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摘要 !*l5%H )~l`%+
<i!7f26r h\i>4^]X. 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 c*#*8R9.y Td6"o&0A! 建模任务 1WW`% B#U:6Ty
-<tfbaA O}IRM|r" 微结构 m'i^BE Ho; bgva
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+sc--e? >AT T<U= 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到:
hO@VYO <..|:0Q&~ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 (G3S+T 9 !DUC#)F 微结构组件的配置 Iq[Z5k(K ;,yjkD[mWE
9(;I+.;8k u:0M,Ye - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 Ev7fvz = - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 5==}8<$ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 {)8!> K%G - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 D,H v(6({ %!i|"FNc 总结-组件… .s!qf!{V` :"oQ _bLT
R~R ?0aq 7FiQTS B: i#%17} eJ23$VM+9 监测器平面上的衍射图案 TE.O@:7Z Y@Zv52,
jw"]U jub VTt{0 ~ 监测器平面上的衍射图案 ,{br6*E WI$MT6
*uq}jlD`! ?Hd/!I& 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Tl9;KE| ^<}eONa 高度缩放调制 ,' m<YTF _K?{DnTb
G-)Q*p{i| `]8z]PD 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 18AKM d}.*hgk
,L"1Ah mXH\z VirtualLab Fusion技术 zNs8yMnFr !Deg!f\g
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