摘要
[6tSYUZs ub K7B |p 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
lAi2,bz" rHz||jjU -VT+O+9_A u:dx;* 设计任务
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$ rwf^,r"r 仅位相透射设计(IFTA)
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vSvk v=?2S !3qVB 仅位相透射设计(IFTA)
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!H^-d}q ,d_Gn! F]+~x/! T+IF}4ed 超表面晶胞分析
R 94^4I ?cy4&]s ~nY]o"8D pv,45z0 构建超光栅
Jkt4@h2Q} vbG]mMJ $E!J:Y= # Su~`] 初始超表面设计的评估
gVR@&bi7 +&=?BC}L9^ aSutM Ond'R'3 \E 参数优化
9jir*UI !|Q5Zi;aX7 Rl~T$
Ey K9Hqq7"% 优化超光栅设计的评估
*%5{' |CFRJN-J" F7*wQ{~ Kg\R+i@#< 走进VirtualLab
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*w$:L \;X+X,M dt\jGD VirtualLab Fusion的工作流程
{R6HG{"IS6 分析超表面晶胞
eOT+'[3" - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
V@-)\RZm 构造超光栅
=n(3o$r( 分析光栅衍射效率
5*g]qJF - 光栅级次分析 [用例]
~a9W3b4j 光栅
结构参数优化
,E )|y4 ?/hZb"6W -V.d?A4" $.%rAa_H VirtualLab Fusion技术
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