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    [技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-14
    1. 摘要 %@q/OVnM  
    *m>XtBw.  
    在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。       B8G9V6KS-  
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    2. 建模任务 bjq+x:>  
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    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
    HxE`"/~.7k  
    $ap6Vxjr  
    采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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    3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) U %,K8u|WH  
    fR^aFT  
     q@@C|oqEX  
       }Ghh%]  
    4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 8T]x4JQ0  
    XX9u%BZ~  
     {y\5 9  
    8am/5o  
    5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) $qp,7RW  
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     v:xfGA nP  
    gX'nFGqud  
    6. 3D仿真与结果对比 .29y3}[PO  
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    7. 走进VirtualLab Fusion Vmb `%k20'  
    z>&|:VGG  
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    8. VirtualLab Fusion的工作流程 2y;J 11\  
    +<TnE+>j  
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     构造光栅结构 "'9[c"Iz  
    - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] wU $j/~L  
    - Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] $TK<~3`  
     计算光栅结构内部的场分布 (Z)F6sZ`8  
    <q<kqy5s-R  
     MmL)CT  
    &}+^*X  
    9. VirtualLab Fusion技术 {wS)M  
    + m+v1(@  
    xkPH_+4i8  
     
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