摘要
K;2]c3T 7f4R5c 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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V/5hEo Dt //--r5Q 设计任务
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my#qmI Z2chv,SqCJ 仅位相透射设计(IFTA)
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CvpqQ7&k7 -_jV.`t 仅位相透射设计(IFTA)
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oeXNb4; 4 超表面晶胞分析
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!DnG)4# Q6S[sTKR 构建超光栅
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#e%.z+7I oWyg/{M 初始超表面设计的评估
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QnxkD)f*0 |D^Q}uT 参数优化
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4qda!% |PN-,f{ - 优化超光栅设计的评估
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VirtualLab Fusion的工作流程
NQfIY`lt' 分析超表面晶胞
se_zCS4Y - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
+bm2vIh$ 构造超光栅
y<F$@ 分析光栅衍射效率
:&)RK~1m_ - 光栅级次分析 [用例]
7\ff=L-b 光栅
结构参数优化
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9+QLcb Cu;X{F'H VirtualLab Fusion技术
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