[培训]上海｜薄膜设计与镀膜工艺 2023年10月25（三）-27日（五） [复制链接]

特邀专家介绍 d*(Bs$De  
$<% nt  
易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，研究生导师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。 {!Z_&i5  
获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。课程概要 PjZvLK@a9)  
随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。 !enz05VW6.  
本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。课程大纲 by<@Zwtf  
1. Essential Macleod软件介绍 QR$sIu@%  
1.1 介绍软件 *"sDaN0@R  
1.2 创建一个简单的设计 A?k,}~  
1.3 绘图和制表来表示性能 JU1; /3(  
1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据 Zw 8b -_  
1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） X&oy.Roo  
1.6 特定设计的公式技术 WzbN=& C]h  
1.7 交互式绘图 M]TVaN$v#  
2. 光学薄膜理论基础 9}$dwl(  
2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 Prx s2 i 8  
2.2 后表面对光学薄膜特性的影响 tU/NwA"  
3. 材料管理 f8jz49C  
3.1 材料模型 6-}e-H  
3.2 介质薄膜光学常数的提取 J$*["y`+  
3.3 金属薄膜光学常数的提取 L\CM);y  
3.4 基板光学常数的提取 Dx*oSP.qX  
4. 光学薄膜设计优化方法 vUx$[/<  
4.1 参考波长与g /M `y LI  
4.2 四分之一规则 @_ZW
P  
4.3 导纳与导纳图 6v)eM=   
4.4 斜入射光学导纳 >Mw =}g@P  
4.5 光学薄膜设计的进展 b=\3N3OX  
4.6 Macleod软件的设计与优化功能 :Zo2@8@7  
4.6.1 优化目标设置 QnLgP7Ft  
4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法） Mt
THKp  
4.6.3 膜层锁定和链接 `9{C/qB  
5. Essential Macleod中各个模块的应用 k r^#B^  
5.1 非平行平面镀膜-棱镜镀膜透反吞吐量评估 0%j;yzQ<  
5.2 光通信用窄带滤光片模拟 abP?D
j&  
5.3 光控机器设置显示镀膜过程中预期的监测信号 48rYs}  
5.4 镀膜沉积过程噪声信号模拟 ,.MG&O  
5.5 如何在Function中编写脚本 vg1s5Yqk  
6. 光学薄膜系统案例 )?y"NVc*  
6.1 常规光学薄膜案例-高反、增透、滤光片等 ^@"f%3  
6.2 仿生蛾眼/复眼结构等 z4:09!o_  
6.3 Stack应用范例说明 2;r^~:  
7. 薄膜性能分析 cty#@?"e  
7.1 电场分布 jF85bb$  
7.2 公差与灵敏度分析 S9055`v5  
7.3 反演工程 Ps4A B#3  
7.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真 qqred>K  
8. 真空技术 98nLj9  
8.1 常用真空泵介绍 Q 5TyS8  
8.2 真空密封和检漏 Mn;CG'FA  
9. 薄膜制备技术 _Fy:3,(  
9.1 常见薄膜制备技术 9 NSYrIQ"  
10. 薄膜制备工艺 }gaKO 5  
10.1 薄膜制备工艺因素 !&%bl  
10.2 薄膜均匀性修正技术 o%Q2.  
