-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-03-02
- 在线时间1930小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 |k~AGc @>2]zMFf
vapC5,W"2- w,P@@Q E 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 ue8 @=} 1tbA-+ 建模任务 jNxTy UU ?EUg B\
U_VP\ 03 0=,Nz 微结构 `GE8?UO- pnu?=.O
w!UF^~
A"r<$S6 ]DnAW'm 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: JOuy_n Um/l{:S 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 v,n 8$, *Y85evq 微结构组件的配置 RV]#Bg*[# n\;;T1rM
&Sb)a 1{/Cr K/o - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 [%^0L~: - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 Wm1dFf.> - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 'LoWp} f9 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 2lfEJw($ r]6+&K 总结-组件… ~AWn 1vFc #i~P])%gNP
2RZa} iUz?mt;k tRPIvq/ 5ppr;QaB 监测器平面上的衍射图案 7zz F M TgJ+:^+0
!{,2uQXe 2r2: 监测器平面上的衍射图案 xw{K,;WeO J#:`'eEG
nt"\FZ*;3 h% >ZN-K) 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 ")9 ^ qbQdxKk 高度缩放调制 ?Xpk"N7 h>>~B i
ADF<5#I 6 _V1s1F 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 "KF]s. F,as>X#
a`:F07r !d 4DTo
VirtualLab Fusion技术 m2~`EL> <FR!x#!
#"oLz"{ d_ :f-
|