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摘要 h{JVq72R C|lMXp\* 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 n9J>yud| _:K}DU'6
(w^&NU'e
g8x8u| 设计任务 hy]AH)?pR /Z@.;M 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 *ap#*}r!Nk xeH#)QJt
.XE]vo *FE<'+% 光栅级次分析模块设置 <n:?WP~U }GC{~
SZ4 tV,zz;* Oe 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 U^YPL,m1 gU%GM
Y~:7l5C ""a8eB6 <'B^z0I, 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 1k~jVC2VA 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 <|_Ey)1
6 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 bc"N 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 .)GVb<w "D/ fB%h`
4HHf3j!5 衍射分束器表面 z7_./ksQ 8(I"C$D!k
FV9RrI2 o99 a=x6 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 w}i.$Qt 19vD(KC<
P}I*SV0 5jLDe~
pZjFpd| :Rn9rdX 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) QM]^@2rK2 X ,
Uoe?5Of(* Z4!3I@yZ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 zW _'sC 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 DI RCP=5 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 !v`=EF. IviWS84
LQjqwsuN{ 2P=;r:cx 光栅级次和可编程光栅分析仪 N#:"X; +x2xQ8#|~~
pDLo`F}A 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 6uyf !jbjrzv9 fm*Hk57 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Ame%:K!t *8p</Q S`G\Cd;5 设计与评估结果 WKf~K4BL> 相位功能设计 [ n2udV 结构设计 c>Se Onf TEA评价 4Rn i7qH FMM评估 K0\WN"ua; 高度标度(公差) Xwi&uyvU& y
^\8x^Eg 通用设置 ]@>|y2 Kf4z*5Veqr 9 ?8`"v 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Q [{vU 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 EHZSM5hu %8Z,t+' /HRaX!|E# 纯相位传输设计 'gGB-=yvbO Nt8(
1%,Z&@^j f<wgZM 结构设计 |@BN+o;`Om q~n2VU4L*
)VT/kIq-U sfa'\6=O 4lA+V,# 更深的分析 >gl.(b25C •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 (4LLTf0 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Pcs@`&}7r •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 V1.F`3h~ &[kgrRF@HU
5WT\0]RUa C)j)j& 使用TEA进行性能评估 1RA$hW@} kdCOcJB
9f\8oJQ @nu/0+8h{ 使用FMM进行性能评估 9f,:j VaxO L61xE
]B4mm__ aTsfl 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 R6;>RRU_ #=(op?]
1!3kAcBP W1Qc1T8 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 ItADO'M $8k_M
T;@>O^ Wi^rnr'Ss 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 SWpUVZyd ?LI9F7n
dn_OfK e-9unnk VirtualLab Fusion技术 : !3 y>bP) Bq@wS\W>b}
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