摘要
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2wg G$>?UQ[ 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
K5qCPt`' 6Cj7 =|L7 建模任务
X(ph$,[ XL n9NBT4K ,GH`tK_ &IQ=M.!r 观测倾斜平面
U*[E+Uq}:N 8:{id>Mm^ =IC.FT} S[F06.(1 观测柱面
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