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摘要 $SniQ *>o@EUArN
rXe+#`m2 4`r-*Lx 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 mryT%zSlM (15.?9 建模任务 ,d=Dicaz ?iaO6HD
C8:y+pH_U; k9\n='OI 微结构 z^%`sUgP ,p..h+l
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j{/wG:: lx82:_ 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: RT9%E/m wG22ffaki
衍射光学元件(DOE)和微结构组件 B|;?#okx lgHzI( 微结构组件的配置 0J=
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Mt121Q&" C\cZ - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 )L,Nh~ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 T=pKen/ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 u)P)r, - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 oYeFOw` z}7U>y6` 总结-组件… >LEp EMJ\ m W4tW
:Ui'x8yt DJR r P?iQ{x}w~ _#o75*42tT 监测器平面上的衍射图案 -kzg(+sm FWyfFCK
Vvl8P|x.< qNbgN{4 监测器平面上的衍射图案 >vQKCc|93 Xm.["&
/KCIb:U K%>3ev=y.s 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ]B-3Lh Oj.xJ(uX+v 高度缩放调制 uy=E92n3 6C*4' P9>
4:XVu +}!FP3KgT 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 [Z+E_Lbz 5%XEybc2
_~E_#cNn 3=kw{r[2lM VirtualLab Fusion技术 g6<D 1r @>hXh
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