1. 摘要
TU-4+o%; P9)E1]Dc$ 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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+mQMzZZTZ 2. 建模任务
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%?J @O/Jy2>3H 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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kCXQHX )Jx +R;Z 3. 聚焦区域的探测场
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9Ij=~p]p .Vm!Ng )j 4. 来自测试对象的直接反射
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g]IRv(gDh :Yi1# wN"j:G( 5. 待测目标成的像
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*C81DQ Y40`~ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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cFcn61x- Z)?i&y? 7. 走进VirtualLab Fusion
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aDrF"j q\2q3}n 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
k[9~Er+ 4~mYj@lvd kvWP[! j?) 使用界面构造光栅结构
0p"l}Fu@` - 使用界面配置光栅结构[用例]
: +Na8\d 复杂
系统中的光栅建模
.<0|V -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
0E*q-$P 正确设置通道以进行多通道
仿真 C|#GODA - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
Y>Oh]? •使用
参数运行检查影响/更改
KIyhvY~ - 参数运行文档的使用[用例]
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h(q,-')l_ 97/"5i9 9. VirtualLab Fusion 技术
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