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摘要 tF%QH[ 7]Rk+q2:
mf9hFy*<4 #w|5jN? 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ke]Yfwk R$d7\nBG 建模任务 ?-,6<K1 0X>T+A[E
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}nLS3t hl]S'yr 微结构 ve fU' NbkK&bz
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- aa RB;BQoGX 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: >
c:Zx! +?AW>&68y 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 qrE0H x<>YUw8` 微结构组件的配置 U=QA e (NaK3_
hZU1O cz(G]{N - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 6 64q~_@B1 - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 $>r5>6 - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ~OCZz$qA - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ]0-<> YPEnNt+ 总结-组件… D/:3RZF x<F$aXOS
H1&RI4XC _ZyT3P& x7$ax79ly "dtlME{Bx 监测器平面上的衍射图案 IaasHo\ -Qb0:]sV#
^P$7A]! zPE$ 监测器平面上的衍射图案 YgimJsm wOg,SMiq
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分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 OZOb1D 1~Mn'O% 高度缩放调制 |' ;7v)CIG A3q*$.[
(B}+h gtYRV*^q 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 x~+-VF3/ s
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J?D\$u: s|2}2<+ VirtualLab Fusion技术 S(t{&+Wc (/?R9T[V&^
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