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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 DJf!{:b)  
     pe$l'ur  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Ljjuf=]  
    !z]2+  
     i>68gfx  
    K=82fF(-  
    建模任务 `aW>h8$I)  
    G\1\L*+0  
     3R sbi  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |[}!E/7>b  
     3KW4 ]qo~  
    某一位置的Talbot图样 K`?",G?_  
    &%Lps_+fJ  
     5J4'\M  
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    某一位置的Talbot图样 usR: -1{  
    VgO:`bDF  
     TZk.?@s5  
    ]l WEdf+  
    不同位置的Talbot图样 sox0:9Oqnf  
    54%@q[-  
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    不同位置的Talbot图样 _3YuPMaN  
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     %cl=n!T  
    BB694   
    沿Z轴的强度 (93+b%^[  
    0//?,'.  
     l$~3_3+  
    O:Ixy?b;Z  
    走进VirtualLab Fusion pp#xN/V#a  
    uwcm%N;I"  
     #Jo#[-r  
    N%k6*FBp~  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #ONad0T;  
    <n)J~B^  
     构建光栅结构 j[Y$)HF  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] -<[MM2Y  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] `EUufTYi  
    ,u1Yn}  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1yS [;  
    - 参数运行文件的使用 [用例]  0#AS>K5  
    ur,!-t(~t  
    gua +-##)  
    O"$uw  
    VirtualLab Fusion技术 PE~umY]  
    H <|ilL'fX  
     -.>b7ui  
       ZPieL&uV`  
     
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