1. 摘要
YB&b_On,f b IZuZF>* 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
|?=a84n1l A.@/~\ YA,vT[kX IA$)E 2. 建模任务
7F!(60xY %n7Y5|Uh 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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)|0U~ S(nZ]QEG |gP9^B?3 \f6@B:?y 3. 聚焦区域的探测场
Q3OGU} F m.|__L _pZaVx
d \[cFe1d 4. 来自测试对象的直接反射
HC[)):S* hynX5,p;. RD1N@sHDKc d@u)'AY%/ OwJZ?j&) GI ~<clhf 5. 待测目标成的像
yi-S^ "B9aJo ZBX,4kxK7 bU+
z(Eg6 D;RZE 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
W{6%Hhp N=hhuKt] f:)%+)U<Xm I<v:xTor 7. 走进VirtualLab Fusion
9"%ot=) SA1|7 xdqiogu e _h2s(u
>\ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
iR`c/ p=-:Z?EW1 N4z(2. 使用界面构造光栅结构
XNm%O - 使用界面配置光栅结构[用例]
265sNaX 复杂
系统中的光栅建模
NjL^FqA[ -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
dDeImSeV 正确设置通道以进行多通道
仿真 WOgPhJ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
1`;,_>8 •使用
参数运行检查影响/更改
Ie14`' - 参数运行文档的使用[用例]
l[)ZEEP '=^$;3Z n,.ZLuBEX F_ Cp, 9. VirtualLab Fusion 技术
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