10.3 光学薄膜监控技术 RM$S|y{L  
11. 激光薄膜 scwlW b<N  
11.1 薄膜的损伤问题 B%;
+8]  
11.2 激光薄膜的制备流程 0k]N%!U  
11.3 激光薄膜的制备技术 4yy yXj  
12. 光学薄膜特性测量 ~,1X>N"
  
12.1 薄膜光谱测量 kIo?<=F8T  
12.2 薄膜光学常数测量 ]HT>-Ba;{h  
12.3 薄膜应力测量 o:ob1G[p%  
12.4 薄膜损伤测量 Gl1$W=pR:  
12.5 薄膜形貌、结构与组分分析内容简介 R_DQtLI  
Macleod软件自带的用户手册功能全面，其介绍涵盖了软件的方方面面，能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而，为了顺应目前薄膜行业的需求，急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍，以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作，因此，我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C,.{y`s'  
《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》（原著第二版）是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结，结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod，其内容丰富，实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法，还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题，如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节，首先，从光学薄膜的基本理论出发（第2章），为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次，在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作，以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后，从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合，从而使大家将理论知识与实际经验结合起来，对实际镀膜提出实用的建议，以减少设计时间并降低生产成本。 Mt0|`=64  
薄膜光学涵盖范围很广，书中并附设计光盘和参考文献，有兴趣者可依此深入研究，为精准起见，在不影响理解的情况下，尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助，通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限，书中错误纰漏之处在所难免，本书若有不周之处，尚请读者不吝赐教。 |8ZAE%/d  
u{G6xuPWf  
CcETS}Q0C  
EJY:C9W  
目录 BtZm_SeA  
Preface 1 cn{l %6K  
内容简介 2 Q"uu&JC  
目录 i B`Pi\1H6%  
1  引言 1 {.W%m  
2  光学薄膜基础 2 UQr+\ u  
2.1  一般规则 2 yB[LO(i  
2.2  正交入射规则 3 cH ?]uu(  
2.3  斜入射规则 6 <{j
9|mt  
2.4  精确计算 7 e@YR/I8my  
2.5  相干性 8 =z.AQe+  
2.6 参考文献 10 'KG`{K$  
3  Essential Macleod的快速预览 10 V4D&&0&n  
4  Essential Macleod的特点 32 :{<HiJdp  
4.1  容量和局限性 33 ^jA}*YP  
4.2  程序在哪里？ 33 a[De  
4.3  数据文件 35 gUQCKNw  
4.4  设计规则 35 ~.tu#Y?  
4.5  材料数据库和资料库 37 B[h9epU]K  
4.5.1材料损失 38 dno*Usx5d0  
4.5.1材料数据库和导入材料 39 Atw^C+"vW&  
4.5.2 材料库 41 =r8(9:F!  
4.5.3导出材料数据 43 54&2SU$kx  
4.6  常用单位 43 Joj
8'  
4.7  插值和外推法 46 /8R1$7  
4.8  材料数据的平滑 50 '@bA_F(  
4.9 更多光学常数模型 54 2{\Y<%.  
4.10  文档的一般编辑规则 55 %yVZ|d*Q  
4.11 撤销和重做 56 llJ)u!=5  
4.12  设计文档 57 __[q`  
4.10.1  公式 58 L3\{{QOA  
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 F9" K  
4.10.3  沉积密度 59 q\<vCKI-^  
4.10.4 平行和楔形介质 60 suwj1qYJ4  
4.10.5  渐变折射率和散射层 60 ~@bKQ>Xw  
4.10.4  性能 61 ^4:= b  
4.10.5  保存设计和性能 64 k:.c(_2M  
4.10.6  默认设计 64 e2Dj%=`EU  
4.11  图表 64 dewu@  
4.11.1  合并曲线图 67 ]]4E)j8  
4.11.2  自适应绘制 68 B~IOM  
4.11.3  动态绘图 68 fA^O  
4.11.4  3D绘图 69 R<)uvW_@  
4.12  导入和导出 73 s zg1.&  
4.12.1  剪贴板 73 Qt$Q/<8U  
4.12.2  不通过剪贴板导入 76 I/l]Yv!  
4.12.3  不通过剪贴板导出 76 tKs0]8tc  
4.13  背景 77 S3m+(N"&  
4.14  扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 $- L)>"  
4.15  生成Rugate 84 K!X8KPo  
4.16  参考文献 91 KpL82  
5  在Essential Macleod中建立一个Job 92 5+r#]^eQY-  
5.1  Jobs 92 wpvaTHo  
5.2  创建一个新Job（工作） 93 |^{IHF\  
5.3  输入材料 94 STM
c
Mm3  
5.4  设计数据文件夹 95 {+MMqJCa  
5.5  默认设计 95 :?TV6M  
6  细化和合成 97 ~zx
-'sc?  
