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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 mw2rSUI{  
     FA<Z37:  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 {^2({A#&  
    1"*Nb5s  
     "`y W]v  
    IiYuUN1D  
    建模任务 5EVB27k  
    :qt82tbn  
     QYFN:XZ  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +5N^TnBtBL  
     (UbR%A|v;  
    某一位置的Talbot图样 oX%PsS  
    \emT:Frb  
     UEx(~>  
       tF{{cd  
    某一位置的Talbot图样 bdNY7|j`  
    ]l9,t5Y  
     ZlwcwoPib  
    h7Shl<f  
    不同位置的Talbot图样 GN}9$:  
    q[Sp|C6x  
     PaU@T!v  
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    不同位置的Talbot图样 ORFr7a'K  
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    沿Z轴的强度 Q>#)LHX  
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    走进VirtualLab Fusion K!$\REs  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 7,&3=R <  
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     构建光栅结构 $bM#\2'  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 0t/z "  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] @EH4N%fH  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 "' i [~  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Z_hBd['!  
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    VirtualLab Fusion技术 s$3eJ|  
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