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摘要 U&u~i
3 2;`WI:nt 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 <L:}u! eRB
K= X
<E\vc6n l'kVi 设计任务 :zsMkdU RBV*e9P% 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 h[r)HX0hA dS;Ui]/J
8eD/9PD=F ;6{{hc4 光栅级次分析模块设置 FUs57
V F3&:KZ!V&m 0hCUr]cZ, 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ~otV'= /my _t@9WA;+\
|snWO0iF mjJ/rx{kbw {h~<!sEX 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 jYnP)xX; 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 |]tsf
/SA 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 x(y=.4Yf+ 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Hw%lT}[O gwN
y]!
lcuqzX{7 衍射分束器表面
ee#\XE=A R/kfbV-b
Jek3K& 8o[+>W 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 /[UuHU5*R ?<D1]Xv
zN7Ou . 1owe'7\J
Pt?d+aBtV ts;C:.X 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) %^(} fu .5+5ca
tq2TiXo% K"g`,G6S 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 G[\3)@I 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 >(eR0.x 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 e\ O&Xe e4Xo(EY &
HQ`A.E2 _>i<` k 光栅级次和可编程光栅分析仪 T#D*B]oZ} Z~HLa
R1C2d +L 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 J|N>}di -|`E'b81 *sq+ Vc( 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 5g4xhYl70n +3k#M[Bn} KAm$^N5 设计与评估结果 H263<^ 相位功能设计 r9$7P?zm 结构设计 YveNsn TEA评价 X.JPM{] FMM评估 Gkz~xQy1T 高度标度(公差) A3zO&4f
] Nt_7Z 通用设置 J_>nn eLyaTOZadu o Np4> 7Lk 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ^li(q]g1! 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 znu[i&\= 19;F+%no# +y|H#(wBP 纯相位传输设计 c4xXsUBQk q?Av5TFf
#GA6vJ4^s Z*lZl8(` 结构设计 dJUI.!hv; @BS7Gyw
&*!) d" n]J;BW&Av 7g&<ZZo 更深的分析 v#Y9O6g]T •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 c`4i#R •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 +B-;.]L
T •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 `~ {0 il>XV>
4-{f$Z@ _33YgO 使用TEA进行性能评估 hYv;*] b5d;_-~d
pPtw(5bH }[8Nr+y 使用FMM进行性能评估 3(R]QO`%' lO5*n|Ic,
%eLf6|1x o9L$B 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 qW'5Zk ?ZlN$h^
7T-}oNaJA\ L$<(HQQJ8 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 g;PZ$|%&s> Y"Y+U`Qt
T^n0 =| 34Z$a{
w 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 M8iI e:{ c =K\.YKT
K18Sj,]B ;,F:.<P VirtualLab Fusion技术 @$%[D`Wa< ECEDNib
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