摘要 "`h.8=-
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 #"C!-kS'=
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建模任务 ]`|;ZQiD
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观测倾斜平面 .pH 4[~
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观测柱面 =F_j})O5
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观测球面 ($gmN 4
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走进VirtualLab Fusion |)mUO:*
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VirtualLab Fusion的工作流程 \w-3Spk*
设置输入场 ReGT*+UN
- 基本光源模型 [教学视频] ;Mr Q1
使用表面构造真实元件 hl2|Ec
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定义元件的位置和方向 D0Ls~qr
- LPD II:位置和方向 [教学视频] ]qx!51S
为非序列场追迹设置合适的通道 21] K7
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] 3f:]*U+O
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2#8PM-3"
VirtualLab Fusion技术 ;KG}Yr72
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