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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 k\[(;9sf.  
    wj6u,+  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       I(^0/]'  
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    2. 建模任务 %rb$tKk  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    J$51z  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 0Ncpi=6  
    4fs d5#  
     l(NQk> w  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7}VqXUwabx  
    #VrIU8Q7'  
     5;}W=x^$a  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) %]Z4b;W[Y  
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     J[<Zy^"Y;  
    ]P3m=/w  
    6. 3D仿真与结果对比 Mm$\j*f/  
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    7. 走进VirtualLab Fusion >>J3"XHX  
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     *U^Y@""a  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 r+bGZ  
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    ]QaKXg)3q  
     构造光栅结构 8)0]cX  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ?z1v_Jh  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] MOD&3>NI  
     计算光栅结构内部的场分布 LH4A!a]  
    3Cj)upc  
     elR'e6Q  
    X8*g#lO?  
    9. VirtualLab Fusion技术 p{L;)WTI  
    '<o3x$6 *  
    Lyhuyb)k5^  
     
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