[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 7p[NuU*Gg  
?C*}NM  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ak$D1#hY  
` 3h,Cy^  

图片:1-20042G00011263.png

,FWsgqL{l  
|0xP'(  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） 33OkYC%
e  
$_Q]3"U  
建模任务 gaU1A"S}  

8<PQ31  

图片:1-20042G00040528.png

IyoitIbLl  
Z:.*fs5  
单次FMM仿真结果 y!/:1BHlm  
Q+; N(\  

图片:1-20042G00314295.png

<Xb$YB-c  
|)+45e  
参数扫描（1D） bEli!N$
  
21 N!?DR  

图片:1-20042G00241125.png

CM4#Nn=i~  
rHJtNN8$k  
参数扫描（2D） [BuAJ930#5  
tqzr+  

图片:1-20042G0042K26.png