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摘要 =3 +l Q0{z).&\(e 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 M]HgIL@9# =C
f(B<u
O {k:yVb eX2<}'W< 设计任务 [B0K 15zrrU~D 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 ^ie^VY($ cUK\x2
ecX/K.8l s(&;q4| 光栅级次分析模块设置 0ZC,BS`D^ x7RdZC n+D#k 8{ 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 y1BgK>R 2D([Z -<i
DI&MC9j( kA7(CqUW {*/dD` 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 _a+ICqR 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 s6=YV0w( 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 4?/7
bc 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 %HSl)zEo>C 3D)b*fPc
"]t>ZT:OJ 衍射分束器表面 agd)ag4"[u qi+&|80T.
16@);Ot HPa|uDVv 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 9b6!CNe! (3md:r<-
k|O,1 Q-zdJt
>$F:*lO +zRh
fIJHH 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) E' %lxr ,w&:_n
=s'7$D}0. w{'2q^>6* 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 v3JPE])/ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ^t78jfl 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 ma9ADFFT 2q%K)h
9NWloK6bT )o8g=7Jm 光栅级次和可编程光栅分析仪 C(,=[Fi- Q#WE|,a
_=6 OP8 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 /R%^rz'w B
<+K<,S ?Bu}.0ku-$ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 5
R*lVUix 6s,2NeVWa ;,0lUcV 设计与评估结果 EDN(eh(_ 相位功能设计 e d;"bb 结构设计 M7VID6J. TEA评价 797X71> FMM评估 Tiprdvm< 高度标度(公差) VD#!ztcY' ,U%=rfB~ 通用设置 e}Q>\t45 =hcPTU-QU 9d"5wx 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 hNO)~rt 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 [EGx ]xR4->eix /Ri,>}n 纯相位传输设计 ?f@ 9n ph |yAK@Hl'
4zzlazU d +xA: 结构设计 hwDXm9 ;\s~%~\
n{{P3f ( 2zeG` `Z8^+AMc 更深的分析 tE:X,Lt[ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 cno;>[$ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 %uEtQh[ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ;>C9@S+ &Y=.D:z<
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~BQV]BJ7 使用TEA进行性能评估 }3sN+4 /=trj5h
k<, u0 2C{/`N 使用FMM进行性能评估 bx7\QU+ wDZ
b=_{/F*b? ixzTJ]y u 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 |>@-grs !Y|8z\Q
'f6PjI I<xy?{s 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 yXXvs'$R \ k)i"tpw
U,38qKE x?rbgsB5& 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 lY->ucS %P 3/l\ <{
_^b@>C>O +:!ScG* VirtualLab Fusion技术 s~)L_ p -HN%B?}. x
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