1. 摘要 /1?{,Das=
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 +"PME1 *N%)+-
2. 建模任务 1c:/c|shQ_ 2\G[U#~bi 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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fP{IW`t}] 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
cxnEcX\ pB,l t6 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Hx ojxZwm
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h{CyYsQ 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Dos';9Uq
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T_<: l:sfM`Z^[ 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) U6~79Hnt
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O,0j+1? X9#i!_* 6. 3D仿真与结果对比 $K_-I8e|
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29f4[V X ? 1Uq ud 7. 走进VirtualLab Fusion nT@FSt
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构造光栅结构 g HKA:j`c
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 1|5TuljTd
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计算光栅结构内部的场分布
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W+aW2 'BNZUuUl 9. VirtualLab Fusion技术 UsdUMt!u &p.7SPQ8/ 4_o+gG%HaM