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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 `15}jTi  
     #ae?#?/"  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >hNSEWMY`  
    .)[E`a  
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    建模任务 ;)FvTm'"\.  
    8_!qoW@B  
     ?I^$35  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &D M3/^70  
     CmBP C jh  
    某一位置的Talbot图样 VYb,Hmm>kC  
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    某一位置的Talbot图样 EM@|^47$  
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    不同位置的Talbot图样 !QwB8yK@  
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    不同位置的Talbot图样 vxPE=!|  
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    沿Z轴的强度 Se!w(Y&  
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    走进VirtualLab Fusion _qPKdGoM  
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    S Yi!%  
    VirtualLab Fusion的工作流程 O<p=&=TD7  
    DtBvfYO8)>  
     构建光栅结构 ).jQ+XE'>  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] #L!`n )J"  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] &w^9#L  
    spP[S"gI  
     通过参数运行计算不同位置的强度 &,{ >b[  
    - 参数运行文件的使用 [用例] m<j;f  
    EFDmNud`Q  
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    VirtualLab Fusion技术 &V axv$v}  
    vWmt<E|e  
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