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摘要 ?!$uMKyt *#n?6KqZ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 k@i+gV% FBCi,_
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UNB'Xjp}@ ',<Bo{ 设计任务 ^A"TY o;D[F 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 l0%qj(4`6& i& ,Wg8#R
!gm;g}]szG &&\HE7* 光栅级次分析模块设置 y:>'1"2` qbwX*E~; zYW+Goz/C
使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ^3B&E^R $B3<"
vg6'^5S7 L9Gxqw yK #9)W- 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 NWt `X! 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 nn0`A3 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 5[py{Gq 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 8LMO2Wyq 6zGM[2
k{ru<cf 衍射分束器表面 GQP2-cSZ e[(XR_EY
G; *jL4 PDEeb.(. 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 S3G9/ yG`J3++
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?% S-$N! G~!
(pl|RmmDz nX|f?5 O 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0E5"}8 5ZX P$.
VT;Vm3\ nSM8o<)H 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 k\qF> = 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 *&d>Vk."] 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 M'n2 j 4zRz U
~'[0-_]=f xxsax/h 光栅级次和可编程光栅分析仪 ds*N1[
* #'@pL0dj
tLz,t&h 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 R@+%~"Z l.
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i ` :?*|D p1 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Ju"*;/ !m*
YPY31 1TagQ 设计与评估结果 "
aEk#W 相位功能设计 Y M<8>d 结构设计 OVo3. TEA评价 xnfMx$fD FMM评估 t8}R?%u 高度标度(公差) C [Ap&S eYN=? 通用设置 "x+o(jOy gyz#:z$p^ )dv w.X 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 biBo?k;4 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 bK\Mn95] LR:v$3 G( cILI%W1 纯相位传输设计 %|tDb n7J6YtUwP
zmw <y2` Qcy
/)4Hfg 结构设计 -|"[S"e X3bPBv
6 cF~8 *[P"2b# z^ai * 更深的分析 p-6Y5$Y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 &y7<h>z •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 b-d{)-G{( •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 LXZ0up-B- 6ka,
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r~q(m>Ct6 iOFp 9i=j 使用TEA进行性能评估 %`M IGi# rwJCVkF
L[|($vQ" (mNNTMe 使用FMM进行性能评估 6D=9J%; uuD|%-Ng
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2J Y#/mE!& 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 z154lY}K Z}8khNCYr
*&=sL !a.|URa7 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 KWq&<X5 DR%16y<h
V1P]mUs{1 'P:u/Sq?m 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SU,#:s( *NC9S,eSP
1(q&(p eTeZ^G VirtualLab Fusion技术 ep$C
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