[技术]二维非傍轴光束分束超光栅的设计 [复制链接]

摘要 EA& 3rI>U)  
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与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 R+M&\5  
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设计任务 =c[tHf  
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仅位相透射设计（IFTA） "D(Lp*3hj&  
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仅位相透射设计（IFTA） WK>F0xMs1  
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超表面晶胞分析 "`vRHeCKN  
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构建超光栅 6Z2,:j;  
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初始超表面设计的评估 (`tRJWbdz  
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参数优化 m#7(<#  
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优化超光栅设计的评估 ?"B]"%M&  
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VirtualLab Fusion的工作流程 $<}c[Nm  
 分析超表面晶胞 Zi!Ta"}8  
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] $NXP)Lic)  
 构造超光栅 * QgKo$IF  
 分析光栅衍射效率 }Mcb\+[  
- 光栅级次分析 [用例] }r:
o8+4  
 光栅结构参数优化 sibYJKOy  
ccD+AGM.  

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VirtualLab Fusion技术 \8`?ir q"  
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