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摘要 $V X<UK$|s ?[[K6v}q{ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 M4;A4V=W
i- Le&
 #MZ0Sd8]& _g%Wx?K9 超构光栅结构和建模 Vrz6<c-'B
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 \O]1QM94Y Sa V]6/| VirtualLab Fusion提供： &" V% n Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 4o: Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 N X AP=y3 qXH r[C" 光栅周围介质 OG# 7Va
w|6;Pf~1y)
 ^k&T ?uU 91oIx W • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 'o2V}L'nG • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 G\ twx ; • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 ;pU#3e+P8 fo"dX4%} 光栅堆栈内部材料 )^&,[Q=i
)N{ Qpbh
 l8n}&zX &Wj
%`T{ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 E6);\SJG} • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 $qN+BKd]3 • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 t7VX W{3 8G?{S.%. 单柱几何配置 T)o)%Yv
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 U=<E,tM c;,jb 柱子的分布 (7nWv43 H6<\7W89y  K5x&:z • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 =,D3e+ P' • 有几种方法可以做到这一点: ~o:lh], ~ • 逐个柱子，手动; 0 T!_;IQ • 一次性定义在等距网格; xACA tJ'gc • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 'C6 K\E • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 V Iof4?i Ctbm X)vE 数值参数设置 >6X GF(G
+p =n-
 GgH=w`;_ Sqw .p# • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 dMsX}=EI< • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 xz dq E • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ~4th;#' B7qm;(?X& 例1:一维Blazed 超构光栅 JLT ^0wBB V0mWY!i 材料和介质的配置 o.5w>l!9K
;o;P2}zD
 4#mRLs' see the full Application Use Case .bbl-a/
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`g q@LP"o 柱子几何及分布 ugg08 am! 9)p VDS  uX@RdkC u\zR WX 空间频率数 |+//pGx b_*Y5"(*  2<Pi2s' ))}w;w f >nj9 a5 例2:二维光束分离超构光栅 bit&H B 8z3W9 材料和介质的配置 #5)E4"m qp>O#tj[
 Le"$k su> HT/zcd)}# 柱子几何及分布 d^X;XVAvP c@)k#/[[b  vj<HthC.k
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