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摘要 N<b2xT oR~d<^z( 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 F7j/Zuj a}FY^4hl+
Id`V`|q 5_](N$$ 设计任务 Iw.!*0$ hi$AZ+ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 M?My+o T }wp/,\_
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l(87s^_ &b^~0Z 光栅级次分析模块设置 (K8Ob3zN_ )=iv3nF?6N hQY`7m>L 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 >W >Ei(f <"K*O9nst
O9>$(`@I }
)Lz%Z Wq+GlB* 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 g=t7YQq_~ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 LWTPNp:"{w 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 >w7KOVbN3
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 [PUu9rz# eBxm
l"}_+5 衍射分束器表面 o<3$|`S& ILAn2W
a,S;JF)v M.s'~S7y 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 ti%RE:* +e2:?d@
[(3s5)O g6lWc@]F
j:'g*IxM_ K.mxF,H 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) hchG\i t>?tWSNf
m#8PX$_ K y%lu^ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 51y"#\7 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 #I453 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 wz69Yw7 !YjxCx
VSDua. OHpV%8` 光栅级次和可编程光栅分析仪 HW~-GcU-o #L+:MA7H
u)<s*jk 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 jci,]*X4 9!uiQ CKK}Z;~: 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ]nB|8k=J A|+QUPD L0!CHP/nRS 设计与评估结果 ;H~<.QW 相位功能设计 7LVG0A2>7 结构设计 BXYH&2]Q TEA评价 HVHv,:bPo FMM评估 (VjU ,'h 高度标度(公差) rniM[7K 18Y#=uH} 通用设置 :+PE1=v [MFnS",7c .M^[/! 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 _/I">/ivlM 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ]c7X~y _{cCo:
qt~=47<d 纯相位传输设计 HTOr LjBIRV7
Ck
Nl;g l yk`qF'4] 结构设计 >SK:b/i )?$[iu7 s
r!2U#rz z~ C8JY: \c:$eF 更深的分析 "ntP92 8 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 Jo\P,-\( •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 y'K2#Y~1e •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 $0 olqt: K"0IW A
(jc& Fk fgdR:@]- 使用TEA进行性能评估 hWT
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Kgu8E:nL CBEf;Ig 使用FMM进行性能评估 XVN`J]XHk !5o j~H
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}~/b%^ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 9D3{[ T+<.KvO-
`5IrV&a V 95o(c.p 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 eThaH0 %y6(+I#P
;miif K($l>PB,y@ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 \wK&wRn) t*gZcw5 r
t}YcB`q) @Vre)OrN# VirtualLab Fusion技术 e73=*~kfR %f;dn<m=c
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