[培训]上海｜薄膜设计与镀膜工艺 2023年10月25（三）-27日（五） [复制链接]

特邀专家介绍 _mi(:s(  

图片:w800

3aK/5)4|B  
易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，研究生导师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 ,vN0Jpf}\8  
获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要 IQ9jTkW l  
随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 [
>pqf  
本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲 [+j39d.Q  
1. Essential Macleod软件介绍 o{QU?H5h  
1.1 介绍软件 P@RUopu,i  
1.2 创建一个简单的设计 Xy;!Q`h(  
1.3 绘图和制表来表示性能 8N58w)%7`  
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 :zL.dJwa  
1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） s</llJ$  
1.6 特定设计的公式技术 Nvef+L,v  
1.7 交互式绘图 p]7Gj&a  
2. 光学薄膜理论基础 tG{?  
2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 /
nX+*L}d/  
2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 TYs#v/)
I  
3. 材料管理 |B0.*te6  
3.1 材料模型 cuw3}4m%  
3.2 介质薄膜光学常数的提取 qtv>`:neB  
3.3 金属薄膜光学常数的提取 @3UVl^T  
3.4 基板光学常数的提取 uy,ySBY  
4. 光学薄膜设计优化方法 _`Abz2s  
4.1 参考波长与g $_.m<  
4.2 四分之一规则 .QhH!#Y2D  
4.3 导纳与导纳图 gw1| ?C  
4.4 斜入射光学导纳
R+s_uwS  
4.5 光学薄膜设计的进展 X> *o\   
4.6 Macleod软件的设计与优化功能 Gn ]%'lrg'  
4.6.1 优化目标设置 tv
_Cn w  
4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） >VAZ^kgi  
4.6.3 膜层锁定和链接 9t$%Tc#Z  
5. Essential Macleod中各个模块的应用 .%@=,+nqz  
5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 z~g7O4#  
5.2 光通信用窄带滤光片模拟 LX %8a^?;  
5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 Qbc62qFu!  
5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 kRk=8^."By  
5.5 如何在Function中编写脚本 \I\'c.$I.Y  
6. 光学薄膜系统案例 wFW2m  
6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 n.m6n*sf7  
6.2 仿生蛾眼/复眼结构等 u%#s_R  
6.3 Stack应用范例说明 y %k`  
7. 薄膜性能分析 oadlyqlw#  
7.1 电场分布 P80z@!  
7.2 公差与灵敏度分析 SZ
9xj^"g  
7.3 反演工程 dwc$?Bg,5  
7.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 by {G{M`X  
8. 真空技术 "~h.u  
8.1 常用真空泵介绍 328
(W  
8.2 真空密封和检漏 AJ;Y Nb  
9. 薄膜制备技术 |U_48
 
