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摘要 @}UOm- M
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3 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 M GC=L . ?_{{iil
建模任务 7mnO60Z8N
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 85"Szc-# ) 5`^@zx 微结构 clqFV
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 2|!js t 0@' -g^PS 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 3J4OkwqD
1^hG}#6_ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 O:V.;q2]U
H RahBTd(z 微结构组件的配置 f~?5;f:E
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 y1Br4K5C + tkm,> s - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 F$v ^S+Ch - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 "JF - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 Q Wm
g#2 ' - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 "OP$n-*@%
fCb&$oRr! 总结-组件… 4nd)* 0{ f
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 pTQ7woj} 2MXg)GBcU>  !k 'E Z~
q="CA4 监测器平面上的衍射图案 4. %/u@rAi
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 >r:z`^p xjDaA U, 监测器平面上的衍射图案 ywjD.od"v
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 0}_1 ZU 4GJx1O0Ol 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 <aMihT)dd
A8nf"mRD: 高度缩放调制 p|>/Hz1v
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 \ o? on\ahk, y] 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 >tkU+$;-
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 A{hST~s (a|Wq{`[ VirtualLab Fusion技术 lt l(S Ii
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