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摘要 5e/qgI)M5
-wf RR>)d 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 R Fn0P)9&
>Z2,^5P{
 te\h?H b,rH&+ 2H 建模任务 =,AC%S_D~ d@D;'2}Yc
 0 .FHdJ< 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vhYMWfbY
&'huS?g A9 某一位置的Talbot图样 `s>UU- 9
SvX=isu!.
 TDAW I_83- Gq0]m 某一位置的Talbot图样 {ywXz|T P
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 yV J dZ I c?!YFm 不同位置的Talbot图样 HBh` 2Q
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 \);.0 }A4nJ>`tq 不同位置的Talbot图样 Qy=HrL]x
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 >H0) ph L bJtpwz>z 沿Z轴的强度 >aEL;V=}P
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 24T@N~\g u(pdP" 走进VirtualLab Fusion tmO;:n <N
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 xn (+G$m Qs|O G VirtualLab Fusion的工作流程 T)WZ_bR g3|BE2? 构建光栅结构 Vh"MKJ'R^ - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] )46
0 Ed - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #F_'}?09% >f&xJq 通过参数运行计算不同位置的强度 JNh=fvO2i - 参数运行文件的使用 [用例] G1}~.% J wA?@v|,dZ  2q)T y9 tf4*R_6;1$ VirtualLab Fusion技术 }o-|8P:Y
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