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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 k3UKGP1  
    i\C~]K~O!  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       N*'d]P2P`J  
    "bA8NQIP  
    2. 建模任务 ~IQw?a.E  
    LfX[(FP  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    {Z1^/F v3  
    }TG=ZVi  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    e VRjU  
    "p"~fN /I9  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) c4iGtW  
    )<vuv9=k\%  
     gUrXaD#  
       jbTsrj"g  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) +J7xAyv_Oz  
    _e$T'*q  
     CDT3&N1'R  
    Yl"l|2 :  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) !T~C=,;  
    oNp(GQ@0  
     Mcqym8,q|3  
    Qw.j  
    6. 3D仿真与结果对比 ~ ":}Rs  
    (}MN16!  
     l g*eSx>M  
    6Jd.Eg ~A7  
    7. 走进VirtualLab Fusion ,7ZV;f 81  
    .y>G/8_i  
     W5R /  
     f~w!Z  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 X^)v ZL?  
    L[O.]2  
    xMHu:,ND  
     构造光栅结构 aLO'.5 ~^  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] dr]Pns9  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] UBM :.*wN  
     计算光栅结构内部的场分布 d< b,].  
    @<C<rB8R  
     VTJxVYE  
    yR[htD`  
    9. VirtualLab Fusion技术 N_R(i3c6U!  
    h4tAaPcS+  
    ^e(*{K;8  
     
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