摘要
N>~*Jp2; "mOoGy,( 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
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t.w?OyO sJD"u4#y 设计任务
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RBb@@k[v F^\v`l, 仅位相透射设计(IFTA)
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}}]Y mf &dS+!<3 仅位相透射设计(IFTA)
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#Y:/^Q$_qS %>bwpN 超表面晶胞分析
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YK- R|z6K 'FVT"M~ 构建超光栅
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crT[;w vxgm0ZOMN 初始超表面设计的评估
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I2 Kb.`'! *Dn{MD7,M 参数优化
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^KlOD_GN| Glwpu-@X 优化超光栅设计的评估
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VMHY.Rf ;~K($_#H 走进VirtualLab
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'=2t(@aC i6-K! VirtualLab Fusion的工作流程
&yN<@. 分析超表面晶胞
%Xi%LUk{ - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
Z`%;bP: 构造超光栅
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X 分析光栅衍射效率
pI!55w| - 光栅级次分析 [用例]
n5i}J/Sa2 光栅
结构参数优化
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}8SHw|- bcYz?o6 VirtualLab Fusion技术
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