6.1  优化介绍 97 C-7.Sa  
6.2  细化 (Refinement) 98 M;OYh  
6.3  合成 (Synthesis) 100 C~B^sG@;  
6.4  目标和评价函数 101 q$K~BgFzpZ  
6.4.1  目标输入 102 0M"E6z)9  
6.4.2  目标 103 H>B:jJf  
6.4.3  特殊的评价函数 104 x]:mc%4-Z  
6.5  层锁定和连接 104 x;I*Ho  
6.6  细化技术 104 UkUdpZ.[il  
6.6.1  单纯形 105 k"6^gup(U  
6.6.1.1 单纯形参数 106 C>HUG  
6.6.2  最佳参数(Optimac) 107 .d2s4q\  
6.6.2.1 Optimac参数 108 g8C+j6uR0  
6.6.3  模拟退火算法 109 BB-`=X~:m  
6.6.3.1　模拟退火参数 109 rRMC<.=  
6.6.4  共轭梯度 111 $]9d((u4  
6.6.4.1 共轭梯度参数 111 2Y,s58F  
6.6.5  拟牛顿法 112 qxq ~9\My  
6.6.5.1 拟牛顿参数： 112 h*Ej}_  
6.6.6  针合成 113 i^8Zp;O"f  
6.6.6.1 针合成参数 114 #Jn_"cCRLx  
6.6.7 差分进化 114 pq@ad\8  
6.6.8非局部细化 115 X*b0qJ Z  
6.6.8.1非局部细化参数 115 +XQ6KG&  
6.7  我应该使用哪种技术？ 116 -Fb/GZt|  
6.7.1 　细化 116 i9\Pks#l%  
6.7.2　 合成 117 R_lNC]b0  
6.8  参考文献 117 7YsFe6D"  
7  导纳图及其他工具 118 ^E9@L??  
7.1  简介 118 (C!fIRY  
7.2  薄膜作为导纳的变换 118 xKxWtZ0  
7.2.1  四分之一波长规则 119 PW}Yts7p  
7.2.2  导纳图 120 L%"&_v#a^  
7.3  用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 `VHm,g2  
7.4  全介质抗反射薄膜中的应用 125 '=oV  
7.5  斜入射导纳图 141 Jyd%!v  
7.6  对称周期 141 d{0>R{u
ac  
7.7  参考文献 142 Ys\l[$_`*  
8  典型的镀膜实例 143 7Kn=[2J5k'  
8.1  单层抗反射薄膜 145 LNj|t)Ov  
8.2  1/4-1/4抗反射薄膜 146 3vy5JTCz~  
8.3  1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 @sVBG']p  
8.4  W-膜层 148 h7g9:10  
8.5  V-膜层 149 <#c2Hg%jh  
8.6  V-膜层高折射基底 150 Z*JZUbo-Q  
8.7  V-膜层高折射率基底b 151 o;"!#Z 1SJ  
8.8  高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 @x)z" )>  
8.9  四层抗反射薄膜 153 Dhq7qz  
8.10  Reichert抗反射薄膜 154 %o5GD  
8.11  可见光和1.06 抗反射薄膜 155 7n#0eska,  
8.12  六层宽带抗反射薄膜 156 1j}o.0\  
8.13  宽波段八层抗反射薄膜 157 VRD2e ,K  
8.14  宽波段25层抗反射薄膜 158 $u>^A<TBN  
8.15十五层宽带抗反射膜 159 e Q0bx&  
8.16  四层2-1 抗反射薄膜 161 &fW;;>  
8.17  1/4波长堆栈 162 [}FP_Su$6  
8.18  陷波滤波器 163 Jg7IGU(dct  
8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?9AByg  
8.20  褶皱 165 'Y[\[]3[8  
8.21  消偏振分光器1 169 eM8u
;i  
8.22  消偏振分光器2 171 pnf3YuB  
8.23  消偏振立体分光器 172 WC`<N4g|  
