[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 @e-2]z  
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 cAn_:^
 
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图片:1-20042G00011263.png

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傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
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建模任务 [ut[W9  
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图片:1-20042G00040528.png

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单次FMM仿真结果 ; Kh!OBZFo  
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参数扫描（1D） r&_e3#]*  
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参数扫描（2D） V0G[f}tm'  
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图片:1-20042G0042K26.png