1. 摘要
@j6D#./7j )zN
)7 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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N5\<w> 2. 建模任务
yl}Hr* N+\*:$>zt6 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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'D) 3. 聚焦区域的探测场
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ZLkJYZk ^?2txLv,6 4. 来自测试对象的直接反射
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NQG"}=KA bbJa,}R (GQy"IuFh 5. 待测目标成的像
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1jL?z6S k=@Q#=;*[W 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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4Qdg t* &[YG\8sxWa 7. 走进VirtualLab Fusion
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bYtF#Y hCmOSDym 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
c_iF S h+Dok#g %VMazlM15 使用界面构造光栅结构
8.,PgS - 使用界面配置光栅结构[用例]
"\9@gfsp) 复杂
系统中的光栅建模
<ESAoY"RPN -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
Rww KPE 正确设置通道以进行多通道
仿真 pk/#+r; - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
-l\@50,D •使用
参数运行检查影响/更改
M;(lc?Rv - 参数运行文档的使用[用例]
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ri:fo'4TO {M$1?j"7 9. VirtualLab Fusion 技术
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