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摘要 n#Roz5/U L]d@D0.Z 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 M"^Vf{X^ N-`;\
jJZsBOW[8 .KucjRI 设计任务 L\NZDkd gvNZrp>e! 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 u!o]Co> 5lnSa+_/f
mE`qvavP|/ J4"swPf 光栅级次分析模块设置 H@E ")@92 Cc)P5\jh p &>A5 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 .vS6_ ]TgP!M&q
O[)]dD&' ttaQlEa=Z kLt9;<L 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 (YHvGGr 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
}m%?&c 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 =5~F6to 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 -,VhS I ceZ8}Sh
Pzp+I} 衍射分束器表面 RR!!hY3 K 99"[b
HI\f>U xDJ+BQ<1A 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 u=;nU(]M ' ]A72)1
ZQ~myqx,+L Z.':&7Y
!I5~))E ^2^|AXNES 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) RO{@RhnV 030U7 VT1
HNy/ - q|o|/ O-{ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 "6N~2q,SW 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 pzq;vMr 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 *Z`XG_ s5 LuP?$~z
g&+Y{*Gp jD/7/G* 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;DD>k bd n2d8;B#
{(Og/[ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 B9e.-Xaf ?,:#8.9 LR3`=Z9 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 X#DL/#z k -/UXd4S #_?TIY:h 设计与评估结果 +Cf0Y2*@hM 相位功能设计 -
LiPHHX< 结构设计 V+O0k: o TEA评价 TTZ['HP
oI FMM评估 _7lt(f[S 高度标度(公差) Y:%m;b$] hB?,7- 通用设置 hu P ^2*c i)7n c g={]Mzh 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。
l*K I 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 )d}H>Qx= {jOzap| T2DF'f3A 纯相位传输设计 ]bTzbu@ 3J'73)y
Rkpr8MS N^h|h 结构设计 *%X6F~h(u VyecTU"W
q]"2hLq B;z;vrrL V(;55ycr 更深的分析 ;Y'8:ncDn •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 GS
;HtUQ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 7~wFU*P1 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ]8$#qDS@ EqD^/(,L2
EkJVFHfh URYZV8=B~ 使用TEA进行性能评估 W/ g|{t[ tYs8)\{
\G$QNUU FZe:co8Mu 使用FMM进行性能评估 n1QEu"~Zj #K=b%;>
bz{^ h' LH=d[3Y 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 -7>^
rR V I&L.;~
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e] K;oV"KRK 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 P<%v+O 5>k>L*5J
w&p~0cA~ JY{X,?s 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 [IiwN qZ[~ i[$-_
DH5bpg&T 7\mDBG VirtualLab Fusion技术 <57g{e0I f:]u`ziM
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