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摘要 AbL(F#{ m>^vr7
Rxq4Diq5k ZfibHivz 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 |)OC1=As zgl$ n 建模任务 b( ~#CHg ~cf)wrP
JYnyo$m/ &-L9ws 微结构
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Flaqgi/j 7[1VFc#tf 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: BKK@_B" m A('MS2 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 _^D -nk? 7#j9"* 微结构组件的配置 ddY-F
}z~ g,B@*2Uj
DAy|'%rF1- D7Y?$=0ycb - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 L7"<a2J - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 ]/|DCxQ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 v8TNBsEL - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 wj8\eK)]L @9lGU# 总结-组件… P]7s1kgaS OI:T#uk5
0zk054F' dKmPKeJM 0R;`)V\^ orFB*{/Z 监测器平面上的衍射图案 E O " X{iidTW`xv
F.D6O[pZ knzQ)iv&& 监测器平面上的衍射图案 u4xJ-Vu Ls*Vz,3!5
tPDB'S:&3 o3`0x9{ 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 W$`
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Q!"f: 高度缩放调制 3*R(&O6} \5b<!Nl
Q;@w\_OR 2|`~3B)# 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 v%QCp )5TX3#=;(G
:~p_(rE BbI),iP VirtualLab Fusion技术 ?[
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