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摘要 f $Agcy fAULuF
M
co:eE ~rBFP) 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 A{zqr^/h )-3~^Y#r_ 建模任务 :.*Q@X}-I gS+X%
pKc!sdC G7 UUx+ X 微结构 AhF@ _h-agn4[i
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`}),wBq VAL?
Z 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: k2D*`\
D I3nE]OcW@ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 @n)?=[p KY 微结构组件的配置 JI!1
.]& b\}a
v8f3B<kj #H~55 ))F - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 lm4A%4-db - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 yQrgOdo,w - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 Z2]0brV - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 FFw(`[A_ .:j{d}p} 总结-组件… XS&Pc 8UjIC4'
w PR Ns9^ b/UXO$_~- fF0K]. HKJCiQ|k 监测器平面上的衍射图案 9Ad%~qciY \7LL neq
(sKg*G2 G ky*EY 监测器平面上的衍射图案 wMCMrv: "> Qxb.Y}
vX }iA|`# pqO3(2F9 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 >k"O3Pc@ i\IpS@/{-v 高度缩放调制 i
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2@a'n@- )isS^O$qH 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 !hQ-i3?qm 7%"|6dw
hFA |(l6 ^ZsIQ4 @` VirtualLab Fusion技术 k$%{w\?Jf $R#_c}
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