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摘要 5HU>o|. 1@y?OWC 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 4MIVlg9 WC4Il
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5E@V@kw IE6/
E 设计任务 @MM|.#
~T WO{N@f^ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 z23KSPo '>6-ie^0
IFgF5VG6g UY+~xzm 光栅级次分析模块设置
p.%$ BYY>;>V ?Cws25G 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 U +]ab qgDBu\
>}9TdP/oT i~2>kxf;K1 {ys_uS{c* 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 B8PF}Mf 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 !y),| #7P 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 HwcGbbX) 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 zx!1jS @6gz)
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:!/}*B 衍射分束器表面 Frml'Vfq7 k\[2o
Nwc(< 8(A:XQN"h 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 V_~wWuZ- l}wBthwCc
M}c_KFMV O$$N{
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$^l=#tV 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) i.<}X +vuW9
b,'./{c0 :eO]65N 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 :G-1VtE n 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 Ax\Fg
5 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 7#&sG
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H(X~=r V *]!N 光栅级次和可编程光栅分析仪 +]{X-R |joGrWv4
2AluH8X/ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ]gEfm~YV <HD/&4$[ #K[
@$BY: 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 NubD2 MqpoS vxgm0ZOMN 设计与评估结果 `+gF|o9 相位功能设计 @@$
_TaI 结构设计 md_Ld
/ TEA评价 F7hQNQu: FMM评估 )CB?gW 高度标度(公差) "6}+|!"$ 2.[qcs3zl 通用设置 &>/nYvuq - !F8
!]"* lN&GfPP6 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ^?A+`1- 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 {/Cd ^CK {L0w&~$Fy ,t[D1KZt 纯相位传输设计 [ M'1aBx^ N.<hZ\].=
#=tWCxf= r
{8 结构设计 Xnh1pwDhe< v:>P;\]r9M
ooAZ,l=8 KV6S- NX;&V7 更深的分析 Mc8^{br61 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 M(BZ<,9V •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 IIPf5
Z}A •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 E%'DIs 5(W9J j]
vfm-K;,# HfF$>Z'kM 使用TEA进行性能评估 V OX>Sl -bE|FFU
1-n0"lP~4 rQqtejcfx 使用FMM进行性能评估 26**tB< ' 4"L;){:L
f[RnL#*xJU r3kI'I|bq 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 5Zov<+kE "f3>20}
-FI1$ ra&C|"~E 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 m"DMa ,?qS#B+>
j{=%~ *}J_STM 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ke0W? W@tLT[}CG
5"Yw$DB9 H,}?YW VirtualLab Fusion技术 (tgaH,G bo2Od
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