摘要
7_7xL(F/ K"I{\/x@ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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建模任务
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L 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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wNbTM.@ #yX^?+Rc 正弦光栅—透射相位
曲线 69-$Wn43< &!4(
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/LSq%~UF Zr5'TZ`$ 正弦光栅—透射相位曲线
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uH=Gt^_ Fz{o-4 正弦光栅—衍射效率
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+$'e4EwqV l(.7t' 正弦光栅—效率与周期
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X3<SP |%n|[LP' 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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ER/\ +Z#Z T3 =)F% 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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#cR57=M} :U7;M}0 闪耀光栅—透射相位曲线
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LPsh?Ca?N HW^{ ;'kH~ 闪耀光栅—衍射效率
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"JMSL4r Z?5,cI[6#
.n?5}s+q ^Z#<tN; VirtualLab Fusion一瞥
VG? yL2y >eTf}#s?S
}S
Y`KoC1 AEBw#v!,o VirtualLab Fusion工作流程
# Lu4OSM+ e,PQ)1 • 设置光栅
结构 b=6ZdN1 −使用界面配置光栅结构[用户案例]
>?H_A • 分析光栅衍射效率
3 ATN?V@ −光栅阶次分析器[用户案例]
`PXoJl • 通过
参数运行检查不同参数的影响
O%rS;o − 利用参数运行文档[用户案例]
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\z(>h& {'cs![U VirtualLab Fusion技术
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