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    [技术]超构光栅构建——实例讨论 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             "eb+O  
    wk[4Qsk<  
    超构光栅通常由具有空间变化参数纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 WLkfo6Nw  
    p.@_3^#|  
    Y-fDYMm  
    +F@ZVMp  
    超构光栅结构和建模 :|PI_ $4H  
    u`~,`z^{n  
                                                                            
    RJ0:O   
    tB/'3#o  
    VirtualLab Fusion提供: 2[QyH'"^E  
     Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; NS3qNj  
     Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 ^9`S`Bhp  
    U3OXO 1  
    光栅周围介质   dm`:']?  
    <[Y@<  
                                                                            
    H5X.CcI&}  
    9JBVG~m+  
    • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 bb}$7v`G  
    • 这些介质必须根据调查的实际  情况进行配置。 gH<A.5 xy  
    • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 &wea]./B  
    2}xvM"k=k  
    光栅堆栈内部材料 yD:}&!\}  
    [Zj6v a  
                                                                          
    >m'n#=yap  
    5ji#rIAhxh  
    • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 uz'MUT(68  
    • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 -(1GmU5v(  
    • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 rOA{8)jIa*  
    ee\xj$,  
    单柱几何配置 {T'M4y=)i  
    P&.-c _  
                                                                        
    >4iVVs  
    aYrbB#  
    柱子的分布                                                                           /pYp, ak  
    ipH'}~=ID  
    dQ`=CIr  
    • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 &{z RuF  
    • 有几种方法可以做到这一点: i/{`rv*K[  
    • 逐个柱子,手动; ("txj[v-/  
    • 一次性定义在等距网格; G/y;o3/[Z  
    • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 u.9syr  
    • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 IEeh9:Km  
    .F^372hH3  
    数值参数设置 ;JV(!8[  
    /?_5!3KJ  
                                                                          
    fZNe[|  
    L7OFZ|gUz  
    • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 4B$|UG  
    • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 C<yjGt VD  
    • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 vHM,_I{  
    Q1^kU0M}  
    例1:一维Blazed 超构光栅 #Zj3SfU~`  
    -&QTy  
    材料和介质的配 Z>(K|3_  
    ? uu,w  
                                                                        
    mT&?DZ9<  
    see the full Application Use Case y$`@QRW  
    t*(buAx  
    柱子几何及分布                                                                           )m<CmYr2  
       wS @-EcCB  
    (K`@OwD  
                                                                                     &[qJ=HMm I  
    空间频率数                                                                             ;Yu|LaI\<m  
                                                                               'v0(ki#  
    @G?R (  
    DM=`hyf(v  
    SK t&BnW  
    例2:二维光束分离超构光栅 %shCqS  
    &b9bb{y_$K  
    材料和介质的配置                                                                             |?<^4U8  
    9 `T2  
    |DkK7gw  
    u )k Q*&  
    柱子几何及分布                                                                           H J0Rcw%  
    K_o[m!:jU  
    mJ JF  
     
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