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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 `_OrBu[  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 jjj<B'zt  
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    建模任务 W34xrm  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~k?rP}>0  
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    某一位置的Talbot图样 hYkk r&  
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    某一位置的Talbot图样 Yn ~fnI{  
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    不同位置的Talbot图样 d,(y$V+  
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    不同位置的Talbot图样 X#&5?oq`  
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    沿Z轴的强度 Qjj }k)  
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    走进VirtualLab Fusion gLv+L]BnhH  
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    , lR(5ZI  
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    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ~JL qh  
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    DS(>R!bb  
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