1. 摘要
:<-,[(@bR kzA%.bP| 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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-qki^!Y? -IBf;"8f 2. 建模任务
/PP\L]( 2b+0}u>a 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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V}1D1.@ ~R`Rj*Q2Y 3. 聚焦区域的探测场
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4. 来自测试对象的直接反射
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-Yaw>$nJ H'Mc]zw_, zNE"5 5. 待测目标成的像
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fR T-Od|T@[ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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o C]tEXJ {~*aXu3 7. 走进VirtualLab Fusion
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ICNS+KsI ^}XKhn.S' 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
8ALvP}H !B==cNq Ep%5wR 使用界面构造光栅结构
gf]biE"k - 使用界面配置光栅结构[用例]
(>qX> 复杂
系统中的光栅建模
Wt +,6Cq -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
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正确设置通道以进行多通道
仿真 k^q}F%UV - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
Jji~MiMn •使用
参数运行检查影响/更改
e&dE>m - 参数运行文档的使用[用例]
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?^i$} .%W %?^T^P 9. VirtualLab Fusion 技术
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@Taj++ua