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摘要 -# r= H5be 5 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 U}GO* +
u |(Iu}sE=
 ',I$`h xj JoWB 超构光栅结构和建模 ;6 `7
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[2ri=lf,
 %:7/ym[ ~31-)*tJ] VirtualLab Fusion提供： G9CL}=lJ, Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; `* cJc6 Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 @QDpw1;V' y_T%xWK5 光栅周围介质
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B. #-@
 b 2~5 LZ m[Qr>= " • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 b6'ZVB • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 NFI~vkk'G • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 3lgD,_& aUKa+"`S 光栅堆栈内部材料 )9+H[
e? ;
 VgMuX3= )a$sx} • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 4r9AU mJqw • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 h O(A_Bw • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 H h%|}*f_, 1JZhcfG 单柱几何配置 t!0 IQ9\[*
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 S~GS:E# _ FN#Vq2 柱子的分布 f_IsY+ @ \$,8aRT>#U  ~2Q D .( • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Q1x=@lXR • 有几种方法可以做到这一点: 1z@{ 4) • 逐个柱子，手动; b>nwX9Y/U • 一次性定义在等距网格; {-yw@Kq • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .<6 '*X R • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 {Vf].l:kn LKst
QP!I 数值参数设置 [\=1|t5n~
\Lm`j U(:l
 8/-hODoT_ PsN_ c [+ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 H2CpZK' • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 (_ fov V= • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 P@U2Q%\ 1 c4:'0 例1:一维Blazed 超构光栅 BKu < p< FMC]KXSd 材料和介质的配置 H )Ze{N
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 {%6g6?=j see the full Application Use Case G1wJ]ar
^[b DE0 柱子几何及分布 c=p!2jJ1K~ *4c5b'u  ]i8t LmP p t3[ 空间频率数 xU
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_ t Sea 6xGdq 例2:二维光束分离超构光栅 2 e&M/{ ` {F z 材料和介质的配置 rg I Z '>t'U?7w<
 ^O&&QR H~w RJ dijj 柱子几何及分布 ~\ v"xV x}#N?d  5X:3' *
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