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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 9Ij=~p]p  
     sw.cw}1  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 DD3.el}6a  
    cnQ;6LtFTz  
     +*2]R~"M  
    x=g=e <_  
    建模任务 T5; zgr  
    ?MT V!i0  
     >+iJ(jqq  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~C1lbn b  
     *C81DQ  
    某一位置的Talbot图样 Y40`~  
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     ~c&ygL3  
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    某一位置的Talbot图样 "HCJ!  
    G%{J.J41F  
     &b[ .bf  
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    不同位置的Talbot图样 'Vwsbm tY  
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     -nVQB146^  
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    不同位置的Talbot图样 s}8(__|  
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     J#h2~Hz!  
    X]^FHYjhS  
    沿Z轴的强度 D=hy[sDBw  
    y0!-].5UH  
     DQC=f8  
    |'$E -[  
    走进VirtualLab Fusion .lclW0*  
    ~HWH2g  
     dNH6%1(s]0  
    :ud<"I]:  
    VirtualLab Fusion的工作流程 o~Jce$ X  
    mlq+Z#9  
     构建光栅结构  !t.  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] >o=O^:/L  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] }V20~ hi  
    }HO3D.HE^  
     通过参数运行计算不同位置的强度 V}?*kx~T2C  
    - 参数运行文件的使用 [用例] (v<l9}!  
    6n[O8^  
    ^HJvT)e4  
    EL*OeyU1l  
    VirtualLab Fusion技术 7ojU]ly  
    N_ 3$B=  
     ]>j>bHG  
       m=g\@&N  
     
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