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摘要 |4x&f!%m 6D_4o&N 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 wW]|ElYR= N@Bqe{r6j
?r2Im5N UFC.!t-Z 超构光栅结构和建模 5rfGMk< R-bICGSE
J+w"{ O W^P%k:anK VirtualLab Fusion提供: ZLxe$.V_ Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; )u'oI_ Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 2m/1:5 m-7^$ 光栅周围介质 %[Ia#0'Y@ >2Z:=HT
LHR%dt|M nNq| v=L • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 =DGaK0n • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 RkP7}ZA; • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 Eki7bT@/ ?gH[tN:= 光栅堆栈内部材料 5-5qm[.; 6pxj9@X+
o_X"+ s 'R,1Jmx • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 v=iz*2+X • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 M@
! {m • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 ,Es5PmV@$% <b{Le{QJ* 单柱几何配置 }NiJDs 71w
kc1 *@<L6 33s.p' 柱子的分布 .#lQZo6$\| gj$gqO`B hdfNXZ{A" • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 :X,1KR • 有几种方法可以做到这一点: X];a(7+2 • 逐个柱子,手动; d+ql@e ] • 一次性定义在等距网格; ){L`hQ*=w • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 oC^-" (# • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ,hYUxh45 /8Ca8Ju 数值参数设置 3:dQN;= - "h
{B
q J@XVN4 gMFTZQsP • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 m:ITyQ+ • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 rnEWTk7& • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 OAc+LdT "72
_Sw 例1:一维Blazed 超构光栅 pV:X_M6 .2Y"=|NdA 材料和介质的配置 ZYc)_Og ,.x1+9X
W29@`93 see the full Application Use Case Ko kmylHu xud =(HLl 柱子几何及分布 y*2:(nI !E4YUEY6 "qMd%RP 1g^N7YF 空间频率数 <Mxy&9}ic p/4GOU5g svHs&v JY4 +MApN 5 ,q uM" 例2:二维光束分离超构光栅 wRi!eN? bCy.S.`jHQ 材料和介质的配置 vsRn\Y u4rG e!
6- s/\ xCiY
jl$ 柱子几何及分布 SHIK=&\~- 6rq:jvlx$ H+;>>|+:~
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