-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-23
- 在线时间1766小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 l8$7N=Y
ckglDhC 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 "@!B"'xg
e\9H'$1\
 .4t-5,7s% i^i^g5l! 建模任务 $aY*1UVq @T
}p.
 X; ~3 U
9 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K&\3j-8^
l]bCt b%_ 某一位置的Talbot图样 D^G5$h i
Y $@?Y/rhR
 <9BM% 2I8 RO\zR 某一位置的Talbot图样 RPXkf71iM
x ]6 wiV
 c`F~vr r)X ^GyGh{@,f 不同位置的Talbot图样 C6!P8q X
T% opkyP>=
 b8>2Y'X 5bfd8C 不同位置的Talbot图样 zUe)f~4
OYj4G ?c
 VSxls 4!I;U>b b 沿Z轴的强度 EYsf<8cl
tH }$j
 7jf%-X M_ GN3 走进VirtualLab Fusion 2E*k@
m9&MTR D\
 jP{W|9@ ( `H^?jX>7 VirtualLab Fusion的工作流程 kY$vPHZpN q%RPA e 构建光栅结构 ^T{ww= /v - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1z#0CX}Y/H - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] TqZ&X| G M.[A%_|P 通过参数运行计算不同位置的强度 3Mw2;.rk - 参数运行文件的使用 [用例] cc$L 56q ^EG @tB $<  /F3bZ3F !Q0aKkMfL VirtualLab Fusion技术 ,^>WC G
1 Ar6hA
 0VA$
Ige z1WF@ Ej
|
