摘要
\L:;~L/ GwoN= 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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,1+)qv#|i o4"7i 9+g 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
>f$>Odqe ED={OZD8 建模任务
BM&.Tw|x v}$KlT
A%pBvULH &O5W 单次FMM仿真结果
u!As?AD. jCMr[ G=
#;32(II 02_%a1g 参数扫描(1D)
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n%>c4*t 2,Og(_0> 参数扫描(2D)
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