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摘要 t|v_[Za }Z
HEs .pET\ 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 c{\x< Aw O
B18?)LA
 iz:O]kI S<Uv/pn 建模任务 < *+Y]= VcO RRUp
 %!V = noo 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) T%@qlEmf
nT%<!/}! 某一位置的Talbot图样 RO.bh#A$
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 S3Sn _zqG ^A;(#5A]7 走进VirtualLab Fusion
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 =d 1R9O i`vgD<} VirtualLab Fusion的工作流程 1/ vcj~|)t Z =y^9] 构建光栅结构
?ubIh.d - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] #)28ESj - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] \t+q1S1 Xd@x(T~'X 通过参数运行计算不同位置的强度 P:tl)ob - 参数运行文件的使用 [用例] m|cT)- .="[In '  }Oh@` xTxt #wL8=QTcNC VirtualLab Fusion技术 #>(h!lT_
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