摘要 6&LmR75C
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与传统光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成,并且在VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且,我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 BGH'&t_5
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超表面晶胞分析 5lwMc0{/3
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构建超光栅 ME5M;bz(
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初始超表面设计的评估 }1a(*s,s-^
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优化超光栅设计的评估 |*8X80<
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走进VirtualLab A=D
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VirtualLab Fusion的工作流程 $9G".T
分析超表面晶胞 <#./q LSR
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] k~QmDq
构造超光栅 --vJR/-
分析光栅衍射效率 Ga
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- 光栅级次分析 [用例] w[^lxq
光栅结构参数优化 90=gP
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VirtualLab Fusion技术 >Gvd?r
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