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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 Mlg0WrJ|2  
     2+ N]PW\V  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 5,lEx1{_  
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    93 )sk/j  
    建模任务 5FPM`hLT  
    ~OYiq}g  
     m/@wh a  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) >^?u .gM3  
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    某一位置的Talbot图样 YlJ@XpKM  
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    某一位置的Talbot图样 }<0BX\@I  
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    不同位置的Talbot图样 {K~'K+TPu  
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    不同位置的Talbot图样 i<C*j4qQ  
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    沿Z轴的强度 #ZUI)9My@  
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    走进VirtualLab Fusion Co9^OF-k  
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     X~b X5b[P  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 W<h)HhyG  
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     构建光栅结构 @Myo'{3vF  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] JMCKcZ%N  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] |MTnH/|  
    )rIwqUgp6\  
     通过参数运行计算不同位置的强度 rET\n(AJ  
    - 参数运行文件的使用 [用例] aL\PGdgO  
    &N$<e(K  
    [Q~#82hBhY  
    MVpGWTH@F  
    VirtualLab Fusion技术 X;+sUj8  
    9Z$"K-G  
     IV~>I-rd  
       *xAqnk   
     
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