摘要
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vr|] \8 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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cb}"giXQTB "rv~I_zl 设计任务
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2}hJe+#v M3(N!xT 仅位相透射设计(IFTA)
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\T7Mt|f:5 17LhgZs& 仅位相透射设计(IFTA)
k# [!; < ul~ux$a
.ZTvOm'mB^ E9:@H;Gc 超表面晶胞分析
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SyWZOE%p 3JnpI,By 构建超光栅
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st-{xC#N# kp m;ohd 初始超表面设计的评估
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]!B T[oC='I+O
bZqTT~'T AZj&;!} 参数优化
BEdCA]T Pvxb6\G&d
h0{X$&: #N|\7(#~u 优化超光栅设计的评估
m'o dVZ7 yW_yHSx;
WtT;y|W d$t"Vp 走进VirtualLab
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<kh.fu@.Q cgnNO& VirtualLab Fusion的工作流程
J'44j;5& 分析超表面晶胞
a<cwrDZ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
o! a,r3 构造超光栅
=sJ?]U 分析光栅衍射效率
\J'}CX*aQ - 光栅级次分析 [用例]
T{{:p\<]_ 光栅
结构参数优化
tsXKhS;/w YQMWhC,8hy
o) )` "^ _imuyt".+ VirtualLab Fusion技术
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