1. 摘要
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b[ txj wZ_p 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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2T//%ys= f#'8"ff*1 2. 建模任务
gTqeJWX9wP Jq=00fcT+ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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;RNM f-vZ2+HP 3. 聚焦区域的探测场
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5dg-d\6S /!^L69um 4. 来自测试对象的直接反射
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." 5. 待测目标成的像
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q:TZ=bs^ X*TuQ\T 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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4$0jz' M3DxapG 7. 走进VirtualLab Fusion
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&_<VZS S1D9AcK 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
di-O*ug b}ySZlmy hknwis%y 使用界面构造光栅结构
BengRG[ - 使用界面配置光栅结构[用例]
e#l*/G*, 复杂
系统中的光栅建模
)m|X;eEo -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
xDPQG`6 正确设置通道以进行多通道
仿真 yf
`.% - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
N,WI{* •使用
参数运行检查影响/更改
=?meO0]y - 参数运行文档的使用[用例]
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PWf{aHsr :N^@a- 9. VirtualLab Fusion 技术
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