[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 }]cKOv2  
Q`#Y_N-h+  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ZJz6{cY  
i*`;/x'+  
# [c`]v  
Xrp
zc~(  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） T7eo_Mn  
]HoQ6R\E b  
建模任务 KD]8n]c
 
Yc+0OBH[  
SOo/~giz|  
/`yb75  
单次FMM仿真结果 %;0Llxf"  
bg$df 0  
}5#<`8  
u
Q4
WM  
参数扫描（1D） CrHH Ob  
so h3d  
.Y.\D\>
~  
Jt6~L5[_s  
参数扫描（2D） |s
WH!:]49  
B6tp,Np5,