切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 969阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 7 6HB@'xY  
     Mo]iVj8~  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 GuF-HP}xM  
    2<*Yq 8  
     KP!7hJhw  
    fO83 7  
    建模任务 X^C $|:  
    d>/4z#R}-  
     r<;Y4<,BZ  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &-x/c\jz  
     n65fT+;  
    某一位置的Talbot图样 =nCV. Wf  
     HS|x  
     V/ZWyYxjLi  
       9Dyw4'W.N  
    某一位置的Talbot图样 R%JEx3)0m  
    mG%cE(j*D  
     ^.M_1$-  
    nb@<UbabW}  
    不同位置的Talbot图样 7N0m7SC  
    z u1gP/  
     P d(n|t3[8  
    Koz0Xy  
    不同位置的Talbot图样 ! &V,+}>)  
    mN#&NA  
     pe+m%;nzR  
    XlGB`P>?KD  
    沿Z轴的强度 Lya?b  
    5;9.&f  
     'IER9%V$  
    `~@}f"c`u  
    走进VirtualLab Fusion b{ W ,wn  
    l> >BeZ  
     &jDRRT3  
    ,-> P+m5  
    VirtualLab Fusion的工作流程 jw]IpGTt  
    gKb5W094@  
     构建光栅结构 C,u;l~zz  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] v=H!Y";  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ]j(Ld\:L  
     *8 ]  
     通过参数运行计算不同位置的强度 z<BwV /fH}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] _[ `"E'  
    .sUL5`  
    gOk^("@  
    yAc}4*;T/  
    VirtualLab Fusion技术 ,]?l(H $x'  
    @HXXhYH  
     t aOsC! Bp  
       iainl@3Qj  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表