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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 ]YwvwmZ  
    t$b{zv9C  
    @ R;o $n  
    ]j^rJ|WTH  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 u#v];6N  
    q%8Ck)xz  
    建模任务 # l-/!j  
    17B`  
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    <'z.3@D  
    微结构 teg[l-R"7z  
    e^Glgaf  
    uZ(,7>0  
    (t2vt[A6ph  
    g 9:V00^<  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: dmUa\1g#  
    YfU6 mQ  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 :V:siIDn  
    @!2vS@f  
    微结构组件的配置 a #Pr)H  
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    a3[lZPQe  
    @y{ f>nm  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 I"r[4>>B>0  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 vB1nj<]&z  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 g2W ZW#a)  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 AWz|HF#-  
    pJ H@v &a  
    总结-组件 `NARJ9M   
    zc%HBZ3p  
    SoL"M[O  
    }tUr V   
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    k2ZMDU  
    监测器平面上的衍射图案 Ue2k^a*Ww  
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    ]m"6a-,`  
    监测器平面上的衍射图案 ,3FG' q2  
    ~mYCXfoc{  
    geEETb} +y  
    95hdQ<W  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 5!}fd/}Uk  
    x$/: %"E  
    高度缩放调制 K8g9IZ*lT  
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    a qIpO  
    p )w{}@%r  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 /^9yncG;>  
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    /H<tv5mX J  
    [eO6 H2@=z  
    VirtualLab Fusion技术 RL~]mI!U  
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    V( SRw  
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