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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 x%acWeV5  
    P'.M.I@  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       pEc|h*p8  
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    2. 建模任务 M;BDo(1  
    2v ^bd^]u:  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) w\ hl2JTy  
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     w"s;R8  
       L*k[Vc  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ?(9/V7HQ.5  
    \a:#e%]qz9  
     "62vwWrwO  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7H$0NMP  
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    6. 3D仿真与结果对比 )E--E+j  
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    7. 走进VirtualLab Fusion uSZCJ#'G  
    p2]@yE7w  
     + .Pv:7gh  
    +mM=`[Z`??  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 #6<  X  
    'H"wu /#  
    CqMm'6;$a}  
     构造光栅结构 P`/;3u/P  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] J~=bW\^I  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]  1 &24:&  
     计算光栅结构内部的场分布 >FO4]  
    $XBn:0U  
     grvm2`u  
    Y ^s_v_s  
    9. VirtualLab Fusion技术 81m3j`b  
    UDjmXQ2,  
    F32N e6Y6"  
     
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