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摘要 %mRnJgV5k
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tN0? 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 nZ4@g@e2 LF ;gdF%@
建模任务 >6:UWvV 1
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 (r/))I9^ zO( ( FQ 微结构 +\RviF[+
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/'^O +% ~vKDB$2 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： $?y\3G X
V Ku|=m2vB 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 a 1~ @m[
__i))2 微结构组件的配置 J :l%
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 6t'vzcQs KP CZiu7 - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 i([|@Y= - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 QLb!e"C - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 7upN:7D- - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 ><{Lh@{
J )UCy;Y 总结-组件… e\ ! i c
D:XjJMW3r
 j =Z;M1 v4r %'bA  I]Vkaf I>( _@O.EksY3r 监测器平面上的衍射图案 s$xm
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 ,R=)^Gh { qTV.DCP 监测器平面上的衍射图案 ,j%feC3
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 838@jip "BvDLe': 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 \8]("l}ms8
Cg]S`R- 高度缩放调制 b\C1qM4
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 [ip}f4K z*`nfTw l 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 D3x
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iM"L%6*I^ <4%PT2R VirtualLab Fusion技术 NQ,2pM<*-
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