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摘要 Jb@V}Ul$ J y:Qlx` 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 RD i]2
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M61 xPq8y5 设计任务 Xm}/0g&7 ;>yxNGV` 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 y/{fX(aV
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 YMcD|Kb p 9'giU r 光栅级次分析模块设置 /QWvW=F2< KIf dafRL 1\ ~ "VF*{
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 /GN<\_o=q
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 85:=4N%
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 I<mV+ex
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 TH&U
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4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 u(>^ 3PJ+
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 m@2QnA[ 4 衍射分束器表面 <I\/n<*
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 EF[@$j
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IqaT?+O\?r 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) N=5a54!/
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 N 1}sHyVq7
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 ?} tFN_X"
傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 -hGk?_Nqa/
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>O_E Eex~xiiV 光栅级次和可编程光栅分析仪 %+W{iu[|
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 eCU:Q
KK/tu+"
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 dk#k bG;
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设计与评估结果 [2!w_Iw'
相位功能设计 w7.V6S$Ga
结构设计 VGy<")8D/
TEA评价 *k( XW_>
FMM评估 #C74z$
高度标度（公差） YW,tCtI0_ vA F
"n 通用设置 Q^9_' t}X
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 H7&8\ FNa
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 /$xU shy-Gu& urs,34h
纯相位传输设计 wY{-BuX v F3[T.sf
 TTX5EDCrC W fN2bsx> 结构设计 j ?3wvw6T
7 U Kh688
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更深的分析 "yy5F>0Wt
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 bivuqKA
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 Drgv`z
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 'A=^S e`=
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 X6w6%fzOH> $u6"*| 使用TEA进行性能评估 $t'MSlF
\j}ZB<.>
 d`=MgHz
^qvZXb 使用FMM进行性能评估 T[w]o}>cW
XB;7!8|
 ~f&E7su-6+ 1Z /(G1 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 :(U ,x<>
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 3 8Mv25N x$A+lj]x 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 P-9)38`5
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X&.ArXn* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 ;IvY^(YS@;
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]!W=^! VirtualLab Fusion技术 kf\PioD8
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