9.1 常见薄膜制备技术 1%L* 9>e  
10. 薄膜制备工艺 NLJD}{8Ot  
10.1 薄膜制备工艺因素 {PM)D [$i  
10.2 薄膜均匀性修正技术 lPS
A  
10.3 光学薄膜监控技术 MwxfTH"wi  
11. 激光薄膜 ;+-$=l3[a  
11.1 薄膜的损伤问题 }*n(RnCn  
11.2 激光薄膜的制备流程 -=E/_c;  
11.3 激光薄膜的制备技术 Ru?Ue4W^b  
12. 光学薄膜特性测量 }P$48o VY  
12.1 薄膜光谱测量 yaf&SR@7k{  
12.2 薄膜光学常数测量 'aB0abr|  
12.3 薄膜应力测量 NgKbf vt  
12.4 薄膜损伤测量 blZiz2F  
12.5 薄膜形貌、结构与组分分析内容简介 'JEZ;9}  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 h^P>pI~  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 `8F%bc54iw  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 Y2Mti-\  
r'hr'wZ  
#K7i<Bf  
W%09.bF  
目录 RB_7S!qC5  
Preface 1 /UjRuUC]  
内容简介 2 xPh%?j?*v  
目录 i xZ@H{):  
1  引言 1 Y*``C):K%  
2  光学薄膜基础 2 "b*.>QuZ  
2.1  一般规则 2 1h\:
Lj  
2.2  正交入射规则 3 Sv-}w$  
2.3  斜入射规则 6 [pbX_  
2.4  精确计算 7 -p>KFHj6  
2.5  相干性 8 xIF z@9+k  
2.6 参考文献 10 ]Bs ?  
3  Essential Macleod的快速预览 10 %^"Tz,f  
4  Essential Macleod的特点 32 vj
J!d#8  
4.1  容量和局限性 33 @Qx|!%  
4.2  程序在哪里？ 33 i^uC4S~  
4.3  数据文件 35 f?F i{m  
4.4  设计规则 35 o lNL|WJ`w  
4.5  材料数据库和资料库 37 >"F~%D<.  
4.5.1材料损失 38 }se)=7d8 Z  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 w\_NrsO!x  
4.5.2 材料库 41 Fm-W@  
4.5.3导出材料数据 43 2 <&-  
4.6  常用单位 43 PpGNA  
4.7  插值和外推法 46 $BE^'5G&4Y  
4.8  材料数据的平滑 50
g_] u<8&  
4.9 更多光学常数模型 54 6!bA~"N  
4.10  文档的一般编辑规则 55 -p ) l63  
4.11 撤销和重做 56 |.:O$/ Tt[  
4.12  设计文档 57 ;sNyN#  
4.10.1  公式 58 PZpwi?N  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 c6s(f  
4.10.3  沉积密度 59 S:vv*5  
4.10.4 平行和楔形介质 60 HtEjM|zj  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 N) 
{  
4.10.4  性能 61 *^c4q|G.-  
4.10.5  保存设计和性能 64 qB]z"Hfq,  
4.10.6  默认设计 64 HcHfwLin0  
4.11  图表 64 2O9dU 5b  
4.11.1  合并曲线图 67 X@9_ukdpu  
4.11.2  自适应绘制 68 yixW>W}  
4.11.3  动态绘图 68 =Mn!
[  
4.11.4  3D绘图 69 U3kf$nbV/J  
4.12  导入和导出 73 ^Sy\<  
4.12.1  剪贴板 73 8+gx?pb  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 An[*Jx  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 Jkm\{;  
4.13  背景 77 r'&9'rir2  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 um#;S;  
4.15  生成Rugate 84 ~JLqx/[|s  
4.16  参考文献 91 S;ulJ*qv  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 <?qmB}Y  
5.1  Jobs 92 D{'Na5(  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 L{^DZg|E  
5.3  输入材料 94 !kASEjFz|f  
5.4  设计数据文件夹 95 ]N=C%#ki!  
5.5  默认设计 95 o,\%c"mC  
6  细化和合成 97 O|y-nAZgU  
6.1  优化介绍 97 P603P  
6.2  细化 (Refinement) 98 CM5A-R90  
6.3  合成 (Synthesis) 100 a' #-%!]  
6.4  目标和评价函数 101 1uV_C[:  
6.4.1  目标输入 102 `Q(ac| 0  
6.4.2  目标 103 ;xB"D0~,1  
6.4.3  特殊的评价函数 104 <u2*(BM4  
6.5  层锁定和连接 104 [po+a@ %  
6.6  细化技术 104 0^E!P>  
6.6.1  单纯形 105 ` V^#Sb  
6.6.1.1 单纯形参数 106  _&(ij(H  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 +o'. !sRH  
6.6.2.1 Optimac参数 108 x
;Gyo  
6.6.3  模拟退火算法 109 K7f-g]Ibdn  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 )7j"OE  
6.6.4  共轭梯度 111 BLaXp0  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ejr"(m(Xe  
6.6.5  拟牛顿法 112 GE5@XT  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 &/JnAfmYqt  
6.6.6  针合成 113 ['R=@.  
6.6.6.1 针合成参数 114 Plq[Ml9  
6.6.7 差分进化 114 -|)[s[T~m  
6.6.8非局部细化 115 W^=8
9I4]  
6.6.8.1非局部细化参数 115 $}KYpSV  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 4uftx1o   
6.7.1 　细化 116 t91CxZQ^s  
6.7.2　 合成 117 `=KrV#/758  
6.8  参考文献 117 oC7#6W:@w  
7  导纳图及其他工具 118 b%PVF&C9W  
7.1  简介 118 A+F-r_]}db  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 E?9_i :IX  
7.2.1  四分之一波长规则 119 wj'iU&aca  
7.2.2  导纳图 120 e0$m
u?wd-  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 xrX("ili  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 so8-e  
7.5  斜入射导纳图 141 /Hx0=I  
7.6  对称周期 141 hYWWvJ)S  
7.7  参考文献 142 RDqC$Gu  
8  典型的镀膜实例 143 YKx0Zs  
8.1  单层抗反射薄膜 145 H~G=0_S  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 F_r eBPx  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 kcOpO<oE  
8.4  W-膜层 148 8U(a&G6gn  
8.5  V-膜层 149
l:|Fs=\  
8.6  V-膜层高折射基底 150 n9J>yud|  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 _:K}DU'6  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >b$<lo  
8.9  四层抗反射薄膜 153 <bjy<98LT  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 ]_pL79y  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 3)-#yOr  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 ttKfZ0  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 R|M:6]}   
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 (qG$u&  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 .X
E]vo  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 (,TO|  
8.17  1/4波长堆栈 162 PA=BNKlH  
8.18  陷波滤波器 163 \c\
=S  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #rC/y0niH  
8.20  褶皱 165 /<2_K4(-{4  
8.21  消偏振分光器1 169 ]e3nnS1*.  
8.22  消偏振分光器2 171 b;O+
QRa  
8.23  消偏振立体分光器 172 $_ i41f[  
8.24  消偏振截止滤光片 173 a,E;R$[!  
8.25  立体偏振分束器1 174 jFc{$#g-
 
