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摘要
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KS R'X0' #^9a[ZLj0 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 z]R% A:6K mc|8t0+1` 建模任务 1$nuh@-ys i{}Q5iy
?#|in} gCZm7dgo 微结构 t]XF*fZH |6w{%xC?"
Os[50j!4>
E.4 X, \^Z DH 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: ,L;%-}#$ I6Oc`S!L 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 *|S{%z9> `e}6/~R` 微结构组件的配置 Wo,fHY "64D.c(r$
g]PC6xr38 6G;t:[H G - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 8C5*: x9l - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 0:zDt~Ju - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ,H5o/qNU`{ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ngl8) B T%@qlEmf 总结-组件… gjP bhY=C[ wiM-TFT~
N3|aNQ=X0 RO8]R2A vve[.Lud' 1zIrU6H2;_ 监测器平面上的衍射图案 ke5_lr( l/6(V:
&h?8yV4B ($s%B 监测器平面上的衍射图案 =f=,YcRn+ K~jN"ev
rB-}<22. QUi=ZD1 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 FS6I?q#tQ
"xE;IpO[ 高度缩放调制 i&zJwUr(< h 7*#;j
Vf`9[*j Q) Y&h'.( 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 F!&_ 9 p`|~^X
RLUH[[ W=?s-*F[~ VirtualLab Fusion技术 ZsL-vlv |3uE"\nfA
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