切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 6.18京东红包优惠券快来领！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 654阅读
    • 0回复

    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             3CHte*NL=  
    +Ae.>%}  
    超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 x+TNF>%' D  
    X0$_KPn  
     zn~m;0Xi  
    L wu;y@[  
    超构光栅结构和建模 Q8~pIv  
    5Q}@Y3 i=  
                                                                                 ,/ : )FV  
    0Yjy  
    VirtualLab Fusion提供： A{o{o++  
     Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; QE}@|H9xs  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 g:clSN,  
    dCK -"#T!  
    光栅周围介质   ^9RBG#ud  
    C/Z"W@7#;  
                                                                                 .eAC!R  
    *3K"Kc2  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 G9[-|[j^N  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 ,{50zx2  
    • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 )-{Qa\6(%  
    j&pgq2Kl  
    光栅堆栈内部材料 mN*P 2 *  
    ] 6gu  
                                                                               <Gw<(M  
    >g2B5KY  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 FTfA\/tl(;  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 7GUJ&U) J  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 !tdfTf$  
    xVyUUzXs  
    单柱几何配置 %E\%nTV  
    yBj)#m5!  
                                                                             z Y|g#V-  
    <X |h *  
    柱子的分布                                                                           {\&"I|dpe  
    {ybuHC  
    bSghf"aN  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 YeLOd  
    • 有几种方法可以做到这一点: KIFx &A  
    • 逐个柱子，手动; [VW;L l  
    • 一次性定义在等距网格; TH!8G,(w  
    • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 g4 X,*H  
    • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 (r4VIlap  
    `RcNqPY#S  
    数值参数设置 $hQg+nY.  
    5uer [1A  
                                                                               72zuI4&  
    }6> J   
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 m4wTg 8LJ  
    • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 0AKwZ' &H  
    • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 o z{j2%  
    1}E@lOc  
    例1:一维Blazed 超构光栅 ,`zRlkX  
    Dj+Osh  
    材料和介质的配置 \2xBOe-a]  
    &'b}N  
                                                                             7y Te]O  
    see the full Application Use Case O97bgj]  
     1qe^rz|  
    柱子几何及分布                                                                           <WJ0St  
       y UAn~!s  
    A'1AU:d  
                                                                                     {7>CA'>  
    空间频率数                                                                             O)uM&B=  
                                                                               QCfpDE}  
    bTGK@~  
    \{zAX~k6  
    XFTMT'9  
    例2:二维光束分离超构光栅 _-J@$d%  
    az;jMnPpR5  
    材料和介质的配置                                                                             -==qMrKP  
    =awO63j>  
     wrYQ=u#Z  
    $3.vVnc  
    柱子几何及分布                                                                           H#6^-6;/  
    ;sR6dT)  
    aiZo{j<6  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表