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摘要 sXPva@8_
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mpwh= 衍射式分束器被广泛用于光学应用中，以产生规则和不规则的图案。所应用的衍射方法允许薄而轻的元件，但也导致它们对入射光线的角度高度敏感。在这个例子中，我们展示了这种效应对给定微结构设计的反射式5×5规则分束器的影响。该设计在正入射情况优化，其性能在不同入射角下被评估，并计算出相应的衍射图案。之后，针对不同的入射角对设计进行了优化，例如通过改变微结构的高度。 6j {ynt 4|\M`T
建模任务 N6_1iIM
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 +[n#{;]< =m (u=|N3 微结构 rf+}J_
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 8kU(>' ^_: pl,XS6mB 反射型分光器是由Microstructure组件建模的。它可以在Components > Single Surface & Stack下找到。关于该组件的更多信息可以在以下栏目中找到： n?O Mfx
8| i<4> 衍射光学元件（DOE）和微结构组件 yCkc3s|DA;
};9/J3]m 微结构组件的配置 {*hGe_^
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 c1_Z i "Zn
nb*pOM - Microstructure组件由一个平面组成，在这个平面上应用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 ON!Fk:- - 在Channel Operator的设置中，微观结构是由提到的Complex Surface Response定义的，要么是理想的，要么是包含真实结构的Stack，也就是高度轮廓。 ,s}&|+
'" - 在这个用例中，Sampled Grating被用来描述预期的高度轮廓，并应用在基面的背面。 X5+^b({ - 用于通过堆栈传播的精度系数可以根据具体任务进行调整。在这个例子中，为了对表面进行充分的采样，使用了一个2的系数。 pg,JY n
H[pvC=O= 总结-组件… Uj J&P)
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 $1s>efP - ~n0Exw(  YT[=o}jS ~ LF M,@ 监测器平面上的衍射图案 "#8^":,4
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 jc>B^mq x rB( Q)N 监测器平面上的衍射图案 8>vNa
6=Q6J
 r0&LjH&R dn 42'(p@G 分光器是在正入射下设计的，对于小角度（<10°），它提供了均匀的分光阶数。然而，如果𝜃增加到15°，由于路径长度的差异，零阶的效率超过了其他阶。在实践中，如果这样的设备用于更高的角度，微结构的高度将被调整以补偿这种影响。 Q-G8Fo%#,E
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Wm JH 高度缩放调制 (A}c22qe
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l[dC 探测器平面上的衍射图案--有校正的高度 @# o 7U
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%c U" VirtualLab Fusion技术 :m'(8s8
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