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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 7J.alV4`/  
    L1 O\PEeT  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       Tz:mj  
    u#ag|b/C:  
    2. 建模任务 R6ca;  
    cEhwv0f!qS  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    t9;yyZh  
    ^dM,K p  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    Ox Zw;yD  
    wspZ Eu>C;  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) $&OoxC  
    y?zNxk/p  
     +W x/zo  
       )u7y.o  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) $2~I-[  
    t6W$t  
      :RBp  
    b<u   
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ` zeZ7:  
    MR}GxI  
     Lp`q[Z*  
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    6. 3D仿真与结果对比 +vY8HQ|v  
    R/VrBiw  
     xxpvVb)mF  
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    7. 走进VirtualLab Fusion MdV-;uf  
    &!x!j ,nT  
     \#?n'qyj  
    -]C3_ve  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 5|._K(M  
    -Jr6aai3+  
    p(-f$Q(  
     构造光栅结构 @doo2qqIe]  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 6p|*H?|It  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] %9cu(yc*}  
     计算光栅结构内部的场分布 ?`#)JG,A7  
    uQIa"u7  
     sN]O]qYXJ  
    ?fr -5&,  
    9. VirtualLab Fusion技术 ZJlmHlAX  
    @F%H 1  
    tXDO@YH3S  
     
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