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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-10-11
    摘要 '7g]@Q7  
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    '(-H#D.oy'  
    q2s=>J';  
    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 !x! 1H5"  
    5!aI~(3<  
    建模任务 < <F  
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    观测倾斜平面 Y#+Ws0wN  
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    观测柱面 n5)ml)m  
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    XA;f.u  
    ;j qF:Wl@  
    观测球面 Wf-XH|j[  
    1 ^30]2'_  
    ym_as8A*Q  
    p'6XF{  
    走进VirtualLab Fusion (?TK P 7  
    ].2t7{64  
    w#ZzmO  
    ,*YmXR-"  
    VirtualLab Fusion的工作流程 [rW];H8:~  
     设置输入场 O#p_rfQ  
    - 基本光源模型 [教学视频] 7GS 4gSd3  
     使用表面构造真实元件 TY5R=jh=  
    ;?q}98-2  
     定义元件的位置和方向 HF"TS*  
    - LPD II:位置和方向 [教学视频] ZJm$7T)V  
     为非序列场追迹设置合适的通道 `)4v Q+A>  
    - 非序列场追迹的频道设置 [用例] 5 8 7;2  
    #9 Fk&Lx  
    r=SC bv  
    g'{?j~g  
    VirtualLab Fusion技术 )=`DEbT  
    uA;#*eiA/  
     
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