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摘要 LH2B*8=^2 E>s+"y 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 7tlK'j' \"(?k>]E
5h/,*p6Nje 7ivo Q 超构光栅结构和建模 :W, S 6}-No
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@5m_ }qM^J;uy VirtualLab Fusion提供: P4Pc;8T@! Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ZwBz\jmbP Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 +o`%7r(R k!x|oC0 光栅周围介质 %CHw+wT& ~Pw9[ycn3
S?b&4\: 2>9\o]ac4 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 N_NN0 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 I}bu • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 `B@eeXa;u :
B&~q$ 光栅堆栈内部材料 >[aR8J/U Lbrl CB+
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B( _jG|kjFTc • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 AB/${RGf+ • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 AuQ|CXG-\ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 ^(^P#EEG nrKAK^ 单柱几何配置 [@lK[7 u n#x_da-m]
9JP:wE~y yS~Y"#F!. 柱子的分布 `f}s<At HNS^:XR dP_QkO • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 ,WWd%DF) • 有几种方法可以做到这一点: AVQcD`V3B • 逐个柱子,手动; 'O)v@p " • 一次性定义在等距网格; )!27=R/ • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 "'[M~Js • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 6"G(Iq'2t3 "qq$i35x 数值参数设置 8*u'D@0 HjA~3l7
I%r7L >KuNHuHu • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 TNqL ')f • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 k*;U?C! • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 ;>Z+b#C[ 8(4!x$,Z5 例1:一维Blazed 超构光栅 n R, QG8 NW6;7nWb 材料和介质的配置 kEq~M10 T3oFgzoO
[]@@ see the full Application Use Case U>*@VOgB e">&B]#} 柱子几何及分布 aQmS'{d?^ it H |u%;"N'p) Zuzwc [Z1 空间频率数 u_WUJ_ J'WzEgCnU =Ya^PAj '} ^Ak?2,xB#+ 12#yHsk 例2:二维光束分离超构光栅 k:?)0Uh%^ IrYj#,xJ 材料和介质的配置 {H,O@ $Mg O)bH
>6Pe~J5,: GjwH C{ 柱子几何及分布 Vyi.:lL _8 Y`22DFO eMdP4<u
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