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摘要 w*oQ["SL RPE5K:P 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 )6|yb65ZUX 2JJ"O|Ibz
mR}6r2O2\Q S$Q8>u6Wk 设计任务 }Ub6eXf(2 =
c>Qx"Sw 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 oAPb*;} J|w\@inQ
&!/}Qp [&&1j@LQ* 光栅级次分析模块设置 n#wI@W>%+ @@8J6*y %2XHNW 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 ;)!Sp:mHX #ZYVc|sT+
^!9~Nwn -5I2ga }T%}wdj 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 'J6
M*vO 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 \hM|(*DL 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 )FpZPdN+h 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 t5#rps\; DR c)iE>@
89wU-Aggq 衍射分束器表面 BI $ $aN&nhoO<
$ep.-I> l&?}hq^'Dn 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 c2e
tc8 GQ9\'z#+
wYQ&C{D% )w0AC"2O~
Er+nk`UR_ Kwg4sr5"D 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) m<0&~rg FvJd8kV
,B0_MDA + OujCb^Rm 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ho0@ l 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 %5A+V0D0' 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 sfOHarww Oh'Y0_oB>
\o/n I+dbZBX 光栅级次和可编程光栅分析仪 h3Q21D'f &9"-`-[e:
tPGJ<30 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 l"2OP6d #:^YI
c 82]vkU 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 opJMS6%r y^}6!>Ou: 4=Krq6{ 设计与评估结果 sRrzp=D 相位功能设计 ea~:}!-P 结构设计 _<NMyRJo TEA评价 :P@rkT3Q t FMM评估 k}0^&Quc4 高度标度(公差) \@1=stK:F !}r%
u." 通用设置 CJXg@\\/ K"[AxB'F {FG|\nPw 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 TM|)Ljm 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 6'RrQc=q aBw2f[mo ^>N]H>0'S 纯相位传输设计 zBJ7(zh! LbZ:&/t^y8
BYo/57&: d GFGr}&s 结构设计 ?1[\! !Wy[).ZAf
1s{^X
- Hw-Z Wf&W^Q 更深的分析 F`9ZH. •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 ;XDz)`c •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Z t&6Ua[Y} •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 D.1J_Y=9 8-Hsgf.*
wj1{M.EF\ p!<$vE 使用TEA进行性能评估 0`I-2M4F*Q en:4H
h'$9C YNBHBK4; 使用FMM进行性能评估 6"D/xV3Z =Odv8yhn
WzI8_uM LT,? $I 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 A,)VM9M_l T1r3=Y4
A?oXqb u]ZqOJXxu 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 D Kw*~0 0^8)jpL$<9
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I6s3+x;O 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 H-xFiF >Z;jY*
?*oKX KPpHwcYxT VirtualLab Fusion技术 [M%9_CfZOy $\"9<o|h
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