摘要
hPq%Lc f~E*Zz`; 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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4tg<iH{ jVLA CWH 设计任务
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T5urZq*R T0)4v-EO 仅位相透射设计(IFTA)
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nEzf.[+9/ dd2[yKC` 仅位相透射设计(IFTA)
_%'},Xd.z (SSRY 9
k6`6Mjbc TJE\A)|>g 超表面晶胞分析
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L@=3dp!\Cu p=/m 构建超光栅
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m*e{\)rd# 9rh}1eo7 初始超表面设计的评估
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& Dxg B^).BQ
MX@IHc G0E121`h 参数优化
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4k./(f2+ <dyewy*.L 优化超光栅设计的评估
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q7u'_R,; SkU9ON 走进VirtualLab
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8Lw B
B )O:0]=#)) VirtualLab Fusion的工作流程
R$zH] 分析超表面晶胞
\h8 <cTQ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
iQ{G(^sZN 构造超光栅
iR"N13 分析光栅衍射效率
r'gOVi4t1* - 光栅级次分析 [用例]
F;^F+H 光栅
结构参数优化
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!?Wp+e6 DBP9{ x$ VirtualLab Fusion技术
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