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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 z -(dT  
     tA@#SIw  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 \0j|~/6  
    f? [y-  
     Aye!@RjM8  
    BWL~)Hx  
    建模任务 /5suyM=U  
    =5^L_, 4c2  
     L3X>v3CZ5  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) suPQlU>2sj  
     tTF/$`Q#*  
    某一位置的Talbot图样 tb&{[|O^  
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     >F,~QHcz  
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    某一位置的Talbot图样 |/ZpZ7  
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     Tp[ub(/;7  
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    不同位置的Talbot图样 lh~!cOm\=E  
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    不同位置的Talbot图样 $+S'Boo   
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    沿Z轴的强度 F7#   
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    走进VirtualLab Fusion }#'O b  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 `EBo(^n}O  
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     构建光栅结构 M<~z=B#  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] &`pd&U{S*  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] sh:sPzQ%Jv  
    d1``} naNw  
     通过参数运行计算不同位置的强度 0z_e3H{P27  
    - 参数运行文件的使用 [用例] e<9IwS!/  
    VoWlBH  
    E]6;nY?  
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    VirtualLab Fusion技术 \@GA;~x.b  
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