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摘要 pCpj#+|_) ^z)lEO 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 &s]
s]V) 1f}S:Z
[a+?z6qI\} T,H]svN5p 设计任务 c~$ipX tgrQ$Yjk 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 -R&h?ec 7Y#b7H
YW/<. 0rI sav2 .w 光栅级次分析模块设置 ~vF.k, Ulktd^A\ [5m;L5 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 (:[><-h. =8tduB
0udE\/4!^ kdWi!Hp qqkZbsN 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 yn%w' 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 c6?5?_ne 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 `
0\hm` 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 mTs[3opg ShSh/0
"BzRLg!J 衍射分束器表面 3>S.wyMR4 R;;)7|;~
Z2
t0l% N%Lh_2EzqV 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 Y-,#3%bT;; wvUph[j}J
e7hPIG TmQ2;3%
LW2Sko?Yo xQmk2S`
y 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) :X;8$.z _xmM~q[c7p
8fDnDA.e S++}kR);
一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 R'9TD=qEK 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 #z5'5|3 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 wS:323
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bAW;2
NB _$, .NK,6 光栅级次和可编程光栅分析仪 ^&cI+xZ2Y KzM\+yC
H5qa7JMZ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 f|b|\/.= xy|;WB U+'?#"
J8( 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率
o>W}1_ x^C,xP[#Y; ]jy6C'Mp 设计与评估结果 +$v$P!), 相位功能设计 Q)Ppx 7) 结构设计 +J#H9>To! TEA评价 }}Q|O]e FMM评估 :jUd?( 高度标度(公差) lSbAZ6 Qp-nr] 通用设置 ]Mtb~^joG H9 't;Do DVCc^5# 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 "5>p]u> 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 6}<PBl%qe %K/rPhU %r|fuwwJO 纯相位传输设计 -`Z5#8P O'!k$iJNb
vK$T$SL hL8QA! 结构设计 OS \co: Oz n7C?\*
||/noUK r]8B6iV (zTr/ 更深的分析 <27e7H*6 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 (]iw#m{ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
wN*e6dOF •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 BD9` +9 ,Q}/#/
^]Gt<_ [#14atv 使用TEA进行性能评估 Kj'm<]u /#Ew{RvW'
~_h4|vG D0-C:gz 使用FMM进行性能评估 =3& WH0 iv56zsR
;2bG-v'4vO (}Gl'.>\M 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 8n2*z "-I>
xu_Tocvop 2{{M{#}S. 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 mu:Q2t^ ( XE`,#
SHhg&~B }*?e w 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 5*4P_q(AxD m;[z)-&"
)Oa"B;\j r^Gl~sX VirtualLab Fusion技术 E9
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