1. 摘要
~Dj_N$_+9 cN7|Zsc\ 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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(Zu8WyT2 cC$E"m 2. 建模任务
F"a31`L>H ~GjM:* 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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*kB:p <a=k"'0 3. 聚焦区域的探测场
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0GnbE2& vH vwH 4. 来自测试对象的直接反射
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x} 5. 待测目标成的像
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} @jT-t]P 4vf,RjB-5 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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A[X~:p.^G VTxLBFK; 7. 走进VirtualLab Fusion
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x2H?B`5 #:M)a?E/% 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
} T1~fa >-YWq P7kb* 使用界面构造光栅结构
.+hM1OF`x - 使用界面配置光栅结构[用例]
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`i~K; 复杂
系统中的光栅建模
U)grC8 C -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
i:,37INMt 正确设置通道以进行多通道
仿真 s1NRUV2E - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
-4'yC_8t •使用
参数运行检查影响/更改
3QzHQU - 参数运行文档的使用[用例]
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6v}WdK 9. VirtualLab Fusion 技术
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