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摘要 d4c -(ZRl K5U= %z 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 V"n0"\k,
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 g0 ec- V>}@--$c-r 超构光栅结构和建模 h?wNmLre
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 u}u;jTi> 2 ;Ab` b1B VirtualLab Fusion提供： *0 ZL@Kw Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; fu |N{$h%X Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 6x KbK1W a' "4:(L 光栅周围介质 U k rqHHpy
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 YH33E~f m%ZJp7C • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 8%s ^>.rG • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 WN9 < • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 1aKYxjYM 910Ym!\{: 光栅堆栈内部材料 z)Xf6&
;+]9KIa_Pq
 LjUBV_J 1Sox @Ko • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ?29zcuRaru • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 kR%bdN • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 o)' u%m *OU>s;"$ 单柱几何配置 65bLkR{0
<,qJ% kc
 "?_adot5v lcgT9 m# 柱子的分布 MdK!Y .+3= H@8h  GSg|Gz""J0 • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 w)-@?jN • 有几种方法可以做到这一点: X1U7$/t • 逐个柱子，手动; 6GCwc1g • 一次性定义在等距网格; BQVpp,] • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 b_Ns
Ch3@ • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 4kGA`Xh S* \KfngYD]W 数值参数设置 "pq# A*
A0.) = q
 ty ]JUvR@ {=
Dtajz • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 +7?p& -r)x • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 K[Rl R+j • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 Q&: % U B e+'&+ 例1:一维Blazed 超构光栅 @ O+yx GA I@P [}XS 材料和介质的配置 3/8o )9f.
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 0-"ps ]X see the full Application Use Case B`OggdE
xB:,l'\G 柱子几何及分布 uyP)5, f XxdOn. 
!\Jj}iX3_ >XP]NY}Po[ 空间频率数 Mj |)KDL `+$'bNPn&  Sr~zN:wn P8!Vcy938 q /EK ]B 例2:二维光束分离超构光栅 i_ws*7B< ?H1I ,]Di 材料和介质的配置 [P)'L Y6F
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 .$)'7 {'Nvs_{6 柱子几何及分布 # 'G/&&< 2D` @$)KL  SQ5SvYH
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