摘要
D+>4AqG H*[M\gN$ 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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x7~r,x(xM KVD8YfF 设计任务
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tNP{jq 仅位相透射设计(IFTA)
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"f "6]y w,h`s.AN 超表面晶胞分析
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$4/yZaVb my}-s 构建超光栅
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hnDBFQ{ S"xKL{5 初始超表面设计的评估
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~g5[$r-u-u ^~3SSLS4" 参数优化
I~ok4L?VB J[4mLU
mT.u0KUIy ApAO/q 优化超光栅设计的评估
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BFo5\l:q8 V+VkY3 走进VirtualLab
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dvt9u9Vg= [uI|DUlI6o VirtualLab Fusion的工作流程
SV2M+5#; 分析超表面晶胞
zmSUw}-4N - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
vTJ}8 构造超光栅
cVv;Jn 分析光栅衍射效率
YgUvOyaQXf - 光栅级次分析 [用例]
g7OqX \ 光栅
结构参数优化
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EUN81F? +\F'iAs@ VirtualLab Fusion技术
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