwl8xRg
Yg?{x@
闪耀光栅—透射相位曲线 x's-UO"^
Z"+!ayA7D
cSk}53
K.m[S[cy
闪耀光栅—衍射效率 /z:K#
:XZ
pnjj
TeqsP1{?
pk1M.+
闪耀光栅—效率与周期 F|Q#KwN
_I4sy=tYXK
B{ "<\g
y8z%s/gRh
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 JvaaBXkS\
NLY5L7
epyfggMT
q/?_djv
VirtualLab Fusion一瞥 Y&:i^k
vrbh+
ow[qpP[
e r$ 'c
VirtualLab Fusion工作流程 */E{s?
=YIQ
_,{u
• 设置光栅结构 Z-(HDn
−使用界面配置光栅结构[用户案例] i>2_hn_UR
• 分析光栅衍射效率 yk{al SF
−光栅阶次分析器[用户案例] :6V8
• 通过参数运行检查不同参数的影响 f
lB2gr^
− 利用参数运行文档[用户案例] %A3Jd4DH
|3m%d2V*hF
Z]BRMx
Dzr5qP?#
VirtualLab Fusion技术 ,RQ-w2j?
T`sM4 VWqU