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摘要 ,c Y U 'kL>F&| 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 | wKZ-6
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hB6 _'D 超构光栅结构和建模 [l:3F<M
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 Q: [d |Xlc2?e VirtualLab Fusion提供： Gyk>5Q}} Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ~}i &gd|( Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 `) * c&e?_@} | 光栅周围介质 `QC{}Oo^
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s3W35S0Q 3 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 -z-58FLlO • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 Ma0_!|i • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 /RT3 r :\NqG S=< 光栅堆栈内部材料 7,d^?.~S
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[0 S • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 #)AcK |*y • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 B)Hs>Mh|W • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 G9<p Yt{: }" 06'
单柱几何配置 Vrf2%$g
OziG|o@I
 n6ETWjP HIcx "y 柱子的分布 f \!*%xS; 7v}4 Pl,$4  .Kv>*__-Q • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 #r `hK) • 有几种方法可以做到这一点: {d.`0v9h • 逐个柱子，手动; /t ikLJ • 一次性定义在等距网格; OY*BVJ^ • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 @] 1E ~ • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 Is` S |{k;p fPV 数值参数设置 l!ltgj
LDN'o1$qo
 7 6~x|6) h6}oRz9= g • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 pM9Hav@iWU • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 I1=YSi;A • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 T
{a%:=` B08q/ qi 例1:一维Blazed 超构光栅 2lDgv ug LyhLPU0^q 材料和介质的配置 %L+/GtxK
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 ! s/ij' T see the full Application Use Case wb 2N$Ew=
L`cc2.F 柱子几何及分布 u|<Z};a NDglse  yHLc lv #.?DsK_:@ 空间频率数 O?L _9L* %4Ylq|d  1wmS? z kYl IUD <~!7? ak 例2:二维光束分离超构光栅 K YD,eVQ p+@Wh3 材料和介质的配置 b{)9 ?%_ >Y?B(I2e
 3!`Pv ?|o P.$U6cq 柱子几何及分布 8K*X]Z h h ^g"FSzP  zL5 r 8mD3
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