摘要
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T"-}F 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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`sso Wn4 /d:hW4}<}. 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
vxC];nCC# <rK[ &JlJ 建模任务
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QKq4kAaJ! K?!W9lUq 单次FMM仿真结果
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%g@\SR. "JLE 参数扫描(1D)
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4uMMf QKts-b[3 参数扫描(2D)
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