1. 摘要
riBT5 uZQ)A,#n; 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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YobIbpo }$UuYO/i 2. 建模任务
@FbzKHdV/ \Xkx`C 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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rH 3. 聚焦区域的探测场
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klx4Mvq+/@ N.&K"J 4. 来自测试对象的直接反射
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.KB*u*h YqDw*S{ 3s|tS2^4 5. 待测目标成的像
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*PMql $ h`vM+,I 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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k5ZwGJ#r c{852R 7. 走进VirtualLab Fusion
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/g8yc'{p k(7!W 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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lLg23k{' '/"( `f, 使用界面构造光栅结构
@lJGdp - 使用界面配置光栅结构[用例]
[XQNgSy?z 复杂
系统中的光栅建模
Z>D7C?v:( -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
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7 正确设置通道以进行多通道
仿真 /vQ^>2X% - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
S9L3/P] •使用
参数运行检查影响/更改
JRo{z{!O6 - 参数运行文档的使用[用例]
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tb=(L )WFUAzuN, 9. VirtualLab Fusion 技术
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