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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 2(#7[mgPI  
     1f":HnLRM  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 *q-['"f  
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    建模任务 =g|IG [V  
    Ht&:-F+dm  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) O vk_\On  
     fmb} 2h  
    某一位置的Talbot图样 @T'i/}nl  
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    某一位置的Talbot图样 wfq7ob4^  
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    沿Z轴的强度 A*}.EClH  
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    走进VirtualLab Fusion  D0% Ug>  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ?MgUY)X  
    a{qM2P(S  
     构建光栅结构 a *ushB  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] A8oo@z68n>  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] + EGD.S{  
    k=4N.*#`y  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Q2F+?w;,  
    - 参数运行文件的使用 [用例] {:]9Q Tq  
    q gL aa  
    T ^~5n6  
    Ai gS!-   
    VirtualLab Fusion技术 CB/D4j;  
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