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摘要 JLhp25{x {<@~;iq 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 y4') !e ?4_;9MkN
`Oi@7/oT \MU4"sXw 设计任务 4J s>yP ag6S"IXh 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 S<TfvQ\,"@ 3;A1[E6K
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N,h Nn$$yUkMX 光栅级次分析模块设置 bpkn[K"( p:
o*= .#X0P= 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 &("?6%GC m +gVGK
?NL2|8 #r1x0s40D rP'oUV_ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 bnlL-]]9z 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 `F)Iv:;y, 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 t5&$ y` 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 ;BqX=X+# 1||e!W
&5B+8> 衍射分束器表面 +"<f22cS1 yHCc@`1.
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|4XyU= 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 '@$?A>.cj _2|,j\f;L
M?,;TJ7Gd 3yTBkFI!
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ? f%@8%px .N%$I6w
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h.67]U7m 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 G^+0</Q 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 L9x,G! 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 `q F:rQ iB\d`NUf
V@$B>HeK }Iu 6]?|' 光栅级次和可编程光栅分析仪 ;G w5gK^ O".#B
1r;Q5[@ 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 5f1yszd QPBf++| C4b3ZcD2 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 1f}Dza9 V482V#BP }+SnY8A=KZ 设计与评估结果 [ P
8e=; 相位功能设计 c0tv!PSw 结构设计 vZ*593C8 TEA评价 f1Rm9`` FMM评估 c^m}ep\F5L 高度标度(公差) P/^:IfuR ?A]:`l_" 通用设置 b6#V0bDXHD J&lQ,T!?B Jr#ptf"Wu 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 ]E, 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 ZVI.s U `TAhW .rwZ`MP 纯相位传输设计 6}[W%S]8 ?:UDK?
42Z2Mjtk ,KZ_#9[> 结构设计 *r[PZ{D+ U#YM)8;Iz
L>cTI2NB. !sUo+Y ^ng?+X>mP 更深的分析 $LKniK •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 q4Q1Ib-<2 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 Uh*V>HA# •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 vX&Nh"0H& SeKU?\
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o,O!T. 使用TEA进行性能评估 =p$1v{L8 )fv0H&g
1H%LUA Ow<=K:^ 使用FMM进行性能评估 W,}C*8{+ uTngDk
?PLf+S LY/K,6^a 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 vTN$SgzfCU UZ v^3_,qz
e5C560 NEJxd%- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7@5}WNr d XrLeoK
o|$l+TC j$siCsF 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 BA53
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^ola5w D WL+I)n8~ VirtualLab Fusion技术 3Jf_3c YR^J7b\
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