摘要
ML!9:vz ~5#)N{GbY 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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Uxl(9 6 Z(!pYhLq 设计任务
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Gi$gtLtNh 2>y:N. 仅位相透射设计(IFTA)
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:k"rhI [ #]jC[ 仅位相透射设计(IFTA)
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j 2}v} yz)ESQ~va 超表面晶胞分析
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.ewZV9P)t VO9f~>`( 构建超光栅
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@l,{x|00 wu^q`!ml 初始超表面设计的评估
F.KrZ3%4iB 0BC`iql5
%]jQ48^R ]gP8?s| 参数优化
[h", D5 BvJ=iB<E
9.8,q IQ{?_' 优化超光栅设计的评估
%|?1B$s0 SI_?~Pf3k
)5i*/I\ ?'+8[OHiF^ 走进VirtualLab
#:W%,$9\P z6Z='=pT
+u#Sl)F @zs1>\J7 VirtualLab Fusion的工作流程
q%.bnF/Yd 分析超表面晶胞
8nu> gA - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
|uQ[W17^N 构造超光栅
]PVto\B= 分析光栅衍射效率
@U7Dunu*f - 光栅级次分析 [用例]
syMm`/*/G- 光栅
结构参数优化
}bgo )<i 9RcM$[~
\*9Ua/H &<{}8/x8( VirtualLab Fusion技术
"i''Ui\H XW:%vJu^`