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摘要 B!yAam#^ PudwcP{ 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 [iB`- dE, dKi+~m'w
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^YT! ?HAWw'QW 设计任务 szGp<xv_p 6xvy hg#B 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 m<hR
Lo t@.M;b8
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vAjP q>?uB4>^ 光栅级次分析模块设置 ]FL=E3U 7J.alV4`/ _/ ]4:(" 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ZQZ>{K ":tQYo]d
{?$-p%CF`8 XSkx<"U* UW88JA0 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 o!dTB,Molr 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 c>,|[zP{ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 E}00y%@*J 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ag+$qU &>XIK8*
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[p\ 衍射分束器表面 W4Tuc:X5 #"jEc*&=
tl !o;`W 0L9z[2sj 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 2zZ" }Zr# ]_G!(`Udh
"d^h Y}Xx f,wB.MN
M[g9D *VmJydd 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0B7cpw>_J /r^J8B*
1Y'9|+y+ <DxUqCE 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 UC"<5z
lcu 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 D~P I_*h. 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 HTA@en[5 Ei2hI
mR\rK&'6 {9S=: 光栅级次和可编程光栅分析仪 QVA)&k'T, zUF%`CR
5xtIez]x? 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 _ +q.R =87.6Ai @8a1a3_F 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 Dl_y[9 ckY,6e"6 @Fv"j9j-3G 设计与评估结果 }d?"i@[ 相位功能设计 !B cd\] q 结构设计 }D02*s TEA评价 >1 {V FMM评估 ~"6/OJA 高度标度(公差) +n_`*@SE KjFNb;mM 通用设置 n%yMf!M
.: MhaN+N O{:_-eI&d 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 @62QDlt; 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 g).k+ >*r H Nf >U?HXu/TJr 纯相位传输设计 Hyx%FN= RRR'azT
b~uz\%'3 }A)>sQ 结构设计 A&u"NgJ $n>|9(K8
vl+vzAd *ElR YbjeM6#E 更深的分析 "9mJ$us •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 lW}"6@0, •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 94Wf ] •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 >5G2!Ns' AT.WXP0$A
c@iP^;D H]>b<Cs 使用TEA进行性能评估
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u7R:7$H ^D`ARH 使用FMM进行性能评估 BfQRw>dZ"{ E07g^y"}i
eF)vx{s A#t#c* 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 `}uOlC]I 1QkAFSl3
T 9lk&7W G;r-f63N 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 +o&&5&HR n$>E'oG2t
eyPh^c]?`8 I[b@U<\ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 D4jf%7X!Lu NY]`1yy
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