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摘要
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Z1 6?i]oy^X]p 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ?71?Vd l1HMH?0| 建模任务 xq$(=WPI D`d*bNR
X$BN&DD <hkSbJF 微结构 <;kcy :s ![1+=F!
>8M=REn4
Fj;];1nt n/9.;9b$I 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到:
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lVIA QiKci%=SX 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 pW5ch"HE AS5'j 微结构组件的配置 n#$sLXVy h@AKfE!\~
v'RpsCov #K#BNpG| - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 4|U$ON?x - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Jt++3] - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ?qC6p|H - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 yM}~]aQ y >^:*x_a9 总结-组件… L!;"73,&(8 Y8v13"P6
w :nYsuF $;iMo/ H2kib4^i ml,FBBGq|- 监测器平面上的衍射图案 $Z|HFV{ /aTW X
JkShtLEr Nwwn #+ 监测器平面上的衍射图案 atiyQuT6Wh 6;:z?Q
2x5^kN7 ~7=eHU.@ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 zsM2R"[X ThvgYv--B 高度缩放调制 b1TIVK3m g?.y7!m
9epMw-)k e j,)<* 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 =fRC$ Z)&!ZlM
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