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摘要 ( $nQmr;t ^F)t>K$0 m 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 V8n z@
v6U Gr4
 ~3& *>H^U k"3@ G?JY 超构光栅结构和建模 LZtO Q__B)
?K\ r-J!Y
 t|urvoz )\KU:_l VirtualLab Fusion提供： E3LEeXcLS Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; 2P/ Sq Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 &=*sN` u>ZH-nw O 光栅周围介质 8vkCmV
P m7 lP5
 Sx:JuK@ P5KpFL `B • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 P b-4$n2c • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 E4$y|Ni" • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 A^c
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~ ;]d 光栅堆栈内部材料 .[r1Qz 7G
4|&_i)S-Y
 VS\| f'E (: P#l&f • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 LC7%Bfn! • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 82)%`$yZw[ • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 p;qFMzyS9 )3f<0C> 单柱几何配置 }Ug$ d>\
o)f$ 7.
 NQxx_3*4O EfB.K}b^ 柱子的分布 :q c?FQ
; XRm E  : HM~!7e • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 >Hu3Guik] • 有几种方法可以做到这一点: Aj8zFt ] • 逐个柱子，手动; 63(XCO • 一次性定义在等距网格; i#NtiZ.t= • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 `PZ\3SC'i • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 P~#LbUP( 'l < Oj&E 数值参数设置 ]u^ybW"
l)e6*sDZ,
 |No9eZ8>. 9?q ^yy • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 JXj H}C • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 ;eJ|) * • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 "Lyb4# M v .ow`MO=; 例1:一维Blazed 超构光栅 OHwH(}H? n %;4Fm? 材料和介质的配置 {Mb2X^@7
<Mndr 8 H
 %ikPz~( see the full Application Use Case JqUft=p5
j115:f 柱子几何及分布 qm<-(Qc (W 2Lytk OMf  >;]S+^dXY Y[| 9
+T 空间频率数 .+mP#<mAg /U,(u9bq  6B]i}nFH{+ beBv|kI4 Y3#8]Z_"}O 例2:二维光束分离超构光栅 $VjMd f }~Do0XUH 材料和介质的配置 k& M~yb uJ=d!Kn
 ~1XC5.*-
# F6<N]i 柱子几何及分布 vTo+jQs^ h@]{j_$u  A#{I- *D[
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