摘要
Z'GOp? H^Xw<Z= 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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@A6\v+ih _ Z6/r^c 设计任务
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CF^7 {g(y_ )J_!ZpMC 仅位相透射设计(IFTA)
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d{0w4_x >qx~m>2|8] 超表面晶胞分析
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'N5qX>Ob NV;5T3 构建超光栅
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6!bA~"N -p ) l63 初始超表面设计的评估
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fB"3R-H?O T]EXm/ 参数优化
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;lX:EU z.Y7 u3K.8 优化超光栅设计的评估
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'[Oi_gE. g,y`[dr VirtualLab Fusion的工作流程
.1I];Cy0D 分析超表面晶胞
e^&YQl - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
RO wbzA)]r 构造超光栅
lbg6n:@ 分析光栅衍射效率
B[4y(Im - 光栅级次分析 [用例]
bq[Q 光栅
结构参数优化
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1V+1i)+ bHS2;K~ VirtualLab Fusion技术
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