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摘要 5 `RiS]IO]
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D'hW| 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 c9nH}/I_ ~|AwN [
建模任务 7 +@qB]Bi<
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 $VQtwuYt y{a$y}7#X 微结构 *cg(
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 Iu35#j Ep4Hqx $ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： C}*cx$.
oo$MWN8a>r 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 7 #=}:3c
' 2-oh 微结构组件的配置 & X]\)`j0
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 %&\ jOq~ @MK"X}3 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 5 Fm=/o1 - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 A;u" <KG? - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 9cv]y# - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 M#@aB"@J>
9lo [&^< 总结-组件… 9ElCg"
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 HOp-P8z 1Fi86  j` /&r*zNq Ij'NC C 监测器平面上的衍射图案 JkA|Qdj~Mr
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 m2Uc>S Zzl,gy70 监测器平面上的衍射图案 j,2l8?
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 S2VVv$r_6 '~wpP=<yyF 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 m!OMrZ%)}
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zW2> 高度缩放调制 s/1 #DM"
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 qOG}[%<^n7 V8z`qEPM 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 ;#G%U!p
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 fH8!YQG8$ Gr(|R a . VirtualLab Fusion技术 uC]Z8&+obb
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