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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             |4x&f!%m  
    6D _4o&N  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 wW]|ElYR=  
    N@Bqe{r6j  
    ?r2Im5N  
    UFC.!t-Z  
    超构光栅结构和建模 5rfGMk <  
    R-bICGSE  
                                                                            
    J+w"{ O  
    W^P%k:anK  
    VirtualLab Fusion提供: ZLxe$.V_  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; )u'oI_  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 2m/1:5  
    m -7^$  
    光栅周围介质   %[Ia#0'Y@  
    >2Z:=HT  
                                                                            
    LHR%dt|M  
    nNq|v=L  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 =DG aK0n  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 RkP7}ZA;  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 Eki7bT@/  
    ?gH[tN:=  
    光栅堆栈内部材料 5 -5qm[.;  
    6pxj9@X+  
                                                                          
    o_X"+s  
    'R,1Jmx  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 v=iz*2+X  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 M@ ! {m  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 ,Es5PmV@$%  
    <b{Le{QJ*  
    单柱几何配置 }NiJDs  
    71w  
                                                                        
    kc1 *@<L6  
    3 3s.p'  
    柱子的分布                                                                           .#lQZo6$\|  
    gj$gqO`B  
    hdfNXZ{A"  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 :X,1KR  
    • 有几种方法可以做到这一点: X];a(7+2  
    • 逐个柱子,手动; d+ql@e]  
    • 一次性定义在等距网格; ){L`hQ*=w  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 oC^-" (#  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 ,hYUxh45  
    /8 Ca8Ju  
    数值参数设置 3:dQN;=  
    - "h {B  
                                                                          
    q J@XVN4   
    gMFTZQsP  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 m:ITyQ+  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 rnEWTk7&  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 OAc+LdT  
    "72 _Sw  
    例1:一维Blazed 超构光栅 pV:X_M6  
    .2Y"=|NdA  
    材料和介质的配 ZYc)_Og  
    ,.x1+9X  
                                                                        
    W 29@`93  
    see the full Application Use Case KokmylHu  
    xud =(HLl  
    柱子几何及分布                                                                           y*2:(nI  
       !E4YUEY 6  
    "qMd%RP  
                                                                                     1g^N7YF  
    空间频率数                                                                             <Mxy&9}ic  
                                                                               p/4GOU5g  
    svHs&v  
    JY4 +MApN  
    5 ,quM"  
    例2:二维光束分离超构光栅 wRi!eN?  
    bCy.S.`jHQ  
    材料和介质的配置                                                                             vsRn \Y  
    u4rGe!  
    6- s/\  
    xCiY jl$  
    柱子几何及分布                                                                           SHIK=&\~-  
    6rq:jvlx$  
    H+;>>|+:~  
     
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