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摘要 'QV4=h` k{bba=<
p5H Mg\hT 3Q ]MT 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 x9ws@=[: & aLR'*]6 建模任务 I0ie3ESdN
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y1'/@A1 S77Gc:[;8 微结构 ;I7Z*'5! 4Ek<
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r1; ^W zV&3l9?U 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: soohyK8 dG rA18 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 L9kP8&&KK *=Fcu@ 微结构组件的配置 dg!sRm1iZ: |s^ar8)=)
OiOL4}5( c1<g!Q&E - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Kq?7#,_ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 }n=NHHtJ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Ov|j{}=L=9 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 btYPp0o~ 5R Hs 总结-组件… Xm4wuX"e= gMvvDP!Wp
<#Lw.;(U;k g3Q #B7A '!I?C/49k ,J^Op
监测器平面上的衍射图案 3q>"#+R.t xr/k.Fz
st2>e1vg s`B'vyoaa 监测器平面上的衍射图案 'YG`/@n; w s=T R
la4,Z U)!AH^{32 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 E;4a(o]{t O, {
( 高度缩放调制 p(G? A-io-P7qyj
hF~B&^dd. JW\"S 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 J]0#M:w& rYJ))@
*LRGfk+h ie!4z34 VirtualLab Fusion技术 9zyN8v2 s]iOC6v
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