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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 CXBzX:T?#  
     /wr6\53J  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 M[A-1]'  
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    建模任务 Gu2_dT  
    7nm}fT z7  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ir]Mn.(Y  
     O'fk&&l  
    某一位置的Talbot图样 uii7b 7[w  
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    沿Z轴的强度 &RWM<6JP  
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    走进VirtualLab Fusion |-n ('gQ[  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 mk\i}U>`  
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     构建光栅结构 ZY)%U*jWU  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] AQe!Sqg'  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ?NlSeh  
    K}Na3}m  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Y[ ?`\c|  
    - 参数运行文件的使用 [用例] [.a;L">  
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    VirtualLab Fusion技术 EMh r6</  
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