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摘要
v(i1Z}*b Z&AHM &,yj 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 F<6KaZ|
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 )6O\WB| 53g8T+`\( 超构光栅结构和建模 $q4 XcIX 7
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 <1;,B%_^ p.6$w:eV VirtualLab Fusion提供： _ C7abw- Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; $)kk8Q4 +K Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 ?$>u!V<' DLwC5I ir 光栅周围介质 L7~+x^kw
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• 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 B:R7[G;1 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 @d8&3@{R^ • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 $ Uv<LVd( P n'QOVy 光栅堆栈内部材料 u|_I Twk
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 M"$jpBN* 7Va#{Y;Zy • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 N"q+U CRC • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 J4Q)`Y\~ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 *IMF4 x5M i_oro "%yL 单柱几何配置 qaC i)f!Dl
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 ZNL;8sI?> 0- ;DN:> 柱子的分布 O+{pF.P#V ($ [r> )TG  }`+^|1 • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 Cu)%s • 有几种方法可以做到这一点: [9YlLL@ • 逐个柱子，手动; H3UX {|[ • 一次性定义在等距网格; ~P"!DaAf • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 4 _c:Vl • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 vV:M S O'r ,oB k> 数值参数设置 -N-4l
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 E,Z B;
5CRc]Q #@ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 WIH4Aw • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 \gJapx ( • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 KL:6P-3 61s2bt# 例1:一维Blazed 超构光栅 ' 5OVs:)"^ m_r@t* 材料和介质的配置 :#Ex3H7
a lb+R$s
 mvL0F%\.\ see the full Application Use Case VFO&)E/-
Z)6nu ) 柱子几何及分布 [#P`_hx jr#g >7yM  SG+i\yu$h0 yG 4LQE 空间频率数 &[W3e3Asra :>er^\  p0y0T|H^
;f ;*Q>! KHc/x8^9 例2:二维光束分离超构光栅 ;*37ta g.`t !6Hc 材料和介质的配置 &=6cz$]z .1[2 Cj Q
 23u1nU[0 #by9D&QP] 柱子几何及分布 r3BDq `
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