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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 6Ol9P56j  
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     lG Bg8/[  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 p:K%-^  
    O`@- b#  
    建模任务 N_S~&(I|  
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    微结构 1DhC,)+D}q  
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     lgS7;  
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    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： # =tw ,S  
     gBi3^GxjM?  
    衍射光学元件（DOE）和微结构组件 eBs.RR ]O  
     y(MB _B7j  
    微结构组件的配置 xO Aq!,|V  
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     e,VF;Br  
    5h`LWA B  
    - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Btm _S\1  
    - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 -{ 1P`&G  
    - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 @ci..::5  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 VXWV Pj#  
     vdAd@Z~\  
    总结-组件… ruvfp_:  
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    N`,\1hHMT  
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     +:-xV  
    监测器平面上的衍射图案 Z|$DchC  
    iiMS3ueF  
     T|wz%P<J  
    h=gtuaR4  
    监测器平面上的衍射图案 =>`z k^  
    v-d"dC`  
     !ess.U&m'  
    Qd kus 214  
    分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 -5+Yz9pv[  
     >MN"87U6  
    高度缩放调制 xh$yXP0/  
    2=n`z) R  
     xxvt<J  
    t#|R"Q#  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Ca5#'3Eh  
    P.@dB.Ny  
     ~M{/cv  
    [)s4:V  
    VirtualLab Fusion技术  gmbRH5k  
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     ]"uG04"Vk  
    `1(ED= |  
     
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