8.24  消偏振截止滤光片 173 A M# '(k(  
8.25  立体偏振分束器1 174 F7mzBrz  
8.26  立方偏振分束器2 177 ?Hq`*I?b9  
8.27  相位延迟器 178 :kgwKuhL  
8.28  红外截止器 179 JBuorc  
8.29  21层长波带通滤波器 180 y1P?A]v  
8.30  49层长波带通滤波器 181 B [03,zVf  
8.31  55层短波带通滤波器 182 ?vvjwys@  
8.32  47 红外截止器 183 <;=X7l+  
8.33  宽带通滤波器 184 T1D7H~\lG  
8.34  诱导透射滤波器 186 K2NnA  
8.35  诱导透射滤波器2 188 puDy&T  
8.36  简单密集型光波复用（DWDM）滤波器 190 iHTxD1D+H  
8.37  高级密集型光波复用技术（DWDM）滤波器 192 <>p\9rVp*^  
8.35  增益平坦滤波器 193 Q5baY\"9^  
8.38  啁啾反射镜 1 196 GAQVeL1  
8.39  啁啾反射镜2 198 l'c|I &Y]  
8.40  啁啾反射镜3 199 7kleBDDT  
8.41  带保护层的铝膜层 200 .0Cpqn,[  
8.42  增加铝反射率膜 201 ^M8\ 3G  
8.43  参考文献 202 +i{&"o4}  
9  多层膜 204 9-9`;Z  
9.1  多层膜基本原理—堆栈 204 7HFw*;  
9.2  内部透过率 204 )KkA<O}f  
9.3 内部透射率数据 205 sA:0b5_a  
9.4  实例 206 Z#d_<e?  
9.5  实例2 210 g(|p/%H  
9.6  圆锥和带宽计算 212 *pj&^W?  
9.7  在Design中加入堆栈进行计算 214 4uD!-1LT@  
10  光学薄膜的颜色 216 XYf;72*  
10.1  导言 216 Ktg6*L/  
10.2  色彩 216 !Il<'+ ^  
10.3  主波长和纯度 220 n&k1'KL&  
10.4  色相和纯度 221 5
q@o,d  
10.5  薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 i $#bg^  
10.6 色差 226 3]/w3|y  
10.7  Essential Macleod中的色彩计算 227 ,f4Hl%T;  
10.8  颜色渲染指数 234 ?2QssfB  
10.9  色差计算 235 vA"yy"B+ V  
10.10  参考文献 236 cy%^P^M  
11  镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9qW^@5
m  
11.1  短脉冲 238 -&%#R_RV  
11.2  群速度 239 & Z*&&  
11.3  群速度色散 241 3<#4  
11.4  啁啾(chirped) 245 N(6|TE2  
11.5  光学薄膜—相变 245 nQb{/ TqC'  
11.6  群延迟和延迟色散 246 3/P
2&m  
11.7  色度色散 246 ps^Z)x`GV  
11.8  色散补偿 249 t d-EB&i\  
11.9  空间光线偏移 256 k oZqo
P  
11.10  参考文献 258 8.F]&D0p8  
12  公差与误差 260 E*i <P  
12.1  蒙特卡罗模型 260 ,accw}G  
12.2  Essential Macleod 中的误差分析工具 267 vaS/WEY  
12.2.1  误差工具 267 BPwFcT)i!(  
12.2.2  灵敏度工具 271 -"#;U`.oh7  
12.2.2.1 独立灵敏度 271 cea%M3  
12.2.2.2 灵敏度分布 275 ['e8Xz0  
12.2.3  Simulator—更高级的模型 276 _T)dm
hG  
12.3  参考文献 276 >ouHR*  
13  Runsheet 与Simulator 277 ]F
L=E3U  
13.1  原理介绍 277 7J.alV4`/  
13.2  截止滤光片设计 277 CZuV{Oh}?  
