摘要
RU=%yk-gM +8M{y D9# 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
~m7+^c@, ,U}8(D~: #A!0KN;GC2 yyc&'J 设计任务
ff0,K#- *O~D lf d<o =RA6 p 仅位相透射设计(IFTA)
e]QkZg2?Yn ?9:\1)] AO6;aT @u^Ib33 仅位相透射设计(IFTA)
rk|6!kry M%/D:0 y3#\mBiw $1e@3mzM 超表面晶胞分析
6x 0>E^~ j^gF~Wz^ ;
OsN^ ?k#%AM 构建超光栅
@cON"( ;1KhUf;&F ?~!h
N,h Xp'KQ1w) 初始超表面设计的评估
99 ["I: 04s N4C 2.6,c$2tB hRP0Djc 参数优化
-Je+7#P1 Xe5J zMa`olTZ o}T]f(>} 优化超光栅设计的评估
m2;%|QE( fqcyCu7Ep er53?z7zP. 7
ir T6O<. 走进VirtualLab
_u>+H# |k8;[+ m>iuy:ti R{T4AZ@,' VirtualLab Fusion的工作流程
_7Z$" 分析超表面晶胞
*
08LW|:, - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
g$A1*<+ 构造超光栅
KT3[{lr 分析光栅衍射效率
0xC!d-VIJ - 光栅级次分析 [用例]
b`^$2RM& 光栅
结构参数优化
w:qwU\U>x +/ #J]v- r@_;L> G^+0</Q VirtualLab Fusion技术
L9x,G! `q F:rQ