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摘要 z%4 E~u10
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b]-~{' + 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 .5S< G)Ja
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建模任务 "8 .to=Lx
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 (f-Mm0%[ ^~p^N < 微结构 S=
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 zeC@!,lH \Zn% r&( 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： dy }O6
B4&K2;fg_ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 tRUGgf`
L+=pEk_ 微结构组件的配置 &N +,{7.
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 OI8Hf3d= Q5ZZ4`K! - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 4 !q4WQ ; - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 wt@Qjbqd8 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ~ z< &vQ= - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 %(P\"hE'
L~Hl?bK 总结-组件… (Yv )%2
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 !1X^lFf;~ x;F^7c1  j;BMuLTm1 9=l6NNe)| 监测器平面上的衍射图案
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 hoj('P2a#n 8E/wUN,Lxj 监测器平面上的衍射图案 hja;d1yH
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 u%s@B1j 'Nqa=_<W W 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 !{WI N%O
doX8Tq 高度缩放调制 7\T~K Yb?
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 }C'H@:/ 9B&fEmgEc? 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 u2FD@Xq?
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 en5sqKqh+ $:4* ?8 K2 VirtualLab Fusion技术 ,Fv8&tR
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