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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 5gY9D!;:0D  
    RTvzS]  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       \UBQ:+3  
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    2. 建模任务 '1Q [&  
    2^=.jML[  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5 _ a-nWQ  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) QLe<).S1B2  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) DU1\K  
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    6. 3D仿真与结果对比 f/RDo4  
    *'nZ|r v  
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    7. 走进VirtualLab Fusion eFdN"8EW  
    _=RK  
     k>q}: J9V  
    )90K^$93"  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 6b9 &V`  
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     构造光栅结构 &[|P/gj#>  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] SHT^Etri  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] [*AWCV  
     计算光栅结构内部的场分布 gtV*`g  
    ,7nA:0P  
     N_),'2  
    Z* L{;  
    9. VirtualLab Fusion技术 <tp#KZE  
    Wx-vWWx*Q  
    @%sr#YqY  
     
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