[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 AK,J7
 
8;b(0^  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 f2Klt6"9  
Qi,j+xBp  

图片:1-20042G00011263.png

AF;)#T<  
tvkb~  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） cv-PRH#  
l
P[w?O  
建模任务 bU>U14ix<  
+X#vVD3"  

图片:1-20042G00040528.png

lGV0*Cji  
3c#BKHNC
 
单次FMM仿真结果 q-[@$9AS  
m'Amli@[  

图片:1-20042G00314295.png

5L+>ewl  
(Mo*^pVr  
参数扫描（1D） rXmn7;B}g  
[.O?Z=5a[V  

图片:1-20042G00241125.png

prC;L*~8  
F3N?Nk/  
参数扫描（2D） n
F54tR[  
$*^kY
;  

图片:1-20042G0042K26.png