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摘要 +<WNAmh
3&B- w 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 XKvH^Z4h{l 3*eS<n[uG
3*oZol/ K pmq C$ 设计任务 K%;=i2: LKst
QP!I 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 aF.fd2k !ZayN
|43Oc:Ah+ GsIqUM#R 光栅级次分析模块设置 \sS0@gnDI U+VyH4" #X0Y8:vj 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 OOzXA%<%c ;;Jx1Q
=an0PN Xkf|^-n i_p-|I:hQ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 %4Yq
(e 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 ^NO4T 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 Oki{)Ssy 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Uq.hCb`: VhU,("&pm
c4}|a1R\= 衍射分束器表面 )%HIC@MM6
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0_-P~^A VBK |*Tl 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 o>HGfr,N E|_}?>{R
z]!w@: mnU8i=v0A
2FR5RG
oD fRp(&%8E 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 1?,C d =|H.r9-PK6
[iC]Wh% d5n>2iO 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 {N@Pk[! 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 yn.[- 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 2fP;>0? }+K=>.
<>V~ 7hT@,|(j 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;dTxQ_: mcxD#+H 3
}U|Vpgd! 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 Y.%Vvg4z3 _Zxo<}w}y }Zfi/ ^0U 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 *O7PH1G 'Qg.D88 ?h,.1Tb 设计与评估结果 @QF;m 相位功能设计 P|TM4i] 结构设计 X#o;`QM TEA评价 P[jh^!<j FMM评估 )*aAkM 高度标度(公差) 6Ia[`xuL <|hrmwk| 通用设置 ^grDP*;W 2%)~E50U @[{5{ y 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ?5wsgP^ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 bl\;*.s' :0Fc E,1 QRwO v 纯相位传输设计 [C@Ro,mI a >k9&
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GK#D R/OM -jVg{f! 结构设计 "e/"$z'ca 0f9U:)1z
Bf" ZmG9 7H4kj7UK vgi`.hk 更深的分析 ^cuH\&&7 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 {*nE8+..A •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 BRv#` •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 k7M{+X6[ ?<^^.Si
P=X)Ktmv m<!CF3g 使用TEA进行性能评估 EF;B)y= Wj, {lJ,
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m0'L qBZ;S3 使用FMM进行性能评估 C#RueDa. ER:K^
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'Y]<1M>.g v+CW([zAx# 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 rw75(Lp{ ){w!<Lb
_:JV-lM ~eUv.I/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Pt'=_^Io lo36b zbT
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FY 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 FPEab69 &09G9G snQ
:)Da^V 4 &0MB>m VirtualLab Fusion技术 E&Sr+D aPD E cd~H+
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