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摘要 ~LuZ pV d%81}4f: 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 h5U@Ys
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 1@P/h#_Vr *&+e2itmp 超构光栅结构和建模 {tV)+T
U GQ {QH
 {^Vkx f] nY'0*:'u VirtualLab Fusion提供： dZIAotHN: Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 7!#x-KR~5 Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 s-}|_g.Pt tlV> 光栅周围介质 n&D<l '4
F.HD;C-;(
 :`2<SF^0O LU l6^J U • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 sH y hR: • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 [pUw(KV2m • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 Y|_ #yb }tF/ca:XPQ 光栅堆栈内部材料 ,3.E]_3 xX
&W-L`aFd0
 S 3Tp__ );_g2=:# • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 K~H)XJFF • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 O%H_._#N` • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 m v O!Y @*]l.F
单柱几何配置 n .ZLR=P4
<gF=$u|}3[
 VLC<ju! XAW$"^ p 柱子的分布 =dx!R ,Bw 'A;G[(SYy  mEfI2P)#| • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Umjt~K^Z • 有几种方法可以做到这一点: $,v
'> • 逐个柱子，手动; lYmqFd~p • 一次性定义在等距网格; b6: A-jb*I • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 #qrZ(,I@n • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 nDu f<mw <nlZ ?~%} 数值参数设置 u?5 d%]*
1 rKKp h
 {a^A -Xh[u dE19_KPm[j • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 n8UQIa4&= • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 BZejqDr * • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 w
F6ywr KY34Sc 例1:一维Blazed 超构光栅 d0Xb?-
}3M I$/*Pt]; 材料和介质的配置 }P(RGKQ Z"
3[I; 3=O
 * p:`F: see the full Application Use Case rCfr&>nn
A}WRpsA9 柱子几何及分布 JYuI~<: Fd Ezt  #[0:5$-[ 6hDK;J J& 空间频率数 bHV Aa# F}3<q  ALvj)I`Al ASmMj;>UM ^?PU:eS 例2:二维光束分离超构光栅 :*bv(~FW GslUN% UJr 材料和介质的配置 I@Zd< Rn r@N 0%JZZ
 (t&]u7Atr wKF # 8Y 柱子几何及分布 HUqG)t*c1 pRI<L'  T= r-6eN
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