摘要
@e-2]z L%<DLe^P`l 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
cAn_:^ ^x2@KMKXZ
d[YG&.}+8j r3+ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
P7epBWqDP tpa<)\7KJ 建模任务
[ut[W9 M0t9`Z9
Js&.p9S2 `PT'Lakf;3 单次FMM仿真结果
; Kh!OBZFo WFTwFm6
tHEZuoi l(HxZlHr 参数扫描(1D)
r&_e3#]* nE56A#,Q,
<rFh93 MvTp%d. 参数扫描(2D)
V0G[f}tm' 8H,k0~D