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摘要 Wu;|(2I s!fY^3 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 lLFBop Y+`-~ 88
4N=Ie}_` i|{nj\6w^ 设计任务 DMZ aMY| n*4X/K 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 )MW}!U9G 3$y L+%i
\bQ!>l\ G$`4.,g 光栅级次分析模块设置 ?BvI/H5d x[~OVG0M* F j('l 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 o9d$
4s@/ bYB}A:
7b%Cl
4S EC4yO A.x}%v,E 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ^? xJpr%) 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 vFC=qLz: 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 17]31 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 J6Nw-qF (Tb0PzA
zd4y5/aoS 衍射分束器表面 4
Wd5Goe: \.|A,G=
T`{MQ:s UKQ&TV}0 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 `v2l1CQ:^ XJ/kB8
"{"2h>o#D} >$52B9ie
u0hbM9U> A1}+j-D7!y 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 4lUE(#kUM KY&,(z
Rj;e82%%N R:^?6f<Z} 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 QF "&~ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 fQ4$@ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 -gGK(PIf hdqls0 r
nJH%pBc [E1|jcmQ 光栅级次和可编程光栅分析仪 B{(l5B6 Xb]?/7
X
arL&^]JnZ, 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 ?yeC
j1X Z=8CbS). 0)a?W,+O 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 :FpBz~!a `b'J*4|oGo Q&Ahr 设计与评估结果 qk1D#1vl 相位功能设计 .: ;Hh~ 结构设计 >&Q. .`q TEA评价 B F|FW FMM评估 ^WPV 高度标度(公差) 3g:+p
e-=PT1T` 通用设置 ulo7d1OVkJ 31Mc<4zI8 =Fl4tY#X 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 M=_CqK* 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 XQ;dew+ Jo+C!kc 4aKy]zPoE 纯相位传输设计 ^:ngHue8~ c&(,
~kT{O!x}4 )/N! {`.9 结构设计 RUh{^3;~ u5M{s;{11r
J"|$V# EA#!h'-s ]+9:i!s 更深的分析 Kp;o?5H •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ^IkMRlJh% •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 =ab}.dWC •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `2 Av]N.HB$
x^BBK' t}l<#X5 使用TEA进行性能评估 SX;IUvVE5 _lqAxWH
$dw;Kj'\ }C#d;JC 使用FMM进行性能评估 ohk =7d.' &>+Z$ZD
'|R|7nQAj 8, ^UQ5x 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 !iqz 4E 8!Kfe
SUhP
e+ 9z}kkYk 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 W#\4"'=I -E"o)1Pj6C
~VF,qspO A???s,F_ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 e~dU " -+/|
i%w'Cs0y 4HAfTQ 1G VirtualLab Fusion技术
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kfV}w, B4=gMVp1
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