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摘要 c<t3y7
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 E?c{02f u
&j ~|3 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 2
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建模任务 IP4b[|ef
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 >cr _^(UW& ? 3E_KGI 微结构 yPxG`w'
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=iW h9OL%n 7m' 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： EX_sJ c
_)Z7Le:f! 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 W$VCST
bCx1g/
微结构组件的配置 GPqB\bxb'
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 LK-6z w5=( _*?"[TYfX - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 _I}L$ - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 V]PhX VJ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 L) nVpqm - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 UE$[;Zg
'V9aB5O&
总结-组件… sq6% =(q(?
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.&fS  kpr eTeA] {s^ryv_} 监测器平面上的衍射图案 $ ^D(%
R{Kd%Y:2Y
 /zP)2q^ t~W4o8<w 监测器平面上的衍射图案 w wRT$-!
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 |ukdn2Q { $TB#=G 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 {F9Qy0.*u
Nb9V/2c;V 高度缩放调制 > FcA ,
7LZb*+>
 Pd N\0B ` 64?$TT 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 h/bYtE
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 <[f2ZS6 -/7=\kao% VirtualLab Fusion技术 GvtI-\h]
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