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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 Dy>U=(S  
    |]qwD,eiH,  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       .Yl*kG6r  
    P #_8$#G3  
    2. 建模任务 v-* CE[  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 2>s@2=Aq  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) yIS.'mK  
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     4:!KtpR[O  
    w|6;Pf~1y)  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) kNX(@f  
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    6. 3D仿真与结果对比 L{>XT  
    u9AXiv+K  
     Zi+>#kDV  
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    7. 走进VirtualLab Fusion Z%*_kk  
    Fm\ h883\  
     >$gWeFu  
    cJ 5":^O  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 :K!@zT=o  
    TQx''$j\  
    W\{gBjfE  
     构造光栅结构 =rj5 q  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] Ga\E`J$c  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] wW4/]soM  
     计算光栅结构内部的场分布 MB<oWH[e)  
    H79|%@F"  
     `sZ/'R6  
    >w:px$g4  
    9. VirtualLab Fusion技术 a#X[V5|6Q  
    j)Z3m @Ii5  
    ^>?gFvWB%  
     
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