1. 摘要
Jg:-TK/ \.c
)^QQ 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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$3'+V_CZ3 u-{l,p_H 2. 建模任务
-;\+uV X~he36-+< 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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(nD$%/uK' 1N!g`=} 3. 聚焦区域的探测场
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Qe$>Jv5 K$cIVsfr 4. 来自测试对象的直接反射
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x ~P 4E-A@FR 5. 待测目标成的像
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p=+*g.,O +;*(a3Gp 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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X$ B]P7G7 -;)SER3Wq4 7. 走进VirtualLab Fusion
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SxZ^ "\H I?Jii8|W9 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
Gr"7w[|+ pOVghllO ?4>y2!OC9 使用界面构造光栅结构
[k~+(.2I - 使用界面配置光栅结构[用例]
.x!7 复杂
系统中的光栅建模
z3Y)- -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
B~;LBgpp 正确设置通道以进行多通道
仿真 BgWz<k}5M - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
C6'*/wq •使用
参数运行检查影响/更改
2 Z`$ - 参数运行文档的使用[用例]
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R_Gq8t$ 8<-oJs_o+ 9. VirtualLab Fusion 技术
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