14  光学常数提取 289 Ws{2+G~  
14.1  介绍 289 Tz:mj  
14.2  电介质薄膜 289 u#ag|b/C:  
14.3  n 和k 的提取工具 295 oX8e}  
14.4  基底的参数提取 302 cEhwv0f!qS  
14.5  金属的参数提取 306 ?1JS*LQ$  
14.6  不正确的模型 306 ,=.&  
14.7  参考文献 311 VMe~aUd  
15  反演工程 313 &Vd,{JU  
15.1  随机性和系统性 313 i9 8T+{4  
15.2  常见的系统性问题 314 2<y!3OeN  
15.3  单层膜 314 ZEiW\ V  
15.4  多层膜 314 @Q 8E)k@  
15.5  含义 319 [f!sBJ!  
15.6  反演工程实例 319 ]SA]{id+  
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ckHHD|  
15.6.2 反演工程提取折射率 327 ^/h,C^/;  
16  应力、张力、温度和均匀性工具 329 tH`!?  
16.1  光学性质的热致偏移 329 9|jk=`4UK  
16.2  应力工具 335 I&,gCZ#  
16.3  均匀性误差 339 )`, Bt  
16.3.1  圆锥工具 339 %ZDo;l+<F6  
16.3.2  波前问题 341 `%SFu  
16.4  参考文献 343 y 4j0nF  
17  如何在Function（模块）中编写操作数 345 \=P+]9  
17.1  引言 345 oj/,vO:QT  
17.2  操作数 345 1O"7%Pvw  
18  如何在Function中编写脚本 351 MdV-;uf  
18.1  简介 351 &!x!j,nT  
18.2  什么是脚本？ 351 \#?n'qyj  
18.3  Function中脚本和操作数对比 351 9TuE.  
18.4  基础 352 p(g0+.?`~  
18.4.1  Classes（类别） 352 -Jr6aai3+  
18.4.2  对象 352 p(-f$Q(  
18.4.3  信息（Messages） 352 Vv8e"S  
18.4.4  属性 352 p~vq1D6  
18.4.5  方法 353 cy%JJ)sf  
18.4.6  变量声明 353 @*`9!K%  
18.5  创建对象 354 aY&He~  
18.5.1  创建对象函数 355 Q ;V `  
18.5.2  使用ThisSession和其它对象 355 EZlcpCS  
18.5.3 丢弃对象 356 _BHR ?I[w  
18.5.4  总结 356 Ou/JN+2A  
18.6  脚本中的表格 357 ~M7 J{hK  
18.6.1  方法1 357 +KGZk?%
  
18.6.2  方法2 357 zkHwoAD;t8  
18.7 2D Plots in Scripts 358 kGR5!8$z  
18.8 3D Plots in Scripts 359 V4@HIM  
18.9  注释 360 {ULyB$\-  
18.10  脚本管理器调用Scripts 360 2mg4*Y
s  
18.11  一个更高级的脚本 362 1iyd{r7|  
18.12  <esc>键 364 %%5K%z,R#  
18.13 包含文件 365 X
k8+  
18.14  脚本被优化调用 366 MY1s  
18.15  脚本中的对话框 368 
c 4xh  
18.15.1  介绍 368 qw={gZ  
18.15.2  消息框-MsgBox 368 9)N/J\b  
18.15.3  输入框函数 370 iU]py  
18.15.4  自定义对话框 371 yyCx;  
18.15.5  对话框编辑器 371 9U$n;uA  
18.15.6  控制对话框 377 A&u"NgJ  
18.15.7  更高级的对话框 380 j[2?}?  
