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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 H A(e  
     ii@O&g  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 GlVD!0  
    <ctn_"p Z  
     0oi =}lV  
    cTeEND)  
    建模任务 #ab=]}2W_g  
    5? s$(Lt~  
     7=ZB?@bU~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) =/rIXReY  
     fH7o,U|  
    某一位置的Talbot图样 81|Xg5g)b  
    XK>/i}y  
     t>T |\WAAL  
       bG0t7~!{E  
    某一位置的Talbot图样 _KkLH\1g$  
    A8R}W=  
     , ]'?Gd  
    Kj_hCSvf3e  
    不同位置的Talbot图样 Xo*=iD$Jys  
    e/m ,PE  
     B{SzC=4f}  
    8v M}moper  
    不同位置的Talbot图样 ( {H5k''  
    rQbL86+  
     )-2o}KU]>  
    r c7"sIkV  
    沿Z轴的强度 wvm`JOP:A  
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    走进VirtualLab Fusion ]iuM2]  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 yk9|H)-z  
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     构建光栅结构 >yn%.Uoh@  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 4XDR?KUM  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] o)7gKWjujP  
    F t%f"Z  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Nf>1`eP  
    - 参数运行文件的使用 [用例] E {d Mdz  
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    VirtualLab Fusion技术 ,ORZtj  
    t#~r'5va  
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