1. 摘要 6~ y'
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 r{d@74 *)B \M> 2. 建模任务 rxMo7px@}I am3JzH 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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F~E)w5?\O 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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`_GCS,/t 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) S}h
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e~)4v 5QXU"kWH 6. 3D仿真与结果对比 r9bAbE
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ZHeue_~x4 paN=I=:*M 8. VirtualLab Fusion的工作流程 Hr}"g@ <
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构造光栅结构 MW+DqT.h
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] *Uy>F[%@
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] ^)Y3V-@t
计算光栅结构内部的场分布 }D)eS |B
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Zp_j\B ZW"f*vwQo 9. VirtualLab Fusion技术 u&o4?]6 =z9,=rR4 @##}zku