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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 \,&,Q  
    JFewOt3  
    LDc?/ Z1  
    6?i]oy^X]p  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ?71?Vd  
    l1HMH?0|  
    建模任务 xq$(=WPI  
    D`d*bNR  
    X$BN &DD  
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    微结构 <;kcy :s  
    ![1+=F !  
    >8M=RE n4  
    Fj;];1nt  
    n/9.;9b$I  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: !:Z lVIA  
    QiKci%=SX  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 pW5ch"HE  
    AS5' j  
    微结构组件的配置 n#$sLXVy  
    h @AKfE!\~  
    v'RpsCov  
    #K#BNpG|  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 4|U$ON?x  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Jt ++3]  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ?qC6p|H  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 yM}~]aQ y  
    >^:*x_a9  
    总结-组件 L!;"73,&(8  
    Y8v13"P6  
    w :nYsuF  
    $;iMo/  
    H2kib4^i  
    ml,FBBGq|-  
    监测器平面上的衍射图案 $Z|HFV{  
    /aTW X  
    JkShtLEr  
    Nwwn #+  
    监测器平面上的衍射图案 atiyQuT6Wh  
    6;:z?Q  
    2x5^kN7  
    ~7=eHU.@  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 zsM2R"[X  
    ThvgYv--B  
    高度缩放调制 b1TIVK3m  
    g ?.y7!m  
    9epMw-)k  
    ej,)< *  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 =fRC$  
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    VirtualLab Fusion技术 )-\C{>  
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