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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 ]gm3|-EiY  
    x K\i&A  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       _x#y   
    /C5py&#-I  
    2. 建模任务 D%c^j9' 1  
    +7n vy^m  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    >K1e=SY  
    Z7[S698  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    w'VuC82SZ  
    UvB\kIH  
    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) >i.$s  
    dLwP7#r  
     ?i\V^3S n$  
       Q u7ML]e?z  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Qz%q#4Zb  
    =MD)F  
     -U?%A:,a|  
    NLYf   
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) b9 li   
    jUR* |  
     }1+2&Ps50  
    [;F!\B-  
    6. 3D仿真与结果对比 2Ur&_c6 P  
    fQg^^ZXe"  
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    7. 走进VirtualLab Fusion U2vb&Qu/  
    ) =x4+)9  
     >9#) obw  
    &TrL!9FtJ  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 .pm%qEh  
    TL7qOA7^X  
    0Q,Tcj  
     构造光栅结构 yf R0vp<&  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] /Dt:4{aTOC  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] [Fk|m1i!  
     计算光栅结构内部的场分布 >TawJ"q-6R  
    u(? U[pe[  
     0oBAJP  
    B,Tv9(sv  
    9. VirtualLab Fusion技术 wgvCgr<  
    _ D8 zKp  
    H!6&'=c{k  
     
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