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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 D0&{iZ(  
    8Cr?0Z  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       dj76YK  
    ZWJFd(6  
    2. 建模任务 2O5yS  
    o*u A+7n  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    f(E  'i>  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) YtrMJ"  
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     ^ffh  
       w`Dzk. 2  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) a|\_'#  
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     C6eon4Ut  
    P + nT%  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ~I>B5^3  
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    6. 3D仿真与结果对比 c"J(? 1O  
    >}/"g x  
     !`='K +  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 1W HR;!u  
    4f"a/(>*  
     0p$?-81BJ  
    0r=Lilu{q  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 FO}4~_W{  
    ' n~N*DH  
    v4|kiy  
     构造光栅结构 {R,rc!yF  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] M42D5|tZc  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] i4!n Oyk  
     计算光栅结构内部的场分布 tO?*x/XC{  
    m= fmf(  
     S-yd-MtQp  
    BoIe<{X(9  
    9. VirtualLab Fusion技术 yZFv pw|g  
    p9_45u`u2  
    ;wprHXjq  
     
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