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    [技术]非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-08-09
    摘要 U&u~i 3  
    2;`WI:nt  
    直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 <L:}u!  
    eRB K= X  
    <E\vc6n  
    l'kVi  
    设计任务 :zsMkdU  
    RBV*e9P%  
    使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 h[r)HX0hA  
    dS;Ui]/J  
    8eD/9PD=F  
    ;6{{hc4  
    光栅级次分析模块设置 FUs57 V  
                           F3&:KZ!V&m  
    0hCUr]cZ,  
    使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数 ~otV'=/my  
    _t@9WA;+\  
    |snWO0iF  
    mjJ/rx{kbw  
    {h~<!sEX  
    1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 jYnP)xX;  
    2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 |]tsf /SA  
    3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x(y=.4Yf+  
    4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Hw%lT}[O  
    gwN y]!  
    lcuqzX{7  
    衍射分束器表面 ee#\XE=A  
    R/kfbV-b  
    Jek3K&  
    8o[+>W  
    为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 /[UuHU5*R  
    ?<D1] Xv  
    zN7Ou .  
    1owe'7\J  
    Pt?d+aBtV  
    ts;C:.X  
    衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) %^(} fu  
    .5+5ca  
    tq2Ti Xo%  
    K"g`,G6S  
     一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 G[\3)@I  
     薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 >(eR0.x  
     傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 e\ O&Xe  
    e4Xo(EY &  
    HQ`A.E2  
    _>i<`k  
    光栅级次和可编程光栅分析仪 T#D*B]oZ}  
    Z~HLa  
    R1C2d+L  
    光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 J|N>}di  
    -|`E'b81  
    *sq+ Vc(  
    使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 5g4xhYl70n  
    +3k#M[Bn}  
    KAm$^N5  
    设计与评估结果 H263<^   
    相位功能设计 r9$7P?zm  
    结构设计 YveNsn  
    TEA评价 X.JPM{]  
    FMM评估 Gkz~x Qy1T  
    高度标度(公差)
    A3zO&4f ]  
    N t_7Z  
    通用设置 J_>nn  
    eLyaTOZadu  
    o Np4> 7Lk  
    提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ^li(q]g1!  
    通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
    znu [i&\=  
    19;F+%no#  
    +y|H#(wBP  
    纯相位传输设计
    c4xXsUBQk  
    q?Av5TFf  
    #GA6vJ4^s  
    Z*lZl8(`  
    结构设计 dJUI.!hv;  
    @BS7Gyw  
    & *!) d"  
    n]J;BW& Av  
    7g&<ZZo  
    更深的分析 v#Y9O6g]T  
    •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 c`4i#R  
    •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 +B-;.]L T  
    •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `~{ 0  
    il >XV>  
    4-{f$Z @  
    _3 3YgO  
    使用TEA进行性能评估 hYv;*]  
    b5d;_-~d  
    pPt w(5bH  
    }[8Nr+y  
    使用FMM进行性能评估 3 (R]QO`%'  
    lO5*n|Ic,  
    %eLf6|1x  
    o9L$B  
    进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 qW'5Zk  
    ?ZlN$h^  
    7T-}oNaJA\  
    L$<(HQQ J8  
    进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 g;PZ$|%&s>  
    Y"Y+U`Qt  
    T^n0=|  
    34Z$a{ w  
    进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 M8iI e:{ c  
    =K\.YKT  
    K18Sj,]B  
    ;,F:.<P  
    VirtualLab Fusion技术 @$%[D`Wa<  
    ECEDNib  
    iH[ .u{h  
    SYmiDR  
     
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