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摘要 BZTj>yd
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Q ~ N q 5[ 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 5cM%PYU4:v GNwFB)?j
建模任务 sqF.,A,
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 pHoxw|'Y |;aZi?Ek[ 微结构 .L^j:2(L
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 1x/ R 9 X1vL 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到：
Jk`l{N
=],c$) 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ;){ZM,Ox
#68$'Rl"o1 微结构组件的配置 2YQBw,gG
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 ettBque <o|k'Y(- - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 s)3CosU - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 1)~9Eku6K - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 ? YIe< - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 pE +:tMH;
Zs0;92WL 总结-组件… # ax% n
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 K'Wv$[~Dc Y> E` 7n  tNqSCjQ~_c P A *U\ 监测器平面上的衍射图案 )FA:wsy~E
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 c":2<:D& e<A>??h^ 监测器平面上的衍射图案 Xa "I
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 GqP02P'2 y'oH>l+n 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 A'u]z\&%c
c\szy&W 高度缩放调制 xu]Kt+QnSk
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 ]H`pM9rC +uNMyVH 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 Z;R /!Py.
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 x=\W TC *cX i*7|= VirtualLab Fusion技术 z}r
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