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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 %8c2d  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ?,z/+/:  
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    建模任务 X:kr$  
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     a+=.(g  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) x_oiPu.V  
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    某一位置的Talbot图样 (iJ9ekB  
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    某一位置的Talbot图样 *-`-P  
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    不同位置的Talbot图样 zEy,aa :M  
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    不同位置的Talbot图样 ,GUOq!z  
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    沿Z轴的强度 -$sVqR>_  
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    走进VirtualLab Fusion 9 $*O^  
    C @nA*  
     *bSxobn  
    #p7K2  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ?rxq//S2  
    +)ba9bJ|  
     构建光栅结构 rsn^Y C  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] m <'&`B;  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Bdr'd? u<A  
    f!Mx +ky  
     通过参数运行计算不同位置的强度 v}sk %f  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 952l1c!  
    Sp/<%+2(  
    YR-Ge  
    :^rt8>~  
    VirtualLab Fusion技术 vHXCT?FuG  
    de_%#k1:L  
     S LU$DW;t  
       6wq>&P5  
     
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