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摘要 c<t3y7 1RUbY>K#U
E?c{02fu &j~|3 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 2
vJ[vsrFv #Ot*jb1 建模任务 IP4b[|ef ~IJZM`gN
>cr_^(UW& ? 3E_KGI 微结构 yPxG`w' Dy!bj
4\eX=~C>:
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=iW h9OL%n 7m' 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: EX_sJ c _)Z7Le:f! 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 W$VCST bCx1g/
微结构组件的配置 GPqB\bxb' }+RF~~H/
LK-6z w5=( _*?"[TYfX - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 _I}L$ - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 V]PhXVJ - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 L)nVpqm - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 UE$[;Zg 'V9aB5O&
总结-组件… sq6% =(q(? R&|)y:bg|
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.&fS kpreTeA] {s^ryv_} 监测器平面上的衍射图案 $^D(% R{Kd%Y:2Y
/zP)2q^ t~W4o8<w 监测器平面上的衍射图案 w wRT$-! a:%5.!Vd
|ukdn2Q {$TB#=G 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 {F9Qy0.*u Nb9V/2c;V 高度缩放调制 > FcA, 7LZb*+>
PdN\0B` 64?$TT 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 h/bYtE ?9okjLp1n
<[f2ZS6 -/7=\kao% VirtualLab Fusion技术 GvtI-\h] e4H0<h
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