1. 摘要
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_?.l 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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2. 建模任务
>|<8QomD xPa>-N=* 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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JTcK\t8 ?!H<V@a 3. 聚焦区域的探测场
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yteJHaq D:Zpls. 4. 来自测试对象的直接反射
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Zmf\A Zf<M14iM p#}38` 5. 待测目标成的像
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)I<p<HQD LPbZ. 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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;i`X&[y; Oqzz9+ 7. 走进VirtualLab Fusion
ShanwaCDqv 4%O*2JAw
&)L2a) Xr~6_N{J 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
iZ+\vO?| XJnDx 09h G~T]m . 使用界面构造光栅结构
WlP#L` - 使用界面配置光栅结构[用例]
N m-{$U 复杂
系统中的光栅建模
kNfqdCF{P -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
Xg.'<.!g0 正确设置通道以进行多通道
仿真 wzB*M}3 - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
PPT"?lt*& •使用
参数运行检查影响/更改
l(9$s4R - 参数运行文档的使用[用例]
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i](,s. u814ZN} 9. VirtualLab Fusion 技术
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