摘要
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) 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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=9qGEkd3 z.2r@Psk 设计任务
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[K cki+ "*++55 仅位相透射设计(IFTA)
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JmU<y heE}_,$| 仅位相透射设计(IFTA)
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h4hN1<ky\ /9x{^ 超表面晶胞分析
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]{f^;y8 di6B!YQP 构建超光栅
.]W;2G KQG-2oW
O1GDugZ K0w<[CO 初始超表面设计的评估
[[:UhrH- f4]N0
,HFs.9#&B Y3#Nux% 参数优化
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F@Q!h BjJ,"sT 优化超光栅设计的评估
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?b||Cr rRB~=J" 走进VirtualLab
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J,f/fPaf7 o^3FL||P#r VirtualLab Fusion的工作流程
yn SBVb!) 分析超表面晶胞
yL0f1nS - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
5L8&/EN9- 构造超光栅
_ Yfmxn8V 分析光栅衍射效率
4&Byl85q - 光栅级次分析 [用例]
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R&* 光栅
结构参数优化
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QV7,G9 v=!YfAn VirtualLab Fusion技术
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