1. 摘要
Q*&k6A"jx eb10=Lmj 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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v@n0ma= J7a_a>Y 2. 建模任务
1!/WC.0 S3fyt]pp 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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+s$` kl {&3{_Ml 3. 聚焦区域的探测场
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jc0Trs{Jf 'j&+Pg)@ 4. 来自测试对象的直接反射
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"fH"U1Bw /U@T#S Aq3.%,X2H 5. 待测目标成的像
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)Up'W <<vT"2Q] 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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IVY{N/ 3| x )w6 7. 走进VirtualLab Fusion
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n-)Xs;`2 .5AyB9a%& 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
@a]O(S>Ub n`TXmg 4z*An}ol] 使用界面构造光栅结构
-F338J+J24 - 使用界面配置光栅结构[用例]
:Sc"fG,g) 复杂
系统中的光栅建模
TQ`4dVaf -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
@!np
0# 正确设置通道以进行多通道
仿真 9vL n#_ - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
%HWebZ-yY •使用
参数运行检查影响/更改
9]]isE8r - 参数运行文档的使用[用例]
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DFIYV 8p0ZIrD% 9. VirtualLab Fusion 技术
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