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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 n NAJ8z}Nt  
     !M}&dW2  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。  {!x-kF_  
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    建模任务 5*ABw6'6  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) F[ 9IHT6{  
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    某一位置的Talbot图样 6~D:O?2  
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    某一位置的Talbot图样 t+66kBN  
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    不同位置的Talbot图样 (A"oMnjWd  
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    沿Z轴的强度 qOkw6jfluh  
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    走进VirtualLab Fusion 4yjAi@ /2  
    C$rZn%dp(  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 j^:\a\-1  
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     构建光栅结构  #]n[  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] d0 |Q1R+3  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ]+,Z()  
    R?^FO:nM%!  
     通过参数运行计算不同位置的强度 0wxQ,PI1'  
    - 参数运行文件的使用 [用例] G=\rlH]N  
    `5h$@  
    }|Cw]GW  
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    VirtualLab Fusion技术 5wr0+Xo  
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     -08Ys c  
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