摘要
nrBpq Ob ~7w[n3 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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us5<18M5 Ie<H4G5Vh 设计任务
V),wDyi GyC/39<P
,59G6o k!Ym<RD%N 仅位相透射设计(IFTA)
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"L0Q"t: JpRn)e'Z 仅位相透射设计(IFTA)
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B_uhNLd \?D~&d,a= 超表面晶胞分析
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|Q(3rcOrV" 4-CGe 构建超光栅
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_4f=\ e**<et. 初始超表面设计的评估
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%A3ci[$g ynZp|'b?< 参数优化
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4C#r=Uw` |2Y/l~ 优化超光栅设计的评估
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cq`!17"k Al3*? H& 走进VirtualLab
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0 VirtualLab Fusion的工作流程
/u&7!>, 分析超表面晶胞
hz+O.k],? - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
!DM GAt\ 构造超光栅
Z?<&@YQS 分析光栅衍射效率
N}ugI`: - 光栅级次分析 [用例]
S^x?<kYQau 光栅
结构参数优化
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