1. 摘要
[N_)V kpr @ [<B:Tqo 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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ZJ%iiY >/9Qgyc0 2. 建模任务
Id?2(Tg 1$nuh@-ys 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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OP98 sd&T Y.#:l< 3. 聚焦区域的探测场
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X8 x:/]/0 **~1`_7~* 4. 来自测试对象的直接反射
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S20E}bS:> `e}6/~R` Wo,fHY 5. 待测目标成的像
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N3&n"w _d Z#flu Q%V 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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Vee;& `m\l#r2C 7. 走进VirtualLab Fusion
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1V;m8)RF ZnRE:= 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
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@c6\ 使用界面构造光栅结构
Q_FL8w9D~8 - 使用界面配置光栅结构[用例]
(lLCAmK5? 复杂
系统中的光栅建模
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光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
KZI-/H+ 正确设置通道以进行多通道
仿真 giu8EjzK - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
FS6I?q#tQ •使用
参数运行检查影响/更改
j?s+#t - 参数运行文档的使用[用例]
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8@BN6 S3Sn_zqG 9. VirtualLab Fusion 技术
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