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    [技术]反射式5×5衍射光束分束器的分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-07
    摘要 tF%QH[  
    7]Rk+q2:  
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    #w|5 jN?  
    衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ke]Yfwk  
    R$d7\nBG  
    建模任务 ?-,6<K1  
    0X>T+A[E  
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    微结构 ve fU'  
    NbkK&bz  
    PJK9704 6  
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    RB;BQoGX  
    反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: > c:Zx!  
    +?AW>&68y  
    衍射光学元件(DOE)和微结构组件 qrE0H  
    x<>YUw8`  
    微结构组件的配置 U=QA  e  
    (NaK3_  
    hZU 1O  
    cz(G]{N  
    - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 6 64q~_@B1  
    - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 $>r5>6  
    - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 ~OCZz$qA  
    - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 ]0-<>  
    YPEnNt+  
    总结-组件 D/:3R ZF  
    x<F$aXOS  
    H1&RI4XC  
    _ZyT3P&  
    x7$ax79ly  
    "dtlME{Bx  
    监测器平面上的衍射图案 IaasHo\  
    -Qb0:]sV#  
    ^P$7A]!  
    zPE$  
    监测器平面上的衍射图案 YgimJsm  
    wOg,SMiq  
    PeNF+5s/K  
    A[JM4x   
    分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 OZOb1D  
    1~Mn'O%  
    高度缩放调制 |';7v)CIG  
    A3q*$.[  
    (B}+h   
    gtYRV*^q  
    探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 x~+-VF3/  
    s MZ[d\  
    J?D\$u:  
    s|2}2<+  
    VirtualLab Fusion技术 S(t{&+Wc  
    (/?R9T[V&^  
    :Q- F9o J  
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