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摘要 o{[YA} x c
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HyWCMK6b 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 *;*r 8[U}q \)|hogI|f
建模任务 U4B( #2'
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 #;nYg?d= yz8jw:d^- 微结构 o " #\
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7Sk+ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： g}',(tPMZ
E^eVvP4uC@ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 uW36;3[f#1
n6a`;0f[R 微结构组件的配置 W 6/yn
3:i@II
 )+ 2hl LSr]S79N1 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 k\GcHI- - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 dlTt _. - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 [HZv8HU| - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 A~t
j/yq9
Z?m3~L9L2 总结-组件… 6 ~w@PRy
(J FWna0@
 ?<'}r7D "1 M[5\Ax  rh}J3S5vp U\*J9 监测器平面上的衍射图案 9mTJ|sN:e
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 D!IY&H,wo WEi2=3dV 监测器平面上的衍射图案 q5)O%l !
G*P#]eO
 7%eK37@u x+@rg];m 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ,1o FPa{?
uk<9&{ 高度缩放调制 v #j$;
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 :! !at:> ?+}_1x` 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Y glmX"fLf
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