[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 f|xLKcOP  
,m07p~,V  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 J-J3=JG  
dDKqq(9(`  

图片:1-20042G00011263.png

F,G,b  
rbk<z\pc  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） R9.HD?H@  
ZHy><=2  
建模任务 ^i<}]c_|f  
>zL|8f  

图片:1-20042G00040528.png

B[NJ^b|  
Sb^ b)q"  
单次FMM仿真结果 F(CRq`  
GYgWf1$8_D  

图片:1-20042G00314295.png

+0pW/4x  
$ u2Cd4  
参数扫描（1D） Sa]mm/G  
PO ko]@~!i  

图片:1-20042G00241125.png

'\*A"8;h  
C<he4n.  
参数扫描（2D） J5T=!wF (  
o`%I{?UCDJ  

图片:1-20042G0042K26.png