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摘要 a+B3`6
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D1V^Db Um_ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 n){u!z)Al )&[ol9+\
建模任务 2]5ux!Lqln
F!RP *
 LYuMR,7E CN6b 982& 微结构 V8 G.KA "
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 82YZN5S3]3 L;U?s2&Y 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： i '`>YX
~PX#' Jr 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 BSY7un+`:
{A\y 4D@ 微结构组件的配置 7-}/{o*,5
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 h`D+NZtWm
A/OGF> - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Bam 4%G5 - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。
-K4 uqUp - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 lGEfI&1%! - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 qJK6S4O]
}q)dXFL=I# 总结-组件… #VuiY
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!~>_ 1 ifPc5j} 监测器平面上的衍射图案 lmx'w
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 % `j2?rn (y?`|=G-xT 监测器平面上的衍射图案 vl5r ~F
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 \B n$b2j!% A"B[F# 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 +| Mi lwr
ETaLE[T%1 高度缩放调制 A
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 1y.!x~Pi, ( C hL$!x 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 0 Gn bE2&
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