摘要 z&x
^ Dl
;
C/:$l
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 I6!~(ND7
(/6~*<ZGT
}U-h^x'
~wtl\-cY
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） Se*o{V3s$
701ei;
建模任务 M:&g5y&
i> }P V
`a *_b9
op!8\rM<e
单次FMM仿真结果 zF'LbQz0[
d~#>.$Uu
aPD4S&"Q
6 @ B_3y
参数扫描（1D） k0[b4cr`
y>4r<Y ZQ
`r?xo7
2Fwp\I;
参数扫描（2D） [=f(u
wY>g
3QNu7oo
