1. 摘要
qde.;Yv9 *.AokY)_a 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
eqQA st#~ &'UYV>
Q9Wa@gi| SqTO~zGC 2. 建模任务
=9e()j DQd~!21\| 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
INsc!xOQ }.O2xZ;}]'
";cWK29\f C$xU!9K[+ 3. 聚焦区域的探测场
*Y6BPFE*4 =m=`| Bn
utC]GiR 2Tt@2h_L 4. 来自测试对象的直接反射
T&I*8 R~ c.Pyt
,YJ\
$?
_H|x6X1- vDz)q T%Vii*?M 5. 待测目标成的像
HiEXw}Hkz [L8Bgw1
G:$wdT(u
|r!G(an1x4 I3D8xl>P\ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
l~wx8
,?G ;=Jj{FoG%
2:Q9gru $$2\qN - 7. 走进VirtualLab Fusion
>sdj6^[+ ?&ThMWl
qC40/1-m8K iV[g.sP- 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
d {a^ +Cl(:kfYB ~S15tZ $ 使用界面构造光栅结构
MRiQaUg2 - 使用界面配置光栅结构[用例]
/i$E |[ 复杂
系统中的光栅建模
@;M( oFS9 -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
G*ZHLLO4S\ 正确设置通道以进行多通道
仿真 dU\,>3tG - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
~sshhuF •使用
参数运行检查影响/更改
0#KDvCBJ - 参数运行文档的使用[用例]
qm&}^S R3<>]/1p|P
UMuqdLaT9 ZFNM>C^ 9. VirtualLab Fusion 技术
ngj=w;7~+ M2_sxibI
#.UooFk+Y