1. 摘要
i_:#][nWX >FS}{O2c 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
Sqx'nXgO 0jt@|3
uFuP%f!yY
akG|ic-~ 2. 建模任务
p]qz+Z/
Wf~PP; 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
Y?- "HK: a@-bw4SD
CIVV"p`} X o[GD`t 3. 聚焦区域的探测场
;B!p4hu I#'yy7J
fg/hUUl p!EG:B4 4. 来自测试对象的直接反射
';m;K
(g :kC*<f\
H`,t "I
)d>Dcne S0ReT*I L)
UCVm 5. 待测目标成的像
n(.L=VuXn %pLqX61t=
`Ue5;<K-/
bc;?O`I< wEw;],ur 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
e-nwR nUK;M[
iu$Y0.H@ Lj/ 7. 走进VirtualLab Fusion
ZH`(n5 `/9I` <y
a`zHx3Yg 1Beh&pl^ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
X`fm5y g1 =>u R,fAl"wMu 使用界面构造光栅结构
^>^h|$ - 使用界面配置光栅结构[用例]
8Un0<+b 复杂
系统中的光栅建模
wYDdy gS -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
\odns 正确设置通道以进行多通道
仿真 NN5G
'|i - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
{;Oj •使用
参数运行检查影响/更改
\Y`psSf+ - 参数运行文档的使用[用例]
qTN30(x2 s#(7D3Pr#
{R/e1-; WO6+r?0M2 9. VirtualLab Fusion 技术
etQS&YzC +11 oVW
yZ]?-7