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摘要 ck Tnb $GYy[-.` 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 Ck[Z(=b$$: xi.;`Q^#
E`'+1 7{b|+0W 超构光栅结构和建模 MBa/-fD mG2}JWA
.t["kaA KcSvf;sx VirtualLab Fusion提供: )`U T#5 Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; !,1~:*: Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 B[Tw0rQ 3FS:]|oC 光栅周围介质 Mk^o*L{H Ya>cGaLq
*M8 4Dry`y aEgzQono • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 a
@TAUJ, • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 FS20OD • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ?49wq4L;a - BocWq\ 光栅堆栈内部材料 7#<|``]zNf 7gJ`G@y
t%=ylEPW >Cf]uiR • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 PPmZ[N9(; • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 QGsUG_/_P • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 #_H=pNWe d2 d^XMe! 单柱几何配置 AU
>d1S. "cti(0F-d
'r'uR5jR O[8Lp? 柱子的分布 K J~f ~2; v|`)~"~ z? cRsqf • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 <x1(}x:u` • 有几种方法可以做到这一点: j7i[z>:Y • 逐个柱子,手动; 3<Cd>o. • 一次性定义在等距网格; ?B[Z9Ef"8l • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .kBAUkL: • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 T$'Ja'9Kj VGe/;&1h 数值参数设置 b@,w/Uw[* z[7U>q[E
fE M8/bhq tFb49zbk • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 LtCkDnXk • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 6g<JPc • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ;}:"[B3$ ku\_M 例1:一维Blazed 超构光栅 ?Bk"3{hl ogPxj KSI 材料和介质的配置 psYfz)1; ;;UvK
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rj,Sk~0Q see the full Application Use Case U-|gtND :JPI#zZun 柱子几何及分布 ~r=u1]z m,8A2;&,8 Q%@l`V)Rs KaO8rwzDN 空间频率数 cT."
#p\sw 'e0qdY` C[wnor! A*@!tz< 例2:二维光束分离超构光栅 .-nA#/2- >6(nW:I0y 材料和介质的配置 *USZ2|i ^2Op?J
LkJ3 :3O !a?o9<V 柱子几何及分布 oz@yF)/Sm QK//bV) lQ)ZsFs=
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