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摘要 NWmtwS+@ yno(' 1B@ 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成，与传统光栅相比，它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅，在本例中，我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 ul5|.C
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 OCyG_DLT$5 O>DNC-m)i{ 超构光栅结构和建模 %4>x!{jwV
){Mu~ P
 n l /UdgI Yq '4e[i VirtualLab Fusion提供： FT\?:wpKa Pillar Medium (General)，用于构建超构光栅和其他类似结构，以安排圆形/矩形纳米柱的分布; ,ul5,ygA Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率，偏振灵敏度等方面的性能。 c^I0y! p{;i& HNdp 光栅周围介质 `U`#I,Ln[
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YDK $ 4 \ $3 • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 : iY$82wQ • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 ( fk5' • 作为光栅效率分析的惯例，衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 -rY 7)= ho l<dB 光栅堆栈内部材料 ZykrQ\q9
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H 30OUrD • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 |KG&HN fP- • Pillar Medium(General)的配置对话框中，有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 y8s=\`~PR • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 LPE ) i Q`]ms+ 单柱几何配置 k
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 !s IwFv ) ;El <%{( 柱子的分布 +g\;b LT OeTu?d&N  h
W.2p+ • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 `^8*<+ • 有几种方法可以做到这一点: VWvoQf^+ • 逐个柱子，手动; ^Vo"fI`=C • 一次性定义在等距网格; yFeeG3 n3 • 使用导入的数组，其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 d /j@_3' • 柱子的位置可以任意变化，无论是直接，或偏离其原始位置。 q.oLmX n9}R W;N+u 数值参数设置 h`?k.{})M
E <@\>y.[
 r,'O ).7 , {<Fz % • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果，必须使用足够多的空间频率。 Di.;<v#FL • 对于超构光栅(通常由阵列，1D或2D柱组成)，我们建议执行收敛测试，以确保算法的数值收敛。 q Z\ L • 对于1D超构光栅(例如，blazed超构光栅)，应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 yq* Jd TF 5 #uO'<2$ 例1:一维Blazed 超构光栅 1X@b?6 k=uZ=tUft* 材料和介质的配置 ZgF/;8!~V-
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 /yK"t< p see the full Application Use Case ~%P 3Pp
zD_H yGf 柱子几何及分布 BI/y<6#rR
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zn3 IK?]PmN4} 空间频率数 _;G=G5r /.ZaE+  &7][@v 4K,''7N3
TcZN % 例2:二维光束分离超构光栅 >EBC 2WJ ak2dn]]D 材料和介质的配置 csvO g[ UPO^V:.R4
 X%`KYo% 9HKf^+';n 柱子几何及分布 3U o]> BG ,i +2yF|/WW#
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