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摘要 b<FE
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b!xb 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 X}( s(6 >0HH#JW
/&Q{B f ;nSF\X(;{ 设计任务 XFWpHe_ L T0 K!Msz 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 E2DfG^sGV B:h<iU:'D
UZ<K'H,q )j;^3LiV3 光栅级次分析模块设置 gnJ8tuS fd[N]I3 Q`F1t 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 O2fq9%lk {Zgd
ZLjAhd) Sp>g77@ 9a*#r;R 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 tV!?Ol 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 _ [k
\S|iY 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 `D ;*.zrA 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 4jXo5SkEJ z&;8pZr
WEwa<%Ss 衍射分束器表面 tWn
dAM(U7 T'p L&@,Q
s4bV0k qfsPX6] 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 u1meysa{0 P<g(i 6]
0&s6PS% |gE1P/%k
X&9:^$m 1(DiV#epG 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) L/"MRQ" \Kf\%Q
*}\M!u{J %u!=<yn' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ET.jjV 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 6x^$W ]R 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 +gd5& o*Qa*<n
%jtUbBN z>W:+W"o 光栅级次和可编程光栅分析仪 Ay(p~U;gN* @` KYgjjH
HoPpUq5, 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 %)j&/QdzF& o-6d$c}{f \D|IN'!D 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 529b. | D[+LU( 2j+w5KvU 设计与评估结果 >[ B.y 相位功能设计 z>N[veX% 结构设计 6\8d6x> TEA评价 ) lUS' I FMM评估 E7$&:xqx 高度标度(公差) MhN;GMH ~kZdep^] 通用设置 *s4|'KS2o M">v4f&K1! "'CvB0> 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 i >3`V6 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 -m@c{&r c~hH
7/v FW-I|kK. 纯相位传输设计 `N\ ^JAGW kk78*s {6
^xHKoOTj[ ZxvH1qx8 结构设计 C&z!="hMhR "VZ1LVI
5e7Y M@ng /V,xSK9.& NQqw|3 更深的分析 %"`p&aE: •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 8Qg{@#Wr •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ]r;rAOWVV •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 B_d\eD 58Ibje
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=d\ 使用TEA进行性能评估 O?OAXPK2 ins(RWO
3l=q@72 cb_C2+%8NA 使用FMM进行性能评估 )|*Qs${tF VgbNZ{qk@
Pk;w.)kT x;[ . ZzQ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ZuGSR GX' P3Ql[2
:-{"9cgFR _s;y0$O 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Rs=Fcvl 1>e30Ri,g
e=9/3?El =%|`gZ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 i~Tt\UA> OH@"]Nc~
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