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摘要 jI0]LD1k >{t+4 p4k. 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 t N2 W8d
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 CjKRP;5 z 6cYC, 超构光栅结构和建模 ve- 8*Xa
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 v20~^gKo=m l{Er+)a VirtualLab Fusion提供： -l[jEJS} Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ,]q%/yxi Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 9|3o< VY igxhP7 光栅周围介质 x8/us
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 ^*>n4U ANb"oX c • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 j )";:v • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 n1 v,#GE • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 1Is%] 6 2LK]Q/WG,+ 光栅堆栈内部材料 t:T?7-XIE
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 =YHt9fb$c Kj!Y K~~ • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 VDa|U9N • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 |D<+X^0' • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 )eq}MaW+j "K
?#,_ 单柱几何配置 rS,j;8D-
-[$ &s FD
 blp=Hk "k r,x3
= 柱子的分布 =G>.-Qfs d$[8w/5Of  @h(!<Ux_ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 r--;yEjWE • 有几种方法可以做到这一点: ~S;! T • 逐个柱子，手动; $T/#1w P • 一次性定义在等距网格; }4vjKSV • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Q c3?}os2 • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 oLP]N$'# :'Xr/| s 数值参数设置 9A+M|;O
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 ymkR! I.9o`Q[8& • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 ]#5^&w)' • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 -#%X3F7/w • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 $m8leuo) 8 }z3CuM 例1:一维Blazed 超构光栅 lM+ xU; QT;Va#a 材料和介质的配置 ~},~c:fF?
=)*JbwQ
 MHl^/e@ see the full Application Use Case 5m`[MBt2g
T<M?Pl ED 柱子几何及分布 xD0NZ~w% pn s +y  :MBS>owR R'Eq:Rv~;^ 空间频率数 ] R<FKJ[ zp#:EZ  ^9'$Oa,* >-zkB)5<,# @?d? e+B 例2:二维光束分离超构光栅 ngLJ@TP- x
^[F]YU 材料和介质的配置 |!xpYT: 8T7f[?
 oXbI5XY)wb EZ{/]gCK 柱子几何及分布 \n;g2/VjO 'z-D%sCA  _25d %Ne0
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