摘要 "5{Yn!-:
DOhXb
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3q pkMu3
<>j,Q
=_^g]?5i
}-r"W7]k
傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) X@~sIUXx9
7DOAG[gH
建模任务 g-+p(Ll|
Z
NCq/
,P auP~L
Xo%A nqk
单次FMM仿真结果 #y>oCB`EM
Bj@&c>
F6%rH$aS
'O{hr0q}
参数扫描(1D) &v 5yo}s
}}_WZ},h
LR9'BUfFv
6@l:(-(j2A
参数扫描(2D) 3>L1}zyM]
'kx{0J?