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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 o66}yJzmD  
    nU7[c| =  
     6Z"X}L,*  
     x[e<} 8'$(  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 VI *$em O0  
    qIT@g"%}t  
    建模任务 7@W>E;go  
    (#c:b  
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    EfT=?  
    微结构 dSHDWu&  
    b&U62iq  
    1?l1:}^L  
     ZbKg~jdF  
    ]7A'7p $Y  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： <N~K ;n v  
     ;!Fn1|)  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 5|)W.*Q  
     =Dj#gV  
    微结构组件的配置 %8v\FS  
    B%68\  
     ]6j{@z?{  
    kyV8K#}%8  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Zv{'MIv&v  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 1_G^w qk  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 P.DK0VgY  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 (/$^uWj  
     }x ,S%M-  
    总结-组件… {{!-Gr  
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     Q/Rqa5LI:  
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    |I=T @1_D  
    监测器平面上的衍射图案 kq-) ^,{y  
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    监测器平面上的衍射图案 l U]nd[x  
    m4Zk\,1m.|  
     ~}Pfu  
    % ] U  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 %z$#6?OK^  
     Dha1/g1q  
    高度缩放调制 "J1 4C9u   
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    U $UIN#  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 1Z&(6cDY8M  
    XK vi=0B  
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    ,]D,P  
    VirtualLab Fusion技术 19] E 5'AI  
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