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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 <|w(Sn  
     ?0qP6'nWx  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 x+DecO2  
    WF2t{<]^e  
     uH[:R vC0  
    dQO 5  
    建模任务 iO2jT+i  
    }02(Y!Gh  
      s=556  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %joU}G;"  
     e0<O6  
    某一位置的Talbot图样 o8NRu7@?  
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    某一位置的Talbot图样 wzBw5n f\  
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    不同位置的Talbot图样 ,,BWWFg~  
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    不同位置的Talbot图样 77ztDQDtM  
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    p./0N.  
    沿Z轴的强度 aM(x--UR=  
    Kx?8 HA[5  
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    走进VirtualLab Fusion Ba** S8{/`  
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     c5: X$k\  
    Cl{Ar8d}  
    VirtualLab Fusion的工作流程 8(L6I%k*  
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     构建光栅结构 l[rK)PM   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] +[_3h9BK  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] dP`B9>r  
    yrd1J$  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ZDov2W  
    - 参数运行文件的使用 [用例] tBX71d T  
    e6^}XRyf  
    L0GQH;Y,h  
    h_SkX@"/-  
    VirtualLab Fusion技术 ./L)BLC i  
    +'nMy"j1  
     +_+j"BT  
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