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摘要 Mm*V;ADF -V;Y4,:c 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 w( SY -){6ynqv
>3D1:0Sg ``<#F3 设计任务 ,gNZHKNq 40MKf/9 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 s"#N; ^_3Ey
]cP%d-x} w;}5B~). 光栅级次分析模块设置 #tA9`! @!oN]0`F; `XE>Td>Bs 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 D+;4|7s+ \?t8[N\_[(
G{6@]72 wxcJ2T d H mK$E&,OkA 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 i/-IjgM"- 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 Uv[a
~' 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
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_ap T<P 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 `q]' ^EzJ XdThl
7r?,wM 衍射分束器表面 $!. [R} k-3;3Mq
9^g8VlQdT BMO,eQcB 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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b+:mV7eX [sG`D-\P[ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Hk+44 V0m1>{
DZL(G [ 2|\mBP`ok 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 p'^}J$ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 !QAndg{;D 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 z =H?@z **__&Xp1
?MSZO]Q4+ d(t)8k$ 光栅级次和可编程光栅分析仪 Bn8&~ vM5I2C3_>!
%P1zb7:8 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 dEXhn 9Oj b~ vh"';L_*37 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 .T8^>z1/\F )x[=}0C *g}==o` 设计与评估结果 h{-en50tN 相位功能设计 <hy!B4 结构设计 `m1stK(PO TEA评价 >h2qam FMM评估 }mp`!7?>O 高度标度(公差) n5xG4.#G !V #*(_+n 通用设置 Kc
r)W #q34>}O< O 5[zr(FuE 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 |1ry*~ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 :,H_
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X |:(B I5&S ;w%g*S 纯相位传输设计 NY?iuWa*g YVRE9
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Op Th,]nVsGs~ 结构设计 0j;|IU\ 2\$<&]q
.-s!} P" PTpCiiA@ ;/m>c{ 更深的分析 \K9Y@jnr •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 4mBM5Tv •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 3H"F~_H •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 RToX[R;1E Np9Pae'
/s)It Tz&cm= 使用TEA进行性能评估 !Y^$rF-+ {XhpxJ__
gcX Q4ii25]* 使用FMM进行性能评估 ]6=opvm uTbMp~cYB
Y=pRenV' H-5f!>) 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Z+J~moW ` Qw%0<~<
bg4VHT7?>)
&@7|_60 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 /e*<-a :]C\DUBo
2(D&jL y;9K 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 !})3Fb mOjl0n[To]
yCg>]6B H~hAm VirtualLab Fusion技术
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