摘要
Nz*qz"T i*W8_C:S 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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%w/o#*j<; W4|1wd}.t 建模任务
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zdU<]ge h8u(lIRHQ 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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3vQ?vS|2 Crm](Z? 正弦光栅—透射相位
曲线 57v[b-SK b;9v.MZ4>g
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,UH`l./3DX 42U3> 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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e_\4(4x +@usJkxul 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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&q``CCOF& 5W 5\*L 闪耀光栅—衍射效率
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m`4Sp#m eu^z&R!um VirtualLab Fusion一瞥
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:E@"4O?<Y) HWVWl~FA VirtualLab Fusion工作流程
(`!?p ^>A IUbYw~f3 • 设置光栅
结构 L$i&>cF\_> −使用界面配置光栅结构[用户案例]
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-sD • 分析光栅衍射效率
/3'-+bp^= −光栅阶次分析器[用户案例]
G/N'8Q) • 通过
参数运行检查不同参数的影响
wEQV"I − 利用参数运行文档[用户案例]
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