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摘要 Xqf\}p n 2IYzc3Z{9 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 9a_P 9s3w
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 S K}jhm"y Luao?;|U 超构光栅结构和建模 A"*=K;u/|m
Z}O]pm>=G
 &N.pW=%,N q^[t</_ N VirtualLab Fusion提供： bidFBldKl Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ?8
}pZ_ j Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 )WvKRp r W* LC3B^ 光栅周围介质 | lhnCShw
o@A`AA9
 M~zI;:0O jr6 0;oK+ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 . vHHw@ • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 |5flvkid • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 v7(7WfqP RxP~%oADw 光栅堆栈内部材料 !$Uo$?gC
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 +"84.PZ i&DbZ=n2 • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 RZW=z}T+H • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 [>NMuwtG • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 -#I]/7^ vapC5,W"2- 单柱几何配置 wXQu%F3
NFVu~t
 )Q1aAS3 M2%@bETJ 柱子的分布
TX5 ??o 4$^mLD$>  kO )Y|zQ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 !v2/sq$G • 有几种方法可以做到这一点: ?Nt( sZ- • 逐个柱子，手动; .7.1JT#@A7 • 一次性定义在等距网格; qz-
tXc , • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 ql9n `?Q • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 'n h^; JOuy _n 数值参数设置 Um/l{:S
v,n 8$,
 *Y8 5ev q RV]#Bg*[# • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 7mS Nz. • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 # j7&2L • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 oY ~q^Y TQb/lY9* 例1:一维Blazed 超构光栅 ";dS~(~ F7' MoH 材料和介质的配置 >4@w|7lS
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 6}Y==GP t see the full Application Use Case *& w/*h$!
_'!qOt7D 柱子几何及分布 Wpf~Ji6|| 7& ,$  b
B#QIXY/L BoT#b^l 空间频率数 io\t >_ M2V`|19Q  yVVyWte, !>'A2V~ F @=G [mc\ 例2:二维光束分离超构光栅 S.[L?uE~F S? Cd,WxT 材料和介质的配置 0]f/5jvLj LawE 3CD
 !L +b{ tJ\v>s-f 柱子几何及分布 U;kN o3= kJ%a ;p` O  zvGncjMkC
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