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摘要 hdee]qLS iMOf];O) 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ]ch=D
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 >eaK@u-'0 <2R xyoDL6 超构光栅结构和建模 5V/CY cO
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 YiPp#0T[Gx p=J9N-EM VirtualLab Fusion提供： )ur&Mnmm Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; dCM*4B< Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 6u v'{ y2Z1B2E%f 光栅周围介质 ]j?Kn$nv*S
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 mPo] .z f^X\ N/ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 .:#6dG\0z • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 ZI#Xh5 • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 pvJPMx |qsY0zx 光栅堆栈内部材料 K1 >(Fs$
yw)Zt g)
 A?8 29< 1
+'HKT} • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 =Z(#j5TGvH • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 OHha5n • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 CiGN?1| lb('=]3
}H 单柱几何配置 >xE{&
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 cZ~\jp K .U ! ;fJ9 柱子的分布 DweWFipyPi 1"CbuV
6  O(E- ox~q • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 oWUDTio#[ • 有几种方法可以做到这一点: 8h2! 8' • 逐个柱子，手动; lC i_G3C • 一次性定义在等距网格; 4h v'OEl • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 O}3M+ • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 J ;wA P&Q 5ZQb 数值参数设置 v+*l|!v
VSkx; P
 (7rG~d1iS {9 Op{bZ • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 <!vAqqljt • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 O({-lI • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 }?Y+GT"E s"|N-A=cS 例1:一维Blazed 超构光栅 HiG&`:P>q P( W8XC 材料和介质的配置 G#! j`
`v)-v<
 m H'jr$ ? see the full Application Use Case -3r& O:
iV71t17 柱子几何及分布 ;D[b25 !m1 pL0  R@0ELxzA U< NpDjc" 空间频率数 k>Qr 14F m Hox  ?^&!/, b`K~l'8 8L 9;VY^Y 例2:二维光束分离超构光栅 :OBggb#?! p$@=N6)I.k 材料和介质的配置 6#5@d^a [:!#F7O-
 nZN]Q9 DRV vW6s 柱子几何及分布 *.EtdcRo[ t Q_}o[  j &Ayk *
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