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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 G QBN-Qv  
     t? J a q  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 /\I%)B47^9  
    C}EDl2  
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    建模任务 ?Gw89r  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 'Rw] C[  
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    某一位置的Talbot图样 [&s:x ,  
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    不同位置的Talbot图样 Rx-i.EtZ  
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    沿Z轴的强度 1 R9/AP  
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    走进VirtualLab Fusion XePBA J  
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     Z+7S,M  
    #::vMnT  
    VirtualLab Fusion的工作流程 *^_!W'T{j  
    zy;w07-)  
     构建光栅结构 !{;RtUPz*  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Vrh],xK7  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #Qd3A  
    0n=E.qZ9c  
     通过参数运行计算不同位置的强度 "FS.&&1(  
    - 参数运行文件的使用 [用例] DboqFh#]=h  
    "Fiv ]^  
    iKY&gnu"  
    `I$A;OPK7  
    VirtualLab Fusion技术 UC@"<$'C  
    jp`N%O]6  
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