1. 摘要
'Tru?y\ @qO8Jg"Q 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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c:@OX[## v8U1uOR,% 2. 建模任务
R+kZLOE |=^#d\?]j 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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JXSqtk= MWn L#! 3. 聚焦区域的探测场
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|0%4Gk); 4. 来自测试对象的直接反射
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4xAlaOw5M fN"oa>X f5=t*9_-[ 5. 待测目标成的像
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n6!Ihip$ LA=>g/+i.X 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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]tdo& wD?=u\% & 7. 走进VirtualLab Fusion
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~4 ~Tcn Tm:#"h\F 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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k- );uZ4PNK/? 使用界面构造光栅结构
%oCjZ"ke - 使用界面配置光栅结构[用例]
:5cu,&<Gv 复杂
系统中的光栅建模
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光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
BWi 7v 正确设置通道以进行多通道
仿真 [A..<[ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
w[A3;]la •使用
参数运行检查影响/更改
+|"n4iZ!) - 参数运行文档的使用[用例]
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$W_o$'crW ;~Gpw/]5E 9. VirtualLab Fusion 技术
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