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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             ckTnb  
    $GYy[-.`  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 Ck[Z(=b$$:  
    xi.;`Q^#  
    E`'+1  
    7{b|+0W  
    超构光栅结构和建模 MBa/-fD  
    mG2}JWA  
                                                                            
    .t["kaA  
    KcSvf;sx  
    VirtualLab Fusion提供: )`U T#5  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; !,1~:*:  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 B[Tw0rQ  
    3FS:]|oC  
    光栅周围介质   Mk^o*L{ H  
    Ya>cGaLq  
                                                                            
    *M8 4Dry`y  
    aEgzQono  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 a @TAUJ,  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 FS20OD  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ?49wq4L;a  
    - BocWq\  
    光栅堆栈内部材料 7#<|``]zNf  
    7gJ`G@y  
                                                                          
    t%=ylEPW  
    >Cf]uiR  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 PPmZ[N9(;  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 QGsUG_/_P  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 #_H=pNWe  
    d2 d^XMe!  
    单柱几何配置 AU >d1S.  
    "cti(0F-d  
                                                                        
    'r'uR5jR  
    O[8Lp?  
    柱子的分布                                                                           KJ~f ~2;  
    v|`)~"~  
    z?cRsqf  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 <x1(}x:u`  
    • 有几种方法可以做到这一点: j7i[z>:Y  
    • 逐个柱子,手动; 3<Cd >o.  
    • 一次性定义在等距网格; ?B[Z9Ef"8l  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .kBAUkL:  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 T$'Ja'9Kj  
    VGe/;&1h  
    数值参数设置 b@,w/Uw[*  
    z[7U>q[E  
                                                                          
    fEM8/bhq  
    tFb49zbk  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 LtC kDnXk  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 6g<JPc  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ;}:"[B3$  
    ku\_M  
    例1:一维Blazed 超构光栅 ? Bk"3{hl  
    ogPxj KSI  
    材料和介质的配 psYfz)1;  
    ;;UvK v  
                                                                        
    rj,Sk~0Q  
    see the full Application Use Case U-|g tND  
    :JPI#zZun  
    柱子几何及分布                                                                           ~r=u1]z  
       m,8A2;&,8  
    Q%@l`V)Rs  
                                                                                     KaO8rwzDN  
    空间频率数                                                                             cT."  
                                                                                #p\sw  
    'e0qdY`  
    C[wnor!  
    A*@!tz<  
    例2:二维光束分离超构光栅 .-nA#/2-  
    >6(nW:I0y  
    材料和介质的配置                                                                             *USZ2|i  
    ^2Op?J  
    LkJ3 :3O  
    !a?o9<V  
    柱子几何及分布                                                                           oz@yF)/Sm  
    QK//bV)  
    lQ)ZsFs=  
     
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