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摘要 tF%QH[
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#w|5 jN? 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 ke]Yfwk R$d7\nBG
建模任务 ?-,6< K1
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}nLS3t hl]S'yr 微结构 ve fU'
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- aa RB;BQoGX 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： >
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+?AW>&68y 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 qrE0H
x<>YUw8` 微结构组件的配置 U=QA e
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 hZU 1O cz (G]{N - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 6 64q~_@B1 - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 $ >r5>6 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ~OCZz $qA - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ]0-< >
YPE nNt+ 总结-组件… D/: 3R ZF
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 H1&RI4XC _Zy T 3P&  x7$ax79ly "dtlME{Bx 监测器平面上的衍射图案 IaasHo\
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 ^P$7A ]! zPE$ 监测器平面上的衍射图案 YgimJsm
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分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 OZ Ob1D
1~Mn'O% 高度缩放调制 |' ;7v)CIG
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 (B}+h gtYRV*^q 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 x~+-VF3/
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 J?D\$u: s|2}2<+ VirtualLab Fusion技术 S(t{&+Wc
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