摘要 #AQV(;r7@
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Ig>(m49d
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闪耀光栅—透射相位曲线 E}Uc7G
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VirtualLab Fusion一瞥 B^}yo65I
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VirtualLab Fusion工作流程 +:/%3}`
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• 设置光栅结构 DzRFMYBR
−使用界面配置光栅结构[用户案例] VuZr:-K/
• 分析光栅衍射效率 :\_ 5oVb
−光栅阶次分析器[用户案例] cPQiUU~W@
• 通过参数运行检查不同参数的影响 \o3gKoL%
− 利用参数运行文档[用户案例] +&H4m=D-#a
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VirtualLab Fusion技术 A^S gI-y|
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