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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 R?68*} `7  
     5Ec6),+&  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 }0eF~>Df  
    X59: C3c  
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    M|6A0m#Q  
    建模任务 lH#u  
    d_CKP"TA  
     |*:'TKzNS  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) p qfUW+>  
     2-7IJ\  
    某一位置的Talbot图样 ~kShq%  
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     j2ve^F:Q  
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    某一位置的Talbot图样 aAJU`=uq  
    ozAS[B6  
     [ p{#XwN  
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    不同位置的Talbot图样 W=vG$  
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    不同位置的Talbot图样 lV`Q{bd+  
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    vtw6FX_B  
    沿Z轴的强度 Rec6c&5_  
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    走进VirtualLab Fusion {)"iiJ  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 E5)b  
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     构建光栅结构 .$Ik`[+Z  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] f47Od-\-  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] =4[v 3Qx  
    9F4Dm*_<  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ko Z  
    - 参数运行文件的使用 [用例] @W va tD V  
    )f}YW/'  
    z8QAo\_I(  
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    VirtualLab Fusion技术 "5-^l.CKH  
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