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摘要 ;NeP&)Td { NJ>[mKg 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 |q2lTbJ i)i)3K2
)X;cS}
yp <\g&%c, 设计任务 l%(`<a]VIB t`,IW{ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 })lT fy %UQB?dkf$
gj,J3x4TK/ :5{@* 光栅级次分析模块设置 b,R'T+4[ Sp,Q,Q4 E$Pjp oQTf 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 BpG'e-2 `;CU[Ps?]
y9li<u<PF D!a5#+\C KB R0p&MN 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 sC_UalOC_ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 <]^;/2.B 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 F^t?*
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 @:9fS rDX'oP:
(mIJI,[xn 衍射分束器表面 .Pes{uHg qd~98FS
aiZo{j<6 E ' JC 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 -5v.1y=!L uQ]]]Z(H'
J%:/<uCmZ vj&5`
BDkBYhz;7 +c8AbEewg 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) E97+GJ3 nQ17E{^pR
!LIfeL.4h YB
B$uGA 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 rk,1am:cg 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 )YMlFzYr 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 w;@25=
| rgdQR^!l6
9jR[:[
^]qV8 光栅级次和可编程光栅分析仪 V.Ba''E7 %7>AcTN~
kq%gY 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 BU:Ecchbr r7"A u" `}~)1'(#/ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 |@ZqwC= Bf:tal6 -M g"]<J& 设计与评估结果 lIVxW+ 相位功能设计 ,+/9K)X 结构设计 $FQcDo|[ TEA评价 +*_fN ]M FMM评估 Z-t}6c'Kg 高度标度(公差) K@jSr*\' yMbcFDlBr 通用设置 qTTn51 L+L"$ i6F:C
&. 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 dT]L-uRZgy 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 Xvu) S@c\|
i9;27tT~< 纯相位传输设计 KIKq9 * 4aN+}TkH@G
0n*rs=\VG L8:]`MQ0 结构设计 0Q$~k V9zywM
2~M;L&9- AJ\VY;m7F niYz9YX 更深的分析 }0BL0N`_ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 G}P)vfcH •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 JN&MyA" •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 C!7U<rI 0):uF_t<
KP=D! l&q Mu'^OX82 使用TEA进行性能评估 X:G&5 7MO
H}h~~7E [xtK"E# 使用FMM进行性能评估 wX)efLmyhY Ql~#((K
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?0FQ e(}oq"'z 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 wTTTrk F2bm+0vOJ
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"AA_A? r7Nu>[r5 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 J 16=!q() ?CH?kP
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#k #q=4 M'cJ)-G 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 a9#W9eP -l-AToO4
M8 iEVJ a3O nW\N VirtualLab Fusion技术 jOBY&W0r s.^c..e75C
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