摘要
^&6'FE .,5N/p"aV 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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*Af:^>mh {(MC]]'? 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
8rx"D`{| W4~:3Sk 建模任务
c3$h-M(jVJ (( D*kd"
dy%#E2f $Q cr 单次FMM仿真结果
i-`n5, /?wH1 ,
<_~>YJ io{uN/!X_J 参数扫描(1D)
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,AO]4Ec rG*Zp7{ 参数扫描(2D)
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