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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 1$cX` D`  
     XhF7%KR  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ]<3$Sx_{y  
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    建模任务 XS!mtd<q  
    YXD6GJWo  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) E_VLI'Hn?  
     SoS GQ&k  
    某一位置的Talbot图样 etY/K0  
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    某一位置的Talbot图样 y1DP`Ro  
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    不同位置的Talbot图样 3`9H  
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    不同位置的Talbot图样 .r~!d|  
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    沿Z轴的强度 vR m.# +Td  
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    走进VirtualLab Fusion "tu BfA+f  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 g(d9=xq@k  
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     构建光栅结构 xFZA1 8  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] >YPC &@9   
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] TV$Pl[m   
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     通过参数运行计算不同位置的强度 QN=a{  
    - 参数运行文件的使用 [用例] I>k >^  
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    VirtualLab Fusion技术 0i}4T:J@`  
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