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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要  , D}  
    h%ba!  
    KSR'X0'  
    #^9a[ZLj0  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 z]R% A:6K  
    mc|8t0+1`  
    建模任务 1$nuh@-ys  
    i{}Q5iy  
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    gCZm7dgo  
    微结构 t]XF*fZH  
    |6w {%xC?"  
    Os[50j!4>  
    E.4 X,  
    \^Z DH  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: ,L;%-}#$  
    I6Oc`S!L  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 *|S{%z9>  
    `e }6/~R`  
    微结构组件的配置  Wo,fHY  
    "64D.c(r$  
    g]PC6xr38  
    6G;t:[H G  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 8C5*:x9l  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 0:zDt~Ju  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ,H5o/qNU`{  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ngl8) B  
    T%@qlEmf  
    总结-组件 gjPbhY=C[  
    wiM-TFT~  
    N3|aNQ=X0  
    RO8]R2A  
    vve[.Lud'  
    1zIrU6H2;_  
    监测器平面上的衍射图案 ke5_lr(  
    l/6(V:  
    &h?8yV4B  
    ($s%B  
    监测器平面上的衍射图案 =f=,YcRn+  
    K~jN"ev  
    rB-}<22.  
    QUi=ZD1  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 FS6I?q#tQ  
    "xE;IpO[  
    高度缩放调制 i&zJwUr(<  
    h 7*#;j  
    Vf` 9[*j  
    Q) Y&h'.(  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度  F!&_  
    9 p`|~^X  
    RLUH[[  
    W=?s-*F[~  
    VirtualLab Fusion技术 ZsL-vlv  
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