摘要
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E$; =*0w :O)\v!Z 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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Ig)h-w? 建模任务
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2Otd RyKsM. 观测倾斜平面
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z;@;jQ7 E!&A[TlX\ 观测柱面
]tL9 y< qP6]}Aj]
:2{6Pa(eg }$s#H{T! 观测球面
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O7%<( ;3OQgKI 走进VirtualLab Fusion
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}&Un8Rg"h %eB 0)' VirtualLab Fusion的工作流程
RiqYC3Ka 设置输入场
\:9dt8(-U - 基本
光源模型 [教学视频]
X@|'#% 使用表面构造真实元件
i,1=5@rw5 O-y/K2MC* 定义元件的位置和方向
G?CaCleG - LPD II:位置和方向 [教学视频]
qk;*$Q 为非序列场追迹设置合适的通道
2jV.\C k - 非序列场追迹的频道设置 [用例]
A!\ouKyayS DW&%"$2
L|.q19b* P&"8R VirtualLab Fusion技术
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