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摘要 p lz=G}Y *SAcH_I2$> 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ,_4 KyLfBF
% 'L=
 (t"YoWA#m 'DB({s 超构光栅结构和建模 u.xA}yVS
X~/ 9Vd g
 8 )2u@sx% 8mQd*GGu1 VirtualLab Fusion提供： zfT'!kb,( Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; r:S5x. P2 Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 R}=]UOqH- n
B|C-.F 光栅周围介质 ~ A{[=v
l<+,(E=
 DQHGq_unP :fMM-?s ] • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 9DocId. • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 q=i,'.nS • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 Yh!\:9 @( 9i xnf=$Jp 光栅堆栈内部材料 *Sp O|*'
rt4|GVa
 sjgxx7 3k s| • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 Q !$kUcky9 • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 l>Oe ,`9O • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 :O2v0Kx ?(XX 单柱几何配置 lVK F^-i
[ E&"9%K
 d `rDE a vN[m5)aT 柱子的分布 uc
`rt" cVt$#A)  9H Bx[2& • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 SZ 1pf#w! • 有几种方法可以做到这一点: C X@H G)l • 逐个柱子，手动; yyYbB ]D • 一次性定义在等距网格; k1
t xY • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Wn)A/Z ^r • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 1 bx^Pt) c[e Gp Z] 数值参数设置 4iB)o R
NhaeAD
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 |x~ei_x7.p ;@$, "
P • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 ;?[ +vf") • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 Sv[_BP\^h • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 !EC\1rmdlN REe%>|
例1:一维Blazed 超构光栅 P)
0=@{( ;{# M 材料和介质的配置 ?>Ci`XlLr
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 XT;IEZQZ see the full Application Use Case dXSb%ho
~<Qxw>S# 柱子几何及分布 :=fHPT o ML
K!]a  MhXm-<4
<UHf7:0V 空间频率数 MkIO0&0O ~V)VGGOL$v  1 jd=R7 ,}$x'8v eT
\Q 例2:二维光束分离超构光栅 !)1Zp* 9(\ N+ 材料和介质的配置 h.0&)t\q" dtXJ <1:
 <i @jD <\Dl#DH 柱子几何及分布 }Z%{QJ$z o".O#^3H%  $XzlW=3y
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