[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 Rut6m5>  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 SxH}/I|W  
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建模任务 **s:H'Mw_  
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正弦光栅—效率与高度（TEA） B:x4H}`vh  
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正弦光栅—透射相位曲线 s{iYf :  
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正弦光栅—衍射效率 uox;PDK  
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正弦光栅—效率与周期 #Ta@A~.L  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 UHCx}LGe  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） H
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闪耀光栅—透射相位曲线 4a646jg)  
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VirtualLab Fusion一瞥 aY?}4Bx  
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VirtualLab Fusion工作流程                                   =kCpCpET  
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• 设置光栅结构 6D+k[oHZm  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] o^NQ]BdH8  
• 分析光栅衍射效率 9wwvh'T&NK  
−光栅阶次分析器[用户案例] Y{S/A*X  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 of
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− 利用参数运行文档[用户案例] =o-qu^T^u  
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VirtualLab Fusion技术 -^Lj~O  
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