1. 摘要
&p#PYs|H 2wO8;wiA 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
fahQ^#&d` 9q0s pGU.+[|( #SHJ0+)o 2. 建模任务
bX[ZVE(L [3=Y 9P: 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
Ma\%uEgTD zdem}kBIe w)J-e gc RCa1S^. 3. 聚焦区域的探测场
Wk^{Tn/] {_W8Qm`. X`<z5W] ! |{|B70v3Co 4. 来自测试对象的直接反射
512p\x@ gjD|f2*x 7]So=%q +EA ")T<l %npLgCF ?$)a[UnqX 5. 待测目标成的像
cb'Ya_ Y\<w|LkD8 ~:,}?9 C<C^7-5 wGMoh.GTh 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
I`xC0ZUKj MZ0cZv$v!~ !m=Js" BbFLT@W4 7. 走进VirtualLab Fusion
q%bFR[p<* @lM-+q(tl XRM/d5 nQ'NS 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
<% mD#S [<
9%IGH Uun0FCA> 使用界面构造光栅结构
BGVnL}0 - 使用界面配置光栅结构[用例]
{B#w9>'b 复杂
系统中的光栅建模
N:'GNMu -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
d|87;;X|u 正确设置通道以进行多通道
仿真 ^^k9Acd~p - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
u1kCvi#N •使用
参数运行检查影响/更改
D\ZH1C!d - 参数运行文档的使用[用例]
e|SNb*_ 4TQmEM, t~}c"|<t ?~sNu k 9. VirtualLab Fusion 技术
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