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摘要 |P~;C6sf m"d/b~q 超构光栅通常由具有空间变化参数的纳米柱组成,与传统光栅相比,它具有优越的性能。可以借助支柱介质在 VirtualLab Fusion 中设置此类光栅,在本例中,我们将展示如何正确配置超构光栅设置。这包括介质、材料的配置、支柱的几何形状以及支柱的空间分布。还给出了有关空间频率数量设置的附加提示。 @dgH50o[ mR+Jws'
E0 l_-- 3fr ^ T 超构光栅结构和建模 A\$
>>Z Dl C@fZD
.DguR2KT s8<gK.atl VirtualLab Fusion提供: W5pb;74| Pillar Medium (General),用于构建超构光栅和其他类似结构,以安排圆形/矩形纳米柱的分布; #E$X,[ZFo Fourier modal method (FMM)用于严格分析由此配置的超构光栅在衍射效率,偏振灵敏度等方面的性能。 ]@
M5_%p ?&X6:KJQ 光栅周围介质 >#(n"RCHf cpZc9;@IC
d]wD[] H(-4:BD? • 光栅前后的介质在光学设置编辑器中设置。 {Wv%zA*8 • 这些介质必须根据调查的实际 情况进行配置。 <
<Y}~N • 作为光栅效率分析的惯例,衬底与周围介质之间的菲涅耳损耗通常被忽略(即结构衬底的介质与其背后的介质应相同)。 9em*r9- 6GL=)0Ah 光栅堆栈内部材料 'Ot,H_pE }#`:Qb \U
h|;qG)f^ K#mOSY;} • 超构光栅堆栈由Pillar Medium(General)和从两侧夹入介质的两个平面接口组成。 8g~EL{' • Pillar Medium(General)的配置对话框中,有两种材料需要配置:柱子的材料和填充柱子间空间的材料。 E JK0 • 这两种材料的配置都独立于系统中的任何其他材料。这意味着实现对物理现实的正确描述(即嵌入介质与填充柱子之间空间的介质一致)是用户的责任。 aP-<4uGx Sq2P-y!w 单柱几何配置 FjFMR
63 ) R2XU
X~9j$3lUBR Pm{*.AW1 柱子的分布 ZcE_f>KV ;xYNX
Q<(YP.k • 各柱子在分布(超构结构周期)中的横向位置(x, y)和直径可以自由配置。 `#mK*Buem} • 有几种方法可以做到这一点: ?>
Dtw#} • 逐个柱子,手动; O;9?(:_ • 一次性定义在等距网格; \2C`<h$fN • 使用导入的数组,其中包含定义每个柱子的横向位置和直径的数据。 Wp0
Dq( • 柱子的位置可以任意变化,无论是直接,或偏离其原始位置。 2 QTZwx tt_o$D~kg 数值参数设置 s5&@Cxzl *OjKcs
'lz"2@4{ w.{&=WTr • 为了从FMM/RCWA模拟中获得收敛的结果,必须使用足够多的空间频率。 ]T:;Vo
• 对于超构光栅(通常由阵列,1D或2D柱组成),我们建议执行收敛测试,以确保算法的数值收敛。 B%s7bS • 对于1D超构光栅(例如,blazed超构光栅),应分别检查x和y方向所需的空间频率数量。 BU Z
_) ,m3e?j@;r 例1:一维Blazed 超构光栅 9xI GV! IM@tN L 材料和介质的配置 b7`D|7D )cJ#-M2
_qwQ;!9 see the full Application Use Case =='Td[ 2x]>l?
5b 柱子几何及分布 (N-RIk73/O pKUP2m`MW n/d`qS g=L]S-e 空间频率数 V9yl4q-bL thlY0XCq,% [lzN !!B! d*8 $>GA OR1DYHHT/1 例2:二维光束分离超构光栅 _gj&$zP G3P&{.v 材料和介质的配置 c_grPk2O4 >et-{(G
uA tV". g#]" hn 柱子几何及分布 {P%9 HAz By\M{ K7knK
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