摘要
vxZvK0b620 zYYc#N/ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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r?\hZ* |M fi:Z*- 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
opjrU$<]N fwf]1@# 建模任务
"[BuQ0(g 1r\? uD
KFLIO>hE [jeZZB 单次FMM仿真结果
J ;i/X;^ 5bH@R@3 m
D/9&pRsO IpB0~`7YI 参数扫描(1D)
BB|w-W=Kd gUy >I(
tlCgW)<? (4>k+ H 参数扫描(2D)
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"~^k^_b} %=]~5a9