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摘要 !`C?nY
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"#XtDpGk 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 v!!;js^ )H+h ;U
建模任务 9UmBm #"
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 NTVHnSoHh o>K &D$J;O 微结构 .WO/=# O
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 {|p"; u J l qXc 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： B<C&ay
AI R{s7N 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 Q ( blW
Lv3XYZgW~ 微结构组件的配置 Rd vn)K
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 %2zas(b9j uwId - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 =1R i]b - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 Y@ObwKcG - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 1h{>[ 'L - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 en nR@pg
$ 59nu7yr 总结-组件… Y.(v{l
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 *3P3M}3~\ %`eJ66T  PqVW'FYe jp% +n 监测器平面上的衍射图案 8,_ -0_^$
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 qP&by Es" 5Yn{?r\#F 监测器平面上的衍射图案 & & 6*ez
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 >dyhox2*" (*MNox?w 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 %
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xC[~Fyhp 高度缩放调制 hHCzj *5
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 r|*:9|y{"/ U Ow~rK 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 P`p6J8}4
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 n"mJEkHE D*CIE\+ VirtualLab Fusion技术 XpR.rq$]
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