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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 []'gIF  
     )"W(0M] >  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 CWP),]#n  
    b) k\?'j  
     Z`UwXp_s  
    B}PT-S1l  
    建模任务 66P'87G  
    Rqi= AQ  
     t<)Cbple\  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) KW* 2'C&  
     qqL :#]lV5  
    某一位置的Talbot图样 LH=gNFgzt  
    Mbj{C  
     ,g.*Mx`-  
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    某一位置的Talbot图样 64)Fz}  
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     S(B$[)(  
    4pvT?s>68  
    不同位置的Talbot图样 y9K U&L2  
    k<.$7Pl3U  
     ~AVn$];{  
    j20/Q)=h  
    不同位置的Talbot图样  /$Qs1*  
    #.<Uy."z2  
     Q[j'FtP%  
    DzfgPY_Py  
    沿Z轴的强度 pyvH [  
    WH>=*\  
     BBV"nm_(/  
     ;Y6XX_  
    走进VirtualLab Fusion B]KR*  
    }Y}f7 3-|  
     b^*9m PP  
    8 #m,TOp  
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    9nM_LV  
     构建光栅结构 .3X5~OH  
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    VirtualLab Fusion技术 8a,uM :  
    Ulf'gD4e  
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