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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 u"(NN9s  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Md@x2Ja  
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    建模任务 T9& {s-3*  
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     iKV|~7nwO  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !;h&@LXG(  
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    某一位置的Talbot图样 )W p7e51  
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     YcX"Z~O6j=  
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    沿Z轴的强度 O2ktqAWx@  
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    Q"u2<  
    走进VirtualLab Fusion B-w`mcqp$  
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     \1joW#  
    D C/X|f  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ~mt{j7  
    (>A#|N1U  
     构建光栅结构 aY? VP?BL  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ;@ixrj0u  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] I50Ly sM  
    sV2D:%\K:  
     通过参数运行计算不同位置的强度 LKcp.i  
    - 参数运行文件的使用 [用例] A32Sdr'D  
    ![ce }  
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    VirtualLab Fusion技术 C=r`\W  
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      rn( drG  
       *j]Bo,AC  
     
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