1. 摘要
$osDw1C TT29LC@ 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
Qy9#(596 X}S<MA` T@f$w/15 >pn?~ 2. 建模任务
:]?I| .a %40|7O 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
eLl;M4d U?.VY@ jgukW7H r_Xk: 3. 聚焦区域的探测场
Plt~l3_ sdrE4-zd MF>?! ! G0<m3 Up 4. 来自测试对象的直接反射
Nhuw8Xv zi<C5E` Z(CzU{7c :5p`H bY]aADv\ KZ&8aulP 5. 待测目标成的像
^F_c' %m{h1UQQ+ *y u|]T OBu$T& 9'T
nR[> 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
@_0XK)pW UDGVq S!,E PYW~x@]k%, CSIW|R@
7. 走进VirtualLab Fusion
ys09W+B7 wR\%tumk q,kdr)- Fb.wm 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
8) 'OXR0/ X8y&|uH O &;Cca 使用界面构造光栅结构
Qp]V~s( - 使用界面配置光栅结构[用例]
Me2%X>; 复杂
系统中的光栅建模
7'CdDB6&. -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
}-! 0d*I 正确设置通道以进行多通道
仿真 r
",..{ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
D8G5,s-. •使用
参数运行检查影响/更改
}cEcoi<v! - 参数运行文档的使用[用例]
MBp%TX! ;",W&HQbE bRfac/:} UM3}7| 9. VirtualLab Fusion 技术
'HzF/RKh Wv8?G~> PsaKzAg?