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摘要 !k63 `(Ti
)FLpWE"e- 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 -(EqBr@_
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 8J0tya"z </ QSMs 建模任务 x&d<IU)5 yrX]w3kr%
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pq#5t^[) 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \!3='~2:=o
=Sq7U^(> 某一位置的Talbot图样 a=R-F!P )
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fp^ d={}a,3? 通过参数运行计算不同位置的强度 Z+?j8(:n - 参数运行文件的使用 [用例] G4i&:0 ,RZktWW_  iAN#TCwLT7 K"#}R<k8:A VirtualLab Fusion技术 D"MN lm
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