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摘要 Pc(2'r@# sztnRX_
tICxAp: t]@Zd* 衍射式分束器被广泛用于光学应用中,以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件,但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中,我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化,其性能在不同入射角下被评估,并计算出相应的衍射图案。之后,针对不同的入射角对设计进行了优化,例如通过改变微结构的高度。 R]V`t^1 Vy/g;ZPU1 建模任务 "RShsJZMH VJ$C)0xQA
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#!hpe^t 微结构 _ssHRbE <wSmfg,yF
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ow$#kQ&R O sO 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到: 22*t%{( NMj`wQ`M+ 衍射光学元件(DOE)和微结构组件 6F(yH4 &U,f~KJ 微结构组件的配置 Y^!40XjrD nQP0<_S
+(/Z=4;,[ MkYem6 - Microstructure组件由一个平面组成,在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 (la - 在Channel Operator的设置中,微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的,要么是理想的,要么是包含真实结构的Stack,也就是高度轮廓。 F9c2JBOM - 在这个用例中,Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓,并应用在基面的背面。 NV91{o(-7 - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中,为了对表面进行充分的采样,使用了一个2的系数。 E8j9@BHU[r wM yPR_ 总结-组件…
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zrwz\ |knP 监测器平面上的衍射图案 s<dD>SU '^J/aV
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Ab"uN |l?ALP_g 分光器是在正入射下设计的,对于小角度(<10°),它提供了均匀的分光阶数。然而,如果𝜃增加到15°,由于路径长度的差异,零阶的效率超过了其他阶。在实践中,如果这样的设备用于更高的角度,微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 >4VU -'N#@Wdr 高度缩放调制 A8RT3OiXA V*m)h
KGWENX_U 5ya3mNE 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 '|/_=' 5]Ra?rF
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