8.26  立方偏振分束器2 177 s-ou;S3s  
8.27  相位延迟器 178 i:$g1  
8.28  红外截止器 179 zc{C+:3$^  
8.29  21层长波带通滤波器 180 Wm,,OioK  
8.30  49层长波带通滤波器 181 >@%!r  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ;'Q{ ywr  
8.32  47 红外截止器 183 GkC88l9z  
8.33  宽带通滤波器 184 !INr  
8.34  诱导透射滤波器 186 h P1|l  
8.35  诱导透射滤波器2 188 Rta P+6'X  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 \wCL)t.cX  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 aF=VJ+5  
8.35  增益平坦滤波器 193 :W&\})  
8.38  啁啾反射镜 1 196 h`Mf;'P  
8.39  啁啾反射镜2 198 `WT7w']NT  
8.40  啁啾反射镜3 199 Q4PXC$u  
8.41  带保护层的铝膜层 200 wf4Q}l2,d  
8.42  增加铝反射率膜 201 {8MF!CG]  
8.43  参考文献 202 G~]BC#nB_  
9  多层膜 204 b2Hpuej  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 O(d'8`8  
9.2  内部透过率 204 ;@ e|}Gk  
9.3 内部透射率数据 205 0#7dm9  
9.4  实例 206 -5[GX
3h0  
9.5  实例2 210 6\K)\  
9.6  圆锥和带宽计算 212 vKC>t95  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 ?xet:#R'  
10  光学薄膜的颜色 216 hMQ
aT-v  
10.1  导言 216 lrzW H0Q  
10.2  色彩 216 rij[ZrJ  
10.3  主波长和纯度 220 t|m3b~Oyv  
10.4  色相和纯度 221 Ame%:K!t  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 *8p</Q  
10.6 色差 226 S`G\Cd;5  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 WKf~K4BL>  
10.8  颜色渲染指数 234 [ n2udV  
10.9  色差计算 235 v+G:,Tc"  
10.10  参考文献 236 ?1uAY.~ZZB  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 q|l|gY1g)  
11.1  短脉冲 238 1
W u  
11.2  群速度 239 D/WS  
11.3  群速度色散 241 i@* ^]'
  
