摘要
\= 6dF,V M%13b$i~f 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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.4z_ohe +s+E!= s 设计任务
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z9Y}[pN O8*yho 仅位相透射设计(IFTA)
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LqQ&4I 0;5qo~1 仅位相透射设计(IFTA)
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CrGDo9JdvT GKXd"8z] 超表面晶胞分析
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H"JzTo8u N,ihQB5 构建超光栅
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TwZmZE ?! t] G hONN 初始超表面设计的评估
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8!9 U7xQ 5lph 参数优化
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%\!3tN =eeZtj. 优化超光栅设计的评估
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5 ;0 9~#Wop 走进VirtualLab
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Z&Z=24q_ X./7b{Pax VirtualLab Fusion的工作流程
V%w]HIhq 分析超表面晶胞
X|pOw," - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
\ci[<CP 构造超光栅
";/,FUJJ 分析光栅衍射效率
}ILg_>uq[ - 光栅级次分析 [用例]
-]Q6Ril 光栅
结构参数优化
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5PT*b}g@ +Ft@S(IE VirtualLab Fusion技术
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