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摘要 "eb+O wk[4Qsk< 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 WLkfo6Nw p.@_3^#|
Y-fDYMm +F@ZVMp 超构光栅结构和建模 :|PI_
$4H u`~,`z^{n
RJ0:O tB/'3#o VirtualLab Fusion提供: 2[QyH'"^E Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; NS3qNj
Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 ^9`S`Bhp U3OXO1 光栅周围介质 dm`:']? <[Y@<
H5X.CcI&} 9JBVG~m+ • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 bb}$7v`G • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 gH<A.5 xy • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 &wea]./B 2}xvM"k=k 光栅堆栈内部材料 y D:}&!\} [Zj6v a
>m'n#=yap 5ji#rIAhxh • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 uz'MUT(68 • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 -(1GmU5v( • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 rOA{8)jIa* ee\xj$, 单柱几何配置 {T'M4y=)i P&.-c _
>4iVVs aYrbB# 柱子的分布 /pYp,ak ipH'}~=ID dQ`=CIr • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 &{zRuF • 有几种方法可以做到这一点: i/{`rv*K[ • 逐个柱子,手动; ("txj[v-/ • 一次性定义在等距网格; G/y;o3/[Z • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 u.9syr • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 IEeh9:Km .F^372hH3 数值参数设置 ;JV(!8[ /?_5!3K J
fZ[uNe[| L7OFZ|gUz • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 4B$|UG • 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 C<yjGtVD • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 vHM,_I{ Q1^kU0M } 例1:一维Blazed 超构光栅 #Zj3SfU~` -&QTy 材料和介质的配置 Z>(K|3_ ? uu, w
mT&?DZ9< see the full Application Use Case y$`@QRW t*(buAx 柱子几何及分布 )m<CmYr2 wS @-EcCB (K`@OwD &[qJ=HMm I 空间频率数 ;Yu|LaI\<m 'v 0(ki# @G?R( DM=`hyf(v SK t&BnW 例2:二维光束分离超构光栅 %shCqS &b9bb{y_$K 材料和介质的配置 |?<^4U8 9`T2
|DkK7gw u )kQ*& 柱子几何及分布 HJ0Rcw% K_o[m!:jU mJ JF
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