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摘要 0 v7#vZ
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, |5|aVfh 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 dnEIR5%+. pl#2J A8
建模任务 /\7E&n:)2
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 A W{"9f4 mVaWbR@H S 微结构 >:C0ZQUW
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(Q 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： 7~zd
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+ 8xC%eE 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 L0lqm0h
+ *xi&|% 微结构组件的配置 .ei5+?V<i
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~ - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 jw 4B^2} - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 ?hC,49 - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ax)>rP,V - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 mJU1n
VTUY#+3 总结-组件… #fGI#]SG?
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 l('@~-Zy #Sc9&DfX  i! <1&{ -){aBMOv3 监测器平面上的衍射图案 ,K W IuCU;
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 BjSd\Ul .&i_~?1 [N 监测器平面上的衍射图案 m7#v2:OD+
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 9$q35e xY d]|y 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 (=-6'23q)
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高度缩放调制 YB}m1 g`
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 <B&vfKO^h +HT?> k 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 `B$rr4 _
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