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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 +0Gep}&z.  
    9f,:j  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       p0K;m%  
    m+vEs,W.  
    2. 建模任务 sd53 _s V  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 5H+k_U  
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     )_cv}.xe  
       "ux]kfoT  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) \BXVWE|  
    p8l#=]\ ;  
     8n5nHne  
    =joXP$n^  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) Nl`ry2"<  
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    6. 3D仿真与结果对比 p^P y,  
    5Q`n6x|  
     ?(yFwR,(  
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    7. 走进VirtualLab Fusion D 'cY7P  
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     b6&NzUt34V  
    {yMA7W7]  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 JWHt|zB g  
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     构造光栅结构 uz3pc;0LPY  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] '-33iG  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] JZ/O0PW  
     计算光栅结构内部的场分布 [P=[hj;  
    FK# E7 K  
     6L9[U^`@  
    2, V+?'^j  
    9. VirtualLab Fusion技术 ~h0BT(p/  
    lk1Gs{(qhH  
    'h>5&=r  
     
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