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摘要 + >Fv*lux +._f.BRmX. 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 <:H -1dIZy
[ )B@ sVNo\ 设计任务 ([E#zrz% 6NP`P j R 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 vsxvHot= 4{uJ||!
d;IJ0xB+by 6!i(
\Q* 光栅级次分析模块设置 BD<rQ mfA^ i]V
F'tG * ,|)~$=> 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 zV9
= |v,}%UN2
99=[>Ck)G z0FR33- xUV_2n+ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 ajg7xF{l) 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 BIwgl@t!> 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 +A;n*DF2 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 .CB"@.7 S8rW'}XJ=H
zSX' 衍射分束器表面 hA$c.jJr.Z _S[Rvb1e
(Qw`%B 6tCV{pgm 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 %`8KG(F^ lUy*549,
!c3Qcva VhJyWH%(
[U_Q 2<H J?UZN^ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) +"*l2E]5 wt3Z?Pb
?ZD{e|:u ^Hy)<P 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 Q)7L^ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 2xz%'X% 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 3tx0y c+YYM
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g6k&c"%IQ( j.G.Mx" 光栅级次和可编程光栅分析仪 iLI.e rm pfT`W T
I*`=[nR 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 7J</7\ V8| q"UX 6kmZ!9w0| 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 n8y ,{| %^)Ja EUC : Oz7R: 设计与评估结果 [f0oB$ 相位功能设计 f"OA Zji 结构设计 d%[`=fs]|m TEA评价 (,)vak&t FMM评估 _sCJ3ZJ 高度标度(公差) e
P,XH{s $
M[}(m 通用设置 R)DNFc: UVQ a
af +X|m>9 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。
EY[Q% 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 xs83S.fHg v1tN
DyM6 DRFuvU+e 纯相位传输设计 7.Kjg_N#Tr G\aLg
")[Q4H;V E]U3O>hf 结构设计 |
9\7xT r&l*.C*
V?L$ys #B.w7y5* ,oi`BOh 更深的分析 gPhw.e"" •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 1\.zOq# •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 ^5'/ }iR2N •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 |?t8M9[Z K
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&4Iqm( 1p"EE~v 使用TEA进行性能评估 2ZzD^:V[} ?M{6U[?
-GkK[KCH d ;7pri)B 使用FMM进行性能评估 G*wW&R) aSj1P/A
:"+UG-S$6 r)@&2b"q 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 !O -_Dp\# n4_:#L?
+K?N:w =rO>b{,hs 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 _I}L$ V]PhXVJ
22|M{ O[(HE8E 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 uW--
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5\kZgXWIh xS\QKnG. VirtualLab Fusion技术 sq(063l 0gb]Kj x
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