摘要
xaX3 <V@S VjSb>k 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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RO=[Rr! $[}31=0 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
{7[^L1 #Q Q\xj 建模任务
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a Umcs !@ NQ !t ` 单次FMM仿真结果
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7&( 参数扫描（1D）
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u JA8PfbD ;&37mO/T 参数扫描（2D）
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