摘要
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! 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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Ybo:2e Z:9xf:g* 设计任务
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MwbXZb{#"= >W Tn4SW@ 仅位相透射设计(IFTA)
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OGW,[k=2{ vy&'A$ H 仅位相透射设计(IFTA)
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pURtk-Fr2 g27 iE 超表面晶胞分析
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{Tx"G9 \#Md3!MG 构建超光栅
8J|2b; Vf rlxZ,]ul
b9nTg J5dwd,FQ 初始超表面设计的评估
kjAARW Z~R7 G
HiAj3 slUnB6@Q 参数优化
WH|TdU$V jW]Q-
`C pfQP&^ `Iwl\x[A 优化超光栅设计的评估
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'q>2WP|UY9 a]H&k$!c 走进VirtualLab
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?D>%+rK8c ~jz!jF~I VirtualLab Fusion的工作流程
1t+uMhy*y 分析超表面晶胞
/{6&99SJcc - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
1S[4@rZ 构造超光栅
|P_voht 分析光栅衍射效率
>]{{5oOQ> - 光栅级次分析 [用例]
\/XU v( 光栅
结构参数优化
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R-1s
h2jrO9 ,FIG5-e,} VirtualLab Fusion技术
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