摘要
v)K|{x O6-';H:I]L 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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^eRbp?H*T z'>b)wY]( 建模任务
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ZL!5dT&@W T0@<u 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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XL1x8IB nM8'="$ 正弦光栅—透射相位
曲线 Ve"M8-{oKk R>[G6LOG
J<cY'?D ?LvxEQ-g 正弦光栅—透射相位曲线
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yzNDXA. KAr5>^<zw 正弦光栅—衍射效率
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gd]k3XN$f #xq|/JWs 正弦光栅—效率与周期
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@GQtyl;q AY9#{c>X 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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7<5=fYbr vcOw`oS 闪耀光栅—透射相位曲线
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r)dXcus drB$q[Ak9 VirtualLab Fusion一瞥
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^*\s VirtualLab Fusion工作流程
S"Ag7i P[P]oT.N
• 设置光栅
结构 !!v9\R4um −使用界面配置光栅结构[用户案例]
~/Kqkhq+c • 分析光栅衍射效率
Lyjp −光栅阶次分析器[用户案例]
","to • 通过
参数运行检查不同参数的影响
~=Fp0l)# − 利用参数运行文档[用户案例]
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&AB <d3a VirtualLab Fusion技术
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