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摘要 ]YwvwmZ t$b{zv9C
@ R;o $n ]j^rJ|WTH 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 u#v];6N q%8Ck)xz 建模任务 #l-/!j 17B`
km9@*@) <'z.3@D 微结构 teg[l-R"7z e^Glgaf
uZ(,7>0
(t2vt[A6ph g9:V00^< 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: dmUa\1g# YfU6mQ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 :V:siIDn @!2vS@f 微结构组件的配置 a
#Pr)H I8{ohFFo
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f>nm - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 I"r[4>>B>0 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 vB1nj<]&z - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 g2W ZW#a) - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 AWz|HF#- pJ H@v
&a 总结-组件… `NARJ9M zc%HBZ3p
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V Dh B*k<S k2ZMDU 监测器平面上的衍射图案 Ue2k^a*Ww <l"rn M%
@[w.!GW% ]m"6a-,` 监测器平面上的衍射图案 ,3FG' q2 ~mYCXf oc{
geEETb}+y 95hdQ<W 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 5!}fd/}Uk x$/:%"E 高度缩放调制 K8g9IZ*lT
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qIpO p)w{}@%r 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 /^9yncG;> 2)47$eu
/H<tv5mXJ [eO6H2@=z VirtualLab Fusion技术 RL~]mI!U anxwK47
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