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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 ,|]J aZq  
    SGAzeymw  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       gg/`{  
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    2. 建模任务 %!<Y  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) = s&Rk~2b/  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) m@Z#  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) PF%-fbh!~  
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    6. 3D仿真与结果对比 bv+u7B6,  
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    7. 走进VirtualLab Fusion 4zoQe>v~  
    NAR6q{c  
     AC,RS 7  
    or]v]*:~l  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 qe0D[L  
    Z8|<%1Kge  
    7~7L5PRW  
     构造光栅结构 '75T2Ud  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ./YR8#,  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] PYkhY;*  
     计算光栅结构内部的场分布 q/i2o[f'n  
    s3>a  
     H"A%mrb  
    xRh 22z  
    9. VirtualLab Fusion技术 =X$ieXq|  
    hOj{y2sc  
    y4^u&0}0$  
     
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