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摘要 +\
.Lp 5 y_-0tI\J 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ?%[@Qb=2 ~=l;=7 T
2pa5U;u:+ ;85>xHK 设计任务 8'io$6d= <R=Zs[9M1 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 )1`0PJoHE >!1-lfa8
6mxfLlZ M!D3 }JRm 光栅级次分析模块设置 e=m42vIB- ope^~+c~\ z5*'{t) 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 @Qt{jI!
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u>a5GkG. 3{sVVq5Y -;WGS o 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 uiR8,H9*M 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 U26}gT) 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 0*{%=M 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 &`2)V;t bq0zxg%
iSs:oH3l 衍射分束器表面 YNsJZnGr8# T</F
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:&."ttf= 28d'7El$ 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 v0.#Sl- xdkZdx>N
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"'~NvO [Y|t]^M 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Z"fJ`-- ]Er$*7f
C1 *v,i /f;~X"! 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 sLxc(d'A 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 @|YH|/RF 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 61'XgkacDS 9q~s}='"
iGB}Il) y?4BqgB 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;uP:"k ^k9I(f^c-_
5$C-9 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 s?nR 4 h~zT ydnH brUF6rQ 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ~Z'?LV<t h@ryy\9 f) L 设计与评估结果 u]UOSf n 相位功能设计 &{t,' [ u 结构设计 --BW9]FW TEA评价 ?4T-@~~*`= FMM评估 fe_5LC" 高度标度(公差) x7 ,5 nAlQ7' 通用设置 >i?oC^QM .8JTe0 +ami?#Sz*; 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 F*ylnB3z 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ,r_Gf5c j^RmrOg, >Cq<@$I2EB 纯相位传输设计 19%imf gL/9/b4
('+d.F[109 &s>Jb?_5Mx 结构设计 2&J)dtqz &s!@29DXR
$U-0)4yf KLk~Y0$:v }4X0epPp;: 更深的分析 -M#Wt`6A •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 p!AAFmc •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 sU^1wB
Rj •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ~v6D#@%A 7tCw*t$
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pEz_qy[# 使用TEA进行性能评估 Qn2&nD%zi ba9?(+i$h
+jgSV.N A^S gI-y| 使用FMM进行性能评估 d2L&Z_} .*Qx\,
+1!ia] X2"/%!65{ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 dqcL]e xN'I/@ kb
)=(kBWM bcz:q/f}@ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Rf% a'b ;5AcFB
)Q JUUn# 1=v*O.XW` 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 sa8Vvzvo. 86H+h(R/
,`sv1xwd z'7]h TA VirtualLab Fusion技术 bW:!5"_{H >@Kx>cg+
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