摘要
{549&]/o p'k stiB 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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<Xy8}Z`s Kggf!\MR8 设计任务
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6Ep ns s Dr`\ 仅位相透射设计(IFTA)
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HC{|D>x. 8.pz?{**T 超表面晶胞分析
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WKah$l Qmn5umd=?\ 构建超光栅
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tbBL$[ 2jhVmK 初始超表面设计的评估
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#Ejly2C, 5)nv 参数优化
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`|/|ej]$P Hzj*X}X#K 优化超光栅设计的评估
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4X\*kF% VuPET 走进VirtualLab
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NDg]s2T <>e<Xd:77{ VirtualLab Fusion的工作流程
Dq?2mXOqD 分析超表面晶胞
2ga}d5lu - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
=#V11j 构造超光栅
<Z__Q 分析光栅衍射效率
u]2k %TUY - 光栅级次分析 [用例]
u!-eP7;7 光栅
结构参数优化
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B.G!7>= &q<8tTW5 VirtualLab Fusion技术
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