摘要
]nNn"_qh ~BiLzT1, 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
nC(Lr,( g/frg(KF 
Rl&nR$# NL,6<ZOon, 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
A4g,) .W\JvPTC 建模任务
10Q!-K),p l9e=dV:pH 
aLl=L_ = ld!=II 单次FMM仿真结果
fZoQQ[s zm8k,e +5- 
ep4?;Qmho -<L5; 参数扫描（1D）
eLLOE)x ,Wtgj=1!. 
#"8 'y j\"d/{7Q 参数扫描（2D）
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