摘要
YO$D- %^L{K[} 与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
brs`R#e \ b5LToy:
sQac%.H;`U FK593z 设计任务
N)GHQlgH ao"2kqa)r
#[bL9R5NC Rd5_{F 仅位相透射设计(IFTA)
!Yv_V]u= uVCH<6Cp
.8u@/f%pV XFvl 仅位相透射设计(IFTA)
BEvY&3%l ;=jF9mV.
tVEe) QX fy4zBI@ 超表面晶胞分析
vxj:Y'} 5P%#5Yr2
A*?PH`bY b4i=%]v8 构建超光栅
Q(nTL WW j2<+[h-
K F_fz l|?tqCT ^h 初始超表面设计的评估
\&hq$ WSu6chz)
R~kO5jpW Lo{wTYt:J 参数优化
r|u[36NmA mn?F;=qE
A-T-4I N68$b#9Ry 优化超光栅设计的评估
f7~dn#<@ LSou]{R
<&l$xn Sk cK>i.[ 走进VirtualLab
b;UBvwY_ ~3?-l/ $
t.28IHJ
x2"1,1%H7 VirtualLab Fusion的工作流程
<v|"eq} 分析超表面晶胞
gHBv Q1g - 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
vS>'LX 构造超光栅
cZNcplt8 分析光栅衍射效率
cQ j`W
* - 光栅级次分析 [用例]
J&>@>47 光栅
结构参数优化
k
i<X ^^ DJ, LQj
w5HIR/kP $:F+Nf
8 VirtualLab Fusion技术
BqNeY<zB* ?l/6DT>e