切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 724阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6854
    光币
    28420
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 8!h'j  
     R/<=mZ  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。  ?9u4a_x  
    VKLU0*2R  
     2neRJ  
    ^ZQCIS-R  
    建模任务 ? Ekq6uz\)  
    .Tm- g#  
     iIU( C.I  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) LnMwx#^*  
     ~%q7Vmk9  
    某一位置的Talbot图样 udTxNl!  
    ! VRI_c  
     %7`d/dgR  
       -%uy63LbHF  
    某一位置的Talbot图样 v`G U09   
    TIRHT`"i  
     zw:/!MS  
    hrM"Zg  
    不同位置的Talbot图样 i1/}XV  
    {>.>7{7  
     D$_8rHc\A  
    q?VVYZXP  
    不同位置的Talbot图样 .w FU:y4r  
    ?2~U2Ir]:  
     6dT|;koWbm  
    {u]CHN`%Z  
    沿Z轴的强度 l:tpL(%  
    W:ixzpQ  
     WX*cICb5  
    `QCD$=  
    走进VirtualLab Fusion |z7dRDU}]  
    VA]ZR+m  
     lgG8!Ja  
     $o+&Y5:  
    VirtualLab Fusion的工作流程 G(i\'#5+  
    [u\CDsX  
     构建光栅结构 <jL#>L%%  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] h2}am:%mC  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] r|8V @.@i  
    T^.{9F]*S  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Z)v)\l9d  
    - 参数运行文件的使用 [用例] zlX! xqHj  
     'O1.6*K  
    &@'V\5G  
    0O ['w<_  
    VirtualLab Fusion技术 xXa#J)'  
    cd"wNH-  
     M7H~;S\3IM  
       kOM-  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表