11.4  啁啾(chirped) 245 L7-n
PH  
11.5  光学薄膜—相变 245 ?zEF?LJoK  
11.6  群延迟和延迟色散 246 SXEiyy[7v  
11.7  色度色散 246 7E95"B&w  
11.8  色散补偿 249 H.L@]~AyL  
11.9  空间光线偏移 256 {E/TC%  
11.10  参考文献 258 qAS^5|(b[  
12  公差与误差 260 +0 MKh  
12.1  蒙特卡罗模型 260 m C Ge*V}  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Y"qY@`  
12.2.1  误差工具 267 J.nq[/
Q=  
12.2.2  灵敏度工具 271 q1y4B`  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 &; \v_5N6  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 f#5JAR  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276  Z-@}~#E  
12.3  参考文献 276 d%3BJ+J  
13  Runsheet 与Simulator 277 l5FQ!>IM  
13.1  原理介绍 277 Z3dd9m#.]  
13.2  截止滤光片设计 277 ^|C|=q~:  
14  光学常数提取 289 R5"p7>  
14.1  介绍 289 G$ FBx  
14.2  电介质薄膜 289 o3=kF  
14.3  n 和k 的提取工具 295 `?x$J 6p  
14.4  基底的参数提取 302 >Il`AR;D  
14.5  金属的参数提取 306
l i-YkaP  
14.6  不正确的模型 306 wY#mL1dF  
14.7  参考文献 311 AX+d?M  
15  反演工程 313  >9`ep7  
15.1  随机性和系统性 313 WFP\;(YV  
15.2  常见的系统性问题 314 lG9ARRy(=  
15.3  单层膜 314 )*
ckJK  
15.4  多层膜 314 {O)&5  
15.5  含义 319 M-N2>i#  
15.6  反演工程实例 319 !Yu-a!  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1 1CJT  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 Gq/6{eRo\  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 .h,xBT`}Ji  
16.1  光学性质的热致偏移 329 9#ft;c  
16.2  应力工具 335 \aIy68rH,  
16.3  均匀性误差 339 }eM<A$J  
16.3.1  圆锥工具 339 $0T"YC%  
16.3.2  波前问题 341 &F_rg,q&_  
16.4  参考文献 343 7-I>53@  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 I})
t  
17.1  引言 345 ,rQ)TT  
17.2  操作数 345 z :v, Vu  
18  如何在Function中编写脚本 351 Ky#B'Bh}`g  
18.1  简介 351 p^P y,  
18.2  什么是脚本？ 351 5Q`n6x|  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 ?(yFwR,(  
18.4  基础 352 |+-i'N9  
18.4.1  Classes（类别） 352 D'cY7P  
18.4.2  对象 352 ; ,jLtl  
18.4.3  信息（Messages） 352 V(LFH9.Mp  
18.4.4  属性 352 u=o"^  
18.4.5  方法 353 !m(L0YH  
18.4.6  变量声明 353 *`Xx_  
18.5  创建对象 354 mo
[<4Uks  
18.5.1  创建对象函数 355 )C]&ui~1  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 Ch"8cl;Fm  
18.5.3 丢弃对象 356 JZ/O0PW  
18.5.4  总结 356 [P=[hj;  
18.6  脚本中的表格 357 2Fgt)`{!  
18.6.1  方法1 357 (M,VwwN  
18.6.2  方法2 357 ApYud?0b  
18.7 2D Plots in Scripts 358 qO{ ZZ*  
18.8 3D Plots in Scripts 359 %aBJ+V F  
18.9  注释 360 ggc?J<Dv  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360  x9"4vp  
18.11  一个更高级的脚本 362 ;+34g6  
18.12  <esc>键 364 _/~ ,a  
18.13 包含文件 365 9,f<Nb(\  
18.14  脚本被优化调用 366 'QojSq   
18.15  脚本中的对话框 368 Y{vwOs  
18.15.1  介绍 368 Q4Fq=kTE  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 1]Q2qs  
18.15.3  输入框函数 370 Du:p!nO  
18.15.4  自定义对话框 371 5}bZs` C  
18.15.5  对话框编辑器 371 ?%/u/*9rj  
18.15.6  控制对话框 377 ywynx<Wg  
18.15.7  更高级的对话框 380 ~vSAnjeR  
18.16 Types语句 384 V!77YFen %  
18.17 打开文件 385 F] ?@X  
18.18 Bags 387
aq+IC@O  
18.13  进一步研究 388 yISQYvSN  
19  vStack 389 E? eWv)//  
19.1  vStack基本原理 389 1"&;1Ts  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 3'*%R48P`  
19.3  五棱镜 393 Ocwp]Mut&  
19.4 光束距离 396 b>=Wq  
19.5 误差 399 Ldhk^/+  
19.6  二向分色棱镜 399 2FIR]@MQd  
19.7  偏振泄漏 404 E<Dh_K  
19.8  波前误差—相位 405 }"?nU4q;S  
19.9  其它计算参数 405 51G=RYay9  
20  报表生成器 406 fA_%8CjI  
20.1  入门 406 KBw9(  
20.2  指令(Instructions) 406 R G0S
  
20.3  页面布局指令 406 }PQSCl^I  
20.4  常见的参数图和三维图 407 PN"8 Y  
20.5  表格中的常见参数 408 4Kn9*V  
20.6  迭代指令 408 sCtw30BL  
20.7  报表模版 408 3<Z'F}lg  
20.8  开始设计一个报表模版 409 ]TBtLU3  
21  一个新的project 413 mw(c[.
*%  
21.1  创建一个新Job 414 5rmlAq  
21.2  默认设计 415 {!}F :~*r  
21.3  薄膜设计 416 m io1kDq<  
21.4  误差的灵敏度计算 420 :
Wg-@d  
21.5  显色指数计算 422 ?QMclzh*-  
21.6  电场分布 424 )nNCB=YF!  
后记 426 =,4 '"  
YWRE
&MQ_  
0SMQDs5j  
书籍名称：《Essential Macleod中文手册》 ~llMrl7  
t1w2u.]  
《Essential Macleod中文手册》 4W!\4Va  
+~ 3w5.8  
目  录 d]CviQUq  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 z$c&=Q  
第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 3WCqKXJ7  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 L$lo~7<]  
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 }F{C= l2  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 ,2,SG/BB  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 6Lg!Lodu  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 =! N _^cb  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 U=F-]lD  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 F?b'L JS  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 <TR/ `  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 NtY*sUKRD  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 _{e&@d  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 CF|moc:;  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 ~v2V`lxh  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 {_zV5V  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 g\o{}Q%X  
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价  格：400元