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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             UFp,a0|  
    \lZf<f  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 "4uS3h2r  
    qzf!l"bT  
    &NH$nY.r  
    xwJH(_-  
    超构光栅结构和建模 P!+'1KR  
    .y@oz7T5  
                                                                            
    bO'Sgc[]  
    L5 veX}  
    VirtualLab Fusion提供: 6WU(%  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; uF1~FKB  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 RPE5K:P  
    N6 (  
    光栅周围介质   HN&Z2v   
    2JJ"O|Ibz  
                                                                            
    mR}6r2O2\Q  
    S$Q8>u6Wk  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 v" OY 1<8  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 6P5Ih  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 oAPb*;}  
    J|w\@inQ  
    光栅堆栈内部材料 &!/}Qp  
    [&&1j@LQ*  
                                                                          
    n#wI@W >%+  
    @@8J6*y  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 ]y,==1To  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 ;)!Sp:mHX  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 XVv K2(  
    RV5n,J  
    单柱几何配置 Cb9;QzBVA#  
    2Fq<*pxAY  
                                                                        
    'J6 M*vO  
    YEj8S5"Su\  
    柱子的分布                                                                           JWMpPzs  
    jC7&s$>Q"g  
    qL6 |6-?  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ($}`R xj1@  
    • 有几种方法可以做到这一点: dVsE^jsL  
    • 逐个柱子,手动; >|twyb  
    • 一次性定义在等距网格; 5lm<%  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 .8y3O]  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 yp66{o  
    K9OYri^TQ  
    数值参数设置 KN7n@$8YM  
    j{Txl\D>  
                                                                          
     }(1JaG  
    %Mk0QKzUo  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 |m80]@>  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 3 AsT  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 DM}YJ  
    A` AaTP  
    例1:一维Blazed 超构光栅 7LU}Iiv  
    /k<WNZM  
    材料和介质的配 qUOKB6  
    XwlbJ=mf  
                                                                        
    e(I =^#u6  
    see the full Application Use Case ]Yvga!S"C  
    &&VqD w  
    柱子几何及分布                                                                           >&p0d0  
       ^",ACWF4Sk  
    uvV;Mlo]  
                                                                                     RW}"2  
    空间频率数                                                                             ~Q>_uw}g#  
                                                                               tWoh''@#  
    /l<<_uk$  
    |"9 #bU  
    OBP1B@|l$+  
    例2:二维光束分离超构光栅 w );6K[+;  
    ]- 4QNc=  
    材料和介质的配置                                                                             R hvfC5Hq  
    k:#P|z$UD  
    V`7FKL@"  
    WN_pd%m  
    柱子几何及分布                                                                           `zE}1M%y  
    >$,y5 AJ&  
    y;AL'vm9  
     
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