摘要
#*!+b j~M#Ss-H8 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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[RAj3Fr0 Zxg 1M 建模任务
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^9&b+u=X p/r~n'g$ 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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{IJ-4> tf4*R_6;1$ 正弦光栅—透射相位
曲线 g[/^cJHQ xT W3UY
+0VG[c\8 t,RyeS/ 正弦光栅—透射相位曲线
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Z[Wlyb0 >G]? 正弦光栅—衍射效率
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g^1r0.Sp{8 _3|6ZO 正弦光栅—效率与周期
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[M4xZHd#o VsEGX@;tO 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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VSh !4z1 d7E7f 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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[q'eENG g^jJ8k,7( 闪耀光栅—透射相位曲线
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=E R;r|cep 闪耀光栅—衍射效率
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>5.zk1&H GMBJjP&R] 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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w,Q)@]_ c}%es=@ VirtualLab Fusion一瞥
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DwXU !N1J@LT5h VirtualLab Fusion工作流程
iT.|vr1HG =5ug\S • 设置光栅
结构 t@)my[ ! −使用界面配置光栅结构[用户案例]
N!L'W\H, • 分析光栅衍射效率
Lyr2(^#: −光栅阶次分析器[用户案例]
=U NT.] • 通过
参数运行检查不同参数的影响
`E W!-v) − 利用参数运行文档[用户案例]
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