摘要
XT{1!I( NxNR;wz>l 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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s[nOB0 '0H+ 2 建模任务
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2s-f?WetbP R{!s%K& 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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uAzVa!) n+zXt?{u 正弦光栅—透射相位
曲线 BRoi`.b: Cd7jG
`U2PlCf| yu#Jw 正弦光栅—透射相位曲线
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TQ=\l*R(A i`2Q;Az_P6 正弦光栅—衍射效率
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MuZ\<;W$ ^%go\ C ; 正弦光栅—效率与周期
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1(q!.lPc Ug_zyfr 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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`E!t,*(*E gQ?>%t] 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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vnU 闪耀光栅—透射相位曲线
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''/( 闪耀光栅—衍射效率
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mgYW*5 YXV![gw0 闪耀光栅—效率与周期
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^4s#nf:} ReSP)%oW 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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F<'g6f (B$2)yZY VirtualLab Fusion一瞥
AqN(htGvx Onot<}K
)j6S<mn s)]|zu0"Ku VirtualLab Fusion工作流程
<6(u%t0k5 <&H.pN1_ • 设置光栅
结构 4jG@ # −使用界面配置光栅结构[用户案例]
rTmcP23] • 分析光栅衍射效率
.@B\&U7 −光栅阶次分析器[用户案例]
y99G 3t • 通过
参数运行检查不同参数的影响
I*ho@`U − 利用参数运行文档[用户案例]
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S;|%'Sn|j9 !>>$'.nb@~ VirtualLab Fusion技术
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