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摘要 z/Z
0cM# p?F%a;V3 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 KnK8\p88\ +)YU/41W
$fZVh% EAafi<n 设计任务 J:WO%P=Q U?BuV 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计通过严格分析,进一步优化零阶均匀性和影响 |:)UNb?R"O Cn+'!?!d,
.rpKSf. BN\Y
N 光栅级次分析模块设置 PCKgdh}, rUgTJx&ds 'PiQ|Nnb| 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 9?W!E_ 86+nFk
J;@g#h? {Aq2}sRl{ c*R?eLt/ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 vu7F>{D 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。 uRIa
Nwohv 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 5}-e9U 4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 U4PnQ
K, o m9zb&{tu
hHXTSk2 衍射分束器表面 Z'/sZ3Q} @o otKY`
Mzfuthq=@ yex4A)n9"' 为了进一步评估,使用了通用光栅光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 oY;=$8y<q 67,@*cK3?J
ZP*(ZU@j=Z aJ;6!WFW
w+MCOAB cHr.7 w 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Wbra*LNU ~m0l_:SF
*(c><N %p wpRD@ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 ;~nz%LJ 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。 ik:fq&= 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。 HzuB.B< Y#[Wv1hi
"V7
SB @ckOLtxE> 光栅级次和可编程光栅分析仪 >o45vB4o H6fR6Kr4j
fQ.{sQ$@h 光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述,作为许多可能的输出。 &i/QFO7y} J|Af`HJ uW@o,S0: 使用可编程光栅分析仪,用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 )'pc 1I +xGz~~iNh )U$]J*LI 设计与评估结果 heF<UMI 相位功能设计 3B+
F'k 结构设计 YY? }/r TEA评价 jjbw+ FMM评估 4R8W ot 高度标度(公差) {\87]xJ OI0tgkG 通用设置 (";{@a % zc,kHO| ~wX4j 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定标准筛选结果的选项。 Xfq]vQ/{ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。 >WKlR` J% i*q!|^M @X\2K?c(v 纯相位传输设计 q/|WkV `m `U~Y{f_!H
c[a1
Md& C/sDyv$ 结构设计 E#cW3\) 6Eu&%`
4h[S`;D0Vf ~582'-=+ !edgziuO 更深的分析 wd=xs7Dz<p •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 &R'%OFi •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。 WecJ^{g>r{ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。 $ZQ?E^> B 8G SO] R
e>oE{_e OR\-%JX/5 使用TEA进行性能评估 FyZ iiH4| =XT'D@q~W
A{7N#-h_ ^edg@fp 使用FMM进行性能评估 ji &*0GJQ <_|H]^o
YBX7WZCR d\cwUXf
J 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 0M?nXHA[ 4't@i1Ll(
Nr#Y]9nA )~](qLSl 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 B1& |