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摘要 8XD_p);Oy <F?UdMT4y 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 `qhZZ{s)1U ]
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nHl{'|~ h~s h!W8 设计任务 RKb ( pZ5eGA= 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 U(5 Yg b}J,&eYD
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)f5 ='Yg^:n 光栅级次分析模块设置 TV~S#yg+H SHRn$< y=LN|vkQ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 rkn'1M&u U
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tgC)vZ&a 'M,O(utGv GuKiNYI_ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 Dr5AJ`y9A 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 > *soc!# Y 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 zo:NE00 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 J*t_r-z Ca
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f47dB_{5f. 衍射分束器表面 Or:P*l i!yE#zew
@bZ,)R $^`@ lyr 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ._TN;tR~' \e~5Dx1
}70A>JBw 5IfC8drAs
czT]XF Z6 E_Y? 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) CTJwZY7 {_UOS8j7
8/R9YiY5* +aN"*//i 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 }z5u^_-m 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Y6m:d&p=} 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 A=r8_.@2@ '<xV]k|v
]A:8x`z#F .JV y}^Q\ 光栅级次和可编程光栅分析仪 cVli^*se 1v 4M*
}WHq? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 wK0],,RN,h !V-(K_\t K9ek 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 lYS*{i1^ ' >fzFNcO* u{S"NEc 设计与评估结果 l OiZ2_2 相位功能设计 >L433qR 结构设计 9#
#(B TEA评价 (U@$gkUx}G FMM评估 u}89v1._Jn 高度标度(公差) Fz' s\ vbfQy2q 通用设置 }6gum (*9-Fa sfk;c#K 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 &r2\P6J 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 bu{dT8g'U 9I(00t_ ~SS3gL v 纯相位传输设计 klnk{R.>| V3ExS1fNf
<u/(7H Y|buQQ| 结构设计 Zgo%Jo I3u)y|Y=
D4sp+ 6FY.kN\
bnJ4Edy 更深的分析 tVh"C%Vkr •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Yr[&*>S •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 yW&ka3j\ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 #7@p '$[%x
g.\%jDM b@O{e QB 使用TEA进行性能评估 R2JPLvs a'A<'(yv
6[?5hmc"w 3,n" d- 使用FMM进行性能评估 MG~bDM4 ^PUB~P/
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["O3 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 (T%Ue2zlY h/6^>setz
#q W#>0U TFAR>8Nm 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 HiBI0)N} XlnSh<e
wB&5q!{! _!_1=|[ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 `3`.usw
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nLx|$=W 0Ua=&;/2 VirtualLab Fusion技术 q@tym5 zQ#*O'-n
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