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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 c<t3y7  
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    E?c{02fu  
    &j~|3  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 2 vJ[vsrFv  
    #Ot*jb1  
    建模任务 IP4b[|ef  
    ~IJZM`gN  
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    ?3E_KGI  
    微结构 yPxG`w'  
    Dy!bj  
    4\eX=~C>:  
    nAba =iW  
    h9OL%n 7m'  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: EX_sJc  
    _)Z7Le:f!  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件  W$VCST  
    bCx1g/   
    微结构组件的配置 GPqB\bxb'  
    }+RF~~H/  
    LK-6z w5=(  
    _*?"[TYfX  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。  _I}L$  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 V]PhXVJ  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 L) nVpqm   
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 UE$[;Zg  
    'V9aB5O&  
    总结-组件 sq6%=(q(?  
    R&|)y:bg|  
    :iOHc-x  
    mP .&fS  
    kpreTeA]  
    {s^ryv_}  
    监测器平面上的衍射图案 $^D(%  
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    t~W4o8<w  
    监测器平面上的衍射图案 w wRT$-!  
    a:%5.!Vd  
     |ukdn2Q  
    {$TB#=G  
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 {F9Qy0.*u  
    Nb9V/2c;V  
    高度缩放调制 > FcA ,  
    7LZb*+>  
    PdN\0B `  
    64?$TT  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 h/bYtE  
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    VirtualLab Fusion技术 GvtI-\h]  
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