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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 + >Fv*lux  
    +._f.BRmX.  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 <:H  
    -1dIZy  
    [)B@  
    sVNo\  
    设计任务 ([ E#zrz%  
    6NP`P jR  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 vsxvHot=  
    4 {uJ||!  
    d;IJ0xB+by  
    6!i( \Q*  
    光栅级次分析模块设置 BD<rQmfA^  
                           i] V F'tG  
    * , |)~$=>  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 zV9 =  
    |v,}%UN2  
    99=[>Ck)G  
    z0FR33-  
    xUV_2n+  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ajg7xF{l)  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 BIwgl@t!>  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 +A;n*DF2  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 .CB"@.7  
    S8rW'}XJ=H  
    zSX'  
    衍射分束器表面 hA$c.jJr.Z  
    _S[Rvb1e   
    (Qw`%B  
    6tCV{pgm  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 %`8KG(F^  
    lUy*549,  
    !c3Qcva  
    VhJyWH%(  
    [U_Q 2<H  
    J?UZN^  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) +"*l2E]5  
    wt3Z?Pb  
    ?ZD{e|:u  
    ^H y)<P  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Q)7L^  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 2xz%'X%  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 3 tx0y  
    c+YYM :S  
    g6k&c"%IQ(  
    j.G.Mx"  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 iLI.e rm  
    pfT`WT  
    I*`=[nR  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7J </7\  
    V8|q"UX  
    6kmZ!9w0|  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 n8y,{|  
    %^)JaEUC  
    : Oz7R:  
    设计与评估结果 [f0oB$  
    相位功能设计 f"OA Zji  
    结构设计 d%[`=fs]|m  
    TEA评价 (,)vak&t  
    FMM评估 _sCJ3ZJ  
    高度标度(公差)
    e P,XH{s  
    $ M[}(m  
    通用设置 R)DNFc:  
    UVQa af  
    + X|m>9  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 EY[Q%  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    xs83S.fHg  
    v1tN DyM6  
    DRFuvU+e  
    纯相位传输设计
    7.Kjg_N#Tr  
    G \aLg  
    ")[Q4H;V  
    E]U3O>hf  
    结构设计 | 9\7xT  
    r &l*.C*  
    V?L$ ys  
    #B.w7y5*  
    ,oi`BOh  
    更深的分析 gP hw.e""  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 1\.zOq#  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ^5'/ }iR2N  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 |?t8M9[Z  
    K {1ZaEH  
    & 4Iqm(  
    1p "EE~ v  
    使用TEA进行性能评估 2ZzD^:V[}  
    ?M{ 6U[?  
    -GkK[KCH  
    d ;7pri)B  
    使用FMM进行性能评估 G*w W&R)  
    aSj1P/A  
    :"+UG-S$6  
    r)@&2b"q  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 !O-_Dp\#  
    n4_:#L?  
    +K?N:w  
    =rO>b{,hs  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化  _I}L$  
    V]PhXVJ  
    22|M{  
    O[(HE 8E  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 uW-- nXMs  
    'LLQ[JJ=O  
    5\kZgXWIh  
    xS\QKnG.  
    VirtualLab Fusion技术 sq (063l  
    0gb]Kjx  
    eYSGxcx  
    S%gO6&^  
     
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