1. 摘要
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Uvdl JoIffI?{(D 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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q=Q5s?sQc /zM 2. 建模任务
UjUDP>iz.> p e |k}{ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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2Q0fgH2 6E85mfFS 3. 聚焦区域的探测场
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vaS/WEY l '<gkwX 4. 来自测试对象的直接反射
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WR%x4\,d# `gSqwN<x% -}4<P}.5T 5. 待测目标成的像
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fk Xq` '^) 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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#0zMPh /U} a}c .]zm] 7. 走进VirtualLab Fusion
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LhUrVydL 8fY1~\G:\ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
z|x0s0q? Mnn\y Tblp tl !o;`W 使用界面构造光栅结构
tH`!? - 使用界面配置光栅结构[用例]
Wz`MEyj 复杂
系统中的光栅建模
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GhJ -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
E%FCOKw_ 正确设置通道以进行多通道
仿真 \'q 9,tP - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
cNZuwS~, •使用
参数运行检查影响/更改
2WE_NEpJI - 参数运行文档的使用[用例]
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(&npr96f 2^'|[*$k1@ 9. VirtualLab Fusion 技术
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