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摘要 &pK0>2 x|Uwk=;X|s
`n,RC2yo +At[[ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 km>ZhsqD FqyxvL. 建模任务 {]Mwuqn
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d',4) mBIksts5h 微结构 i:Y5aZc/Ds %nJo:/
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fFEB#l!oUb 5[g&0 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: TT3 6Y AclK9+V 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 ="G2I\ -[!t=qi 微结构组件的配置 "wH(tk4 ]U@~vA#''
a2?@OJ YuuTLX%3 - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 b1^wK"# - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 RaLV@>jPm - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 )Q9Qo)D T - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 #n&/v'!\ {'alA 总结-组件… z,ryY'ua/I }r18Y6
_zbIS&4 %1
RWF6 @?s>oSyV x+~!M:fAc9 监测器平面上的衍射图案 h[Sd3Z* V ~jp
XR VZU~ZV `]]5!U2 监测器平面上的衍射图案 6yYjZ< v?8i;[
?@in($67 IjOBY 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 6
o f5M;q; 高度缩放调制 &b>&XMIK l(x0d
@gqZiFM) k|>yFc 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 4cy,'B rYV]<[?~7
7L:Eg QiA}0q3]0 VirtualLab Fusion技术 ~u!V_su]GY tf54EIy5Y
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