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摘要 4Ei8G]O
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ds9U9t 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 " Tk, Kf-XL ),3l
建模任务 ;`O9Y bP#
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 (%c&Km7K 4bCA "QM[[ 微结构 `_k_}9Fr
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Yo0= ~47 0LgpO1 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： Y qmsL<
S{RRlR6Z 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 ^F'~|zc"C
H&8~"h6n 微结构组件的配置 :>}7 ^1I
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- Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ;m7~!m) - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 2 OV$M~ - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 a@Vk(3Rx_ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 k`#E#1niN
rK3Kx G 总结-组件… 9OFH6-;6`\
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 L 8q#_k u -)ED  S }fQis S\ ]9mHJI 监测器平面上的衍射图案 KWxTN|>
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 WJxcJE _M&n~ r 监测器平面上的衍射图案 15VvZ![$V
M ,W-,l
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 z;?ztpa@ eIy:5/ s 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 $vK,Gugcx
+1I 7 K|M 高度缩放调制 [ #ih
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"Io!{aKU KWeE!f 7G 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 kOdA8X RY
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