摘要
5Z:HCp-aG #GF1MFkoS 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
IE6/
E \ Q6Ip@?
exhF5,AW|K Xy{b(b;9 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
1.!(#I3 M3Z yf 建模任务
=$'Zmb
[D :$WRV-
,9rT|:N YPM>FDxDB 单次FMM仿真结果
gO5;hd[l }PXWRv.gW
{T IGPK n33SWE( 参数扫描(1D)
B8PF}Mf !y),| #7P
uYl ?Q h<j04fj 参数扫描(2D)
IP >An8+ 52"/Zr }j