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摘要 1qm
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e !N% 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 uFnq 3m^u _jM+;=f
建模任务 @pN6uDD}R
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q yi:1cLq2 微结构 t*w V<b
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_ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： ) ^ 7- qy
3(3-#MD0 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 C:ntr=3J
]zh6[0V7V 微结构组件的配置 of/'
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 4$ ^rzAi5 o+g\\5s - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 /NUu^ N - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 9)J)r \ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 seiE2F[ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 .6A{
# B@*- 总结-组件… ~}g) N
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 N**" u"CX >o5eyi  &uXu$)IZ tUhr gc 监测器平面上的衍射图案 J5SOPG
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<w 监测器平面上的衍射图案 v-XB\|f
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 cdTG ]n r<pt_Cd 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 /_i]bM7W
-5Aqf \ 高度缩放调制 >=YQxm}GJ
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 #Ti5G"C F32U;fp3 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 {jo"@&2S
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