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摘要 I(b]V!mj:
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 [{zfI`6
),2|TlQ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 Kp19dp}'b "YVr/u
建模任务 T>, [V:
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 @0%[4 k&npC8oA 微结构 o* e'D7
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 5=1Ml50 i;\n\p 1 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： {
PS0.UZ
CD4@ 0Z+ 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 Ao\Im(?
RL*b4 7, 微结构组件的配置 1!
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 z6|kEc"{ @S 0mNA - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 g"\J iBb5 - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 szD9z{9"y - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 -] G=Q1 1 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 *77Y$X##k
b&'Y W*W 总结-组件… Zh_3ydMD1
u(8dsg R
 2s}G6'xE]P D'#,%4P,e\  t_+owiF)M 9U3 .=J 监测器平面上的衍射图案 E`]un .
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n? ^FZ9q 监测器平面上的衍射图案 c= aZ[
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 (px3o'ls h =Z..&H5i 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 B;nIKZ
*\*]:BIe&v 高度缩放调制 a6?t?: ~|
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 ]$Q@4=f b w|4CBll 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 :_Iz(
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 9%riB/vkrF C8= r sh VirtualLab Fusion技术 !e+Sa{X
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