18.16 Types语句 384 l8rBp
87Q  
18.17 打开文件 385 *ElR  
18.18 Bags 387 YbjeM6#E  
18.13  进一步研究 388 "9mJ$us  
19  vStack 389 s"G;rcS}#  
19.1  vStack基本原理 389 KFd !wZ@e  
19.2  一个简单的系统——直角棱镜 391 =I. b2e1z  
19.3  五棱镜 393 :wtr{,9rZ  
19.4 光束距离 396 'o
NY4.[  
19.5 误差 399 5[NF  
19.6  二向分色棱镜 399 $$QbcnOf$  
19.7  偏振泄漏 404 PgZeDUPP  
19.8  波前误差—相位 405 =73""ry  
19.9  其它计算参数 405 9*wS}A&Jh  
20  报表生成器 406 rWk4)+Tk  
20.1  入门 406 -OY[x|0  
20.2  指令(Instructions) 406 E5@U~|V[  
20.3  页面布局指令 406 eF)vx{s  
20.4  常见的参数图和三维图 407 tS!|#h-J  
20.5  表格中的常见参数 408 &Xw{%Rg  
20.6  迭代指令 408 >:7W.QLRU  
20.7  报表模版 408 96M?tTa  
20.8  开始设计一个报表模版 409 ^3`CP4DT  
21  一个新的project 413 U-+%e:v  
21.1  创建一个新Job 414 }ti+tM*  
21.2  默认设计 415 M`{x*qR  
21.3  薄膜设计 416 zSs5F_  
21.4  误差的灵敏度计算 420 )<W6cDx'H+  
21.5  显色指数计算 422 &}sC8,Sr  
21.6  电场分布 424 2x3'm  
后记 426 &Z Ja}5k!r  
erG@8CG  
GS1Vcav<  
书籍名称：《Essential Macleod中文手册》 f?xc-lX5R  
JUBihw4  
《Essential Macleod中文手册》 hN% h.
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目  录 K.CwtUt`54  
ESSENTIAL MACLEOD光学薄膜设计与分析 TM_ MJp  
第1章 介绍 ..........................................................1第2章 软件安装 ..................................................... 3 GUUVE@Z  
第3章 软件快速浏览 ....................................................... 6第4章 软件中的约定 ......................................................... 17 >C|/%$kk:f  
第5章 软件结构 ............................................................... 21第6章 应用窗口 ................................................................. 44 5$SO  
第7章 设计窗口 .................................................................. 62第8章 图形窗口 .................................................................. 100 QC+oSb!!?  
第9章 3D图形窗口 .................................................................. 106第10章 激活的图形窗口 .................................................... 111 cZnB 2T?  
第11章 表格窗口 ................................................................. 116第12章 优化和综合 ..................................................................120 r
+X%0@K  
第13章 材料管理 ........................................................................ 149第14章 多层膜 ........................................................................... 167 ]F&<{\:_}  
第15章 分析和设计工具 ........................................................180第16章 逆向工程 ................................................................ 200 0:<dj:%M  
第17章 报告生成器 ............................................................. 208第18章 堆栈 ......................................................................... 213 \A-w,]9^V  
第19章 功能扩展 .................................................................. 229第20章 运行表单 .................................................................... 251 P
<@Yux#  
第21章 模拟器 ...................................................................... 271第22章 DWDM助手 ............................................................. 284 3W*O%9t7  
第23章 MONITORLINK for EDDY LMC-10 .................................... 289第24章 MONITORLINK for INFICON XTC .......................................... 297 pfCNFF*"  
第25章 MONITORLINK for LEYCOM IV with OMS3000 ..............301第26章 MONITORLINK for Sycon STC .................................................307 dL9QYIfP  
第27章 MONITORLINK for SC Technology 820 ..................................... 311第28章 MONITORLINK for APPLIED VISION PLASMACOAT ............... 312 x@EEMO1_"  
第29章 软件授权(License)系统 ............................................................... 316 71GLqn?  
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价  格：400元