摘要
7:UeE~uB: |Rfj
0+ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
i<ES/U\ [7@blU
iE'_x$i %p}vX9U') 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
MJ:c";KCq0 hY4# 4A`I 建模任务
6Ryc&z5 ']nIa7
(@^9oN~} e1Db
+ QBV 单次FMM仿真结果
a OmG, +o JT
7WZc)
0!\gK<,z $wM..ee 参数扫描(1D)
_`?0w#>0 ko}& X=
q'jOI_b 1GN^uia7 参数扫描(2D)
q-z1ElrN7u V>Jr4z