摘要
\g}]u(zg% h^3gYL7O6 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
}*:3] m+c-"arIpA sfXFh F6\{gQ<E 设计任务
B;9,Qbb f+Y4~k digc7;8L o 4F'z 仅位相透射设计(IFTA)
zhn?;Fi }1#m+ (; `J.,dqGb qDdO-fPev 仅位相透射设计(IFTA)
[> HKRVy =KPmZ ,/w
)@wC6Ij -`L`kL< 超表面晶胞分析
Ks.b).fH 07 LyB\l~ _o~ pVBl/ Mq>
4! 构建超光栅
@\by`3*Q 7By7F:[ b o5Oig Rpn<"LIoB: 初始超表面设计的评估
R~g|w4a@sC #49l\>1z $?GggP d tc~gn!" 参数优化
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O@ 优化超光栅设计的评估
mEY#QN[eq 5IU!BQU R_EU|a H!;N0",]N 走进VirtualLab
8qe[x\,"8 )\+Imn y [Vd*8 h"[B zX VirtualLab Fusion的工作流程
$0Y`>3 分析超表面晶胞
A{_CU-, - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
S1=P-Ao 构造超光栅
n.+*_c8 k 分析光栅衍射效率
C%4ed# - 光栅级次分析 [用例]
HI5NWdfRl 光栅
结构参数优化
24wDnDyh 2s}S9 kff N0(MR TuwP'g[ VirtualLab Fusion技术
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