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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 %@^9(xTE  
    ) ^ 7- qy  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       I/_,24[  
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    2. 建模任务 NszqI  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) C *]XQ1F4  
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    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) u& <NBxY  
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    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) p!7(a yu  
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    6. 3D仿真与结果对比 DEt;$>tl 5  
    7'RU\0QG  
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    7. 走进VirtualLab Fusion /_i]bM7W  
    -5Aqf\  
     <ELqj2`c  
    O4T_p=Xc  
    8. VirtualLab Fusion的工作流程 ZG)6{WS  
    23'Ac,{  
    C8$/z>tQ  
     构造光栅结构 gsVm)mkd  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] 5](,N^u{):  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] {}tv(8]^  
     计算光栅结构内部的场分布 k@Bn}r  
    BV eIj }  
     hSXZu?/  
    @pV&{Vp  
    9. VirtualLab Fusion技术 Q#}c5TjVr  
    9` G}GU]@}  
    79Q>t%rD[  
     
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