1. 摘要 @Y
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在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。 UP;Q= t wmo{YS3t| 2. 建模任务
\Mb(6~nC [q-;/ed 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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XZq 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
4.|-m.a Wp5]Uk 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) sEce{"VC
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tAqA^f*{ k6Ihc?HL 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) TMJ9~"IO
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7DtIVMiK X9fNGM1 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) J&eAL3"GF
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bj@xqAGl 4xm&pQo{V6 6. 3D仿真与结果对比 x;]x_fz
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Y@Y`gF6F XHs d- 7. 走进VirtualLab Fusion 3AURzU
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Kax#OYLpg .f>,6? 8. VirtualLab Fusion的工作流程 y%4 Gp
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构造光栅结构 9x=3W?K:,
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例] ~r<p@k=.#0
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例] !k,<|8(0
计算光栅结构内部的场分布 $uCiXDKCq
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