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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 ;6L<Syl5  
     2hw3+ o6  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 45edyQ  
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    建模任务 =JOupw  
    6t *pV [  
     6WgGewn  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) I(s\ Q[  
     yps7MM-r  
    某一位置的Talbot图样 :'f#0ox  
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    某一位置的Talbot图样 xFHc+m' m~  
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    不同位置的Talbot图样 vZTX3c:,1  
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    不同位置的Talbot图样 ]N:SB  
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    沿Z轴的强度 %njX'7^u  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 zKx?cEpE  
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     构建光栅结构 S s@\'K3e  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] IwZn%>1N  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] bVQLj}%   
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     通过参数运行计算不同位置的强度 [kt!\-  
    - 参数运行文件的使用 [用例] gLsl/G  
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    VirtualLab Fusion技术 4